рд╕реИрдорд╕рдВрдЧрд▓реЗ EUV рд╕реНрдХреНрдпрд╛рдирд░рд╣рд░реВ рдкреНрд░рдпреЛрдЧ рдЧрд░реЗрд░ рд╕реЗрдореАрдХрдиреНрдбрдХреНрдЯрд░ рд▓рд┐рдереЛрдЧреНрд░рд╛рдлреАрдорд╛ рдЖрдлреНрдиреЛ рдЕрдЧреНрд░рдЧрд╛рдореА рдлрд╛рдЗрджрд╛рдХреЛ рдкреВрд░рд╛ рдлрд╛рдЗрджрд╛ рдЙрдард╛рдЗрд░рд╣реЗрдХреЛ рдЫред TSMC рд▓реЗ рдЬреБрдирдорд╛ резрей.рел рдПрдирдПрдо рд╕реНрдХреНрдпрд╛рдирд░рд╣рд░реВ рдкреНрд░рдпреЛрдЧ рдЧрд░реНрди рдерд╛рд▓реНрдиреЗ рддрдпрд╛рд░реА рдЧрд░рд┐рд░рд╣реЗрдХреЛ рдЫ, рддрд┐рдиреАрд╣рд░реВрд▓рд╛рдИ рен рдПрдирдПрдо рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛рдХреЛ рджреЛрд╕реНрд░реЛ рдкреБрд╕реНрддрд╛рдорд╛ рдЪрд┐рдкрд╣рд░реВ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдЧрд░реНрди рдЕрдиреБрдХреВрд▓рди рдЧрд░реНрджреИ, рд╕рд╛рдорд╕реБрдЩ рдЧрд╣рд┐рд░реЛ рдбреБрдмреНрджреИрдЫ рд░
рдХрдореНрдкрдиреАрд▓рд╛рдИ EUV рд╕рдБрдЧ 7nm рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдЯреЗрдХреНрдиреЛрд▓реЛрдЬреА рдкреНрд░рджрд╛рди рдЧрд░реНрдирджреЗрдЦрд┐ EUV рдорд╛рд░реНрдлрдд 5nm рд╕рдорд╛рдзрд╛рдирд╣рд░реВ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдЧрд░реНрди рджреНрд░реБрдд рд░реВрдкрдорд╛ рдЕрдШрд┐ рдмрдвреНрди рдорджреНрджрдд рдЧрд░реНрдиреБ рднрдиреЗрдХреЛ рд╕реИрдорд╕рдВрдЧрд▓реЗ рдбрд┐рдЬрд╛рдЗрди рддрддреНрд╡рд╣рд░реВ (IP), рдбрд┐рдЬрд╛рдЗрди рдЙрдкрдХрд░рдгрд╣рд░реВ рд░ рдирд┐рд░реАрдХреНрд╖рдг рдЙрдкрдХрд░рдгрд╣рд░реВ рдмреАрдЪрдХреЛ рдЕрдиреНрддрд░рд╕рдЮреНрдЪрд╛рд▓рди рдХрд╛рдпрдо рд░рд╛рдЦреЗрдХреЛ рддрдереНрдп рдерд┐рдпреЛред рдЕрдиреНрдп рдЪреАрдЬрд╣рд░реВ рдордзреНрдпреЗ, рдпрд╕рдХреЛ рдорддрд▓рдм рдХрдореНрдкрдиреАрдХрд╛ рдЧреНрд░рд╛рд╣рдХрд╣рд░реВрд▓реЗ рдбрд┐рдЬрд╛рдЗрди рдЙрдкрдХрд░рдгрд╣рд░реВ, рдкрд░реАрдХреНрд╖рдг рд░ рддрдпрд╛рд░-рдирд┐рд░реНрдорд┐рдд рдЖрдИрдкреА рдмреНрд▓рдХрд╣рд░реВ рдЦрд░рд┐рдж рдЧрд░реНрди рдкреИрд╕рд╛ рдмрдЪрдд рдЧрд░реНрдиреЗрдЫрдиреНред рдбрд┐рдЬрд╛рдЗрди, рдкрджреНрдзрддрд┐ (DM, рдбрд┐рдЬрд╛рдЗрди рд╡рд┐рдзрд┐рд╣рд░реВ) рд░ EDA рд╕реНрд╡рдЪрд╛рд▓рд┐рдд рдбрд┐рдЬрд╛рдЗрди рдкреНрд▓реЗрдЯрдлрд░реНрдорд╣рд░реВрдХрд╛ рд▓рд╛рдЧрд┐ PDKs рдЧрдд рд╡рд░реНрд╖рдХреЛ рдЪреМрдереЛ рддреНрд░реИрдорд╛рд╕рд┐рдХрдорд╛ EUV рд╕рдВрдЧ рд╕реИрдорд╕рдВрдЧрдХреЛ 7-nm рдорд╛рдкрджрдгреНрдбрд╣рд░реВрдХреЛ рд▓рд╛рдЧрд┐ рдЪрд┐рдкреНрд╕рдХреЛ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕рдХреЛ рднрд╛рдЧрдХреЛ рд░реВрдкрдорд╛ рдЙрдкрд▓рдмреНрдз рднрдпреЛред рдпреА рд╕рдмреИ рдЙрдкрдХрд░рдгрд╣рд░реВрд▓реЗ FinFET рдЯреНрд░рд╛рдиреНрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░рд╣рд░реВрд╕рдБрдЧ 5 nm рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдкреНрд░рд╡рд┐рдзрд┐рдХреЛ рд▓рд╛рдЧрд┐ рдкрдирд┐ рдбрд┐рдЬрд┐рдЯрд▓ рдкрд░рд┐рдпреЛрдЬрдирд╛рд╣рд░реВрдХреЛ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рд╕реБрдирд┐рд╢реНрдЪрд┐рдд рдЧрд░реНрдиреЗрдЫред
EUV рд╕реНрдХреНрдпрд╛рдирд░ рдкреНрд░рдпреЛрдЧ рдЧрд░реЗрд░ 7nm рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛рдХреЛ рддреБрд▓рдирд╛рдорд╛, рдЬреБрди рдХрдореНрдкрдиреАрд▓реЗ
Samsung рд▓реЗ Hwaseong рдХреЛ S3 рдкреНрд▓рд╛рдиреНрдЯрдорд╛ EUV рд╕реНрдХреНрдпрд╛рдирд░ рдкреНрд░рдпреЛрдЧ рдЧрд░реЗрд░ рдЙрддреНрдкрд╛рджрдирд╣рд░реВ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдЧрд░реНрдЫред рдпрд╕ рд╡рд░реНрд╖рдХреЛ рджреЛрд╕реНрд░реЛ рдЖрдзрд╛рдорд╛, рдХрдореНрдкрдиреАрд▓реЗ Fab S3 рдХреЛ рдЫреЗрдЙрдорд╛ рдирдпрд╛рдБ рд╕реБрд╡рд┐рдзрд╛рдХреЛ рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдкреВрд░рд╛ рдЧрд░реНрдиреЗрдЫ, рдЬреБрди рдЕрд░реНрдХреЛ рд╡рд░реНрд╖ EUV рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛рд╣рд░реВ рдкреНрд░рдпреЛрдЧ рдЧрд░реЗрд░ рдЪрд┐рдкрд╣рд░реВ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдЧрд░реНрди рддрдпрд╛рд░ рд╣реБрдиреЗрдЫред
рд╕реНрд░реЛрдд: 3dnews.ru