рд╕реЗрдореАрдХрдиреНрдбрдХреНрдЯрд░ рдЙрддреНрдкрд╛рджрдирдХреЛ рд▓рд╛рдЧрд┐ EUV рд╕реНрдХреНрдпрд╛рдирд░рд╣рд░реВ рдкреНрд░рдпреЛрдЧ рдЧрд░реНрдиреЗ рд╕реИрдорд╕рдВрдЧ рдкрд╣рд┐рд▓реЛ рдерд┐рдпреЛ, рдЬреБрди 2018 рдХреЛ рдкрддрдирдорд╛ рднрдпреЛред рддрд░ EUV рдкреНрд░рдХреНрд╖реЗрдкрдгрдорд╛ рдЖрдзрд╛рд░рд┐рдд рдкреНрд░рд╛рд╡рд┐рдзрд┐рдХ рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛рд╣рд░реВрдХреЛ рд╕рд╛рдБрдЪреНрдЪреИ рд╡реНрдпрд╛рдкрдХ рдкреНрд░рдпреЛрдЧ рдЕрд╣рд┐рд▓реЗ рдорд╛рддреНрд░ рднрдЗрд░рд╣реЗрдХреЛ рдЫред рд╡рд┐рд╢реЗрд╖ рдЧрд░реА, рд╕реИрдорд╕рдВрдЧ
рд╣рд╛рд▓рд╕рд╛рд▓реИ, рд╕рд╛рдорд╕реБрдЩ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЛрдирд┐рдХреНрд╕рд▓реЗ рдХреЛрд░рд┐рдпрд╛ рдЧрдгрддрдиреНрддреНрд░рдХреЛ рд╣реНрд╡рд╛рд╕реЗрдУрдЩрдорд╛ рд░рд╣реЗрдХреЛ V1 рдкреНрд▓рд╛рдиреНрдЯрдорд╛ рд╕реЗрдореАрдХрдиреНрдбрдХреНрдЯрд░рд╣рд░реВрдХреЛ рдареВрд▓реЛ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рд╕реБрд░реБ рдЧрд░реЗрдХреЛ рдЫред рдЙрджреНрдпрдо рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдЧрд░реНрди рдерд╛рд▓реНрдпреЛ
V1 рдкреНрд▓рд╛рдиреНрдЯрдорд╛ рдХрдореНрддрд┐рдорд╛ 10 EUV рд╕реНрдХреНрдпрд╛рдирд░рд╣рд░реВ рд╕реНрдерд╛рдкрдирд╛ рднрдПрдХреЛ рдЕрдлрд╡рд╛рд╣ рдЫред рдпрд╕ рдФрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХ рдЙрдкрдХрд░рдгрдХреЛ рд▓рд╛рдЧрд┐ рдорд╛рддреНрд░ рдореВрд▓реНрдп рдЯреНрдпрд╛рдЧ $ 1 рдмрд┐рд▓рд┐рдпрди рднрдиреНрджрд╛ рдмрдвреА рдЫ, рдЕрд░реВ рд╕рдмреИ рдХреБрд░рд╛ рдЙрд▓реНрд▓реЗрдЦ рдирдЧрд░реНрдиред рдпрд╕рдЕрдШрд┐ рд╕рд╛рдорд╕реБрдЩ S3 рдкреНрд▓рд╛рдиреНрдЯрдорд╛ EUV рд░реЗрдиреНрдЬ рд╕реНрдХреНрдпрд╛рдирд░рдХрд╛ рдХреЗрд╣реА рдЗрдХрд╛рдЗрд╣рд░реВрд▓реЗ рдХрд╛рдо рдЧрд░рд┐рд░рд╣реЗрдХрд╛ рдерд┐рдПред рд╡рд░реНрд╖рдХреЛ рдЕрдиреНрддреНрдпрд╕рдореНрдордорд╛ S1 рдкреНрд▓рд╛рдиреНрдЯрдХреЛ рд╕рд╛рдердорд╛ рдирдпрд╛рдБ V3 рдЙрддреНрдкрд╛рджрдирд▓реЗ рдХрдореНрдкрдиреАрд▓рд╛рдИ рдкреНрд░рд╢реЛрдзрдирдХрд╛ рд▓рд╛рдЧрд┐ EUV рд╕реНрдХреНрдпрд╛рдирд░рд╣рд░реВ рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХ рдкрд░реНрдиреЗ рдЪрд┐рдкрд╣рд░реВрдХреЛ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдорд╛рддреНрд░рд╛ рддреАрди рдЧреБрдгрд╛ рдмрдврд╛рдЙрди рдЕрдиреБрдорддрд┐ рджрд┐рдиреЗрдЫред рдзреНрдпрд╛рди рджрд┐рдиреБрд╣реЛрд╕реН рдХрд┐ рдпреА 7 nm рдорд╛рдкрджрдгреНрдбрд╣рд░реВ рд░ рдХрдо рдкреНрд░рд╛рд╡рд┐рдзрд┐рдХ рд╕реНрддрд░рд╣рд░реВ рднрдПрдХрд╛ рдЙрддреНрдкрд╛рджрдирд╣рд░реВ рд╣реБрдиреЗрдЫрдиреНред рднрд╡рд┐рд╖реНрдпрдорд╛, Hwaseong рдорд╛ V1 рдкреНрд▓рд╛рдиреНрдЯ рдкрдирд┐ 3nm рдЙрддреНрдкрд╛рджрдирд╣рд░реВ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдЧрд░реНрди рд╕рдХреНрд╖рдо рд╣реБрдиреЗрдЫред
V1 рд▓рд╛рдИрдирд╣рд░реВ рд╕рдБрдЧрд╕рдБрдЧреИ, рд╕реИрдорд╕рдВрдЧрд╕рдБрдЧ рдЕрдм рдЬрдореНрдорд╛ рдЫрд╡рдЯрд╛ рд╕реЗрдореАрдХрдиреНрдбрдХреНрдЯрд░ рдлрд╛рдЙрдиреНрдбреНрд░реАрд╣рд░реВ рдЫрдиреНред рддреАрдордзреНрдпреЗ рдкрд╛рдБрдЪ рджрдХреНрд╖рд┐рдг рдХреЛрд░рд┐рдпрд╛ рд░ рдПрдХ рд╕рдВрдпреБрдХреНрдд рд░рд╛рдЬреНрдп рдЕрдореЗрд░рд┐рдХрд╛рдорд╛ рдЫрдиреНред рдпреА рдЙрджреНрдпрдорд╣рд░реВрдХреЛ рд▓рд╛рдЗрдирд╣рд░реВ рдХреБрди рд╕рдмреНрд╕рдЯреНрд░реЗрдЯрд╣рд░реВ рд░ рдХреБрди рдкреНрд░рд╛рд╡рд┐рдзрд┐рдХ рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛рд╣рд░реВрдХреЛ рд▓рд╛рдЧрд┐ рдХрдиреНрдлрд┐рдЧрд░ рдЧрд░рд┐рдПрдХрд╛ рдЫрдиреН рддрдкрд╛рдИрдВрд▓реЗ рдорд╛рдерд┐рдХреЛ рдЪрд┐рддреНрд░рдорд╛ рджреЗрдЦреНрди рд╕рдХреНрдиреБрд╣реБрдиреНрдЫред
рд╕реНрд░реЛрдд: 3dnews.ru