рдбрд┐рд╕реЗрдореНрдмрд░рдорд╛ IEDM 2019 рд╕рдореНрдореЗрд▓рдирдорд╛, TSMC рд▓реЗ 5nm рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдкреНрд░рд╡рд┐рдзрд┐рдХреЛ рдмрд╛рд░реЗрдорд╛ рд╡рд┐рд╕реНрддреГрдд рд░реВрдкрдорд╛ рдХреБрд░рд╛ рдЧрд░реНрдиреЗрдЫред

рд╣рд╛рдореАрд▓рд╛рдИ рдерд╛рд╣рд╛ рдЫ, рдпрд╕ рд╡рд░реНрд╖рдХреЛ рдорд╛рд░реНрдЪрдорд╛, TSMC рд▓реЗ 5nm рдЙрддреНрдкрд╛рджрдирд╣рд░реВрдХреЛ рдкрд╛рдпрд▓рдЯ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рд╕реБрд░реБ рдЧрд░реНрдпреЛред рдпреЛ рддрд╛рдЗрд╡рд╛рдирдХреЛ рдирдпрд╛рдБ рдлреЗрдм 18 рдкреНрд▓рд╛рдиреНрдЯрдорд╛ рднрдпреЛ, рд╡рд┐рд╢реЗрд╖ рд░реВрдкрдорд╛ рдирд┐рд░реНрдорд┐рдд 5nm рд╕рдорд╛рдзрд╛рди рдХреЛ рд░рд┐рд▓реАрдЬ рдХреЛ рд▓рд╛рдЧреАред 5nm N5 рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдкреНрд░рдпреЛрдЧ рдЧрд░реЗрд░ рдареВрд▓реЛ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди 2020 рдХреЛ рджреЛрд╕реНрд░реЛ рдХреНрд╡рд╛рдЯрд░рдорд╛ рдЕрдкреЗрдХреНрд╖рд┐рдд рдЫред рд╕реЛрд╣реА рд╡рд░реНрд╖рдХреЛ рдЕрдиреНрддреНрдпрд╕рдореНрдордорд╛ рдЙрддреНрдкрд╛рджрдХ рел рдПрдирдПрдо рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдкреНрд░рд╡рд┐рдзрд┐ рд╡рд╛ рдПрдирелрдкреА (рдкреНрд░рджрд░реНрд╢рди)рдорд╛ рдЖрдзрд╛рд░рд┐рдд рдЪрд┐рдкреНрд╕рдХреЛ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рд╕реБрд░реБ рд╣реБрдиреЗрдЫ ред рдкреНрд░реЛрдЯреЛрдЯрд╛рдЗрдк рдЪрд┐рдкрд╣рд░реВрдХреЛ рдЙрдкрд▓рдмреНрдзрддрд╛рд▓реЗ TSMC рд▓рд╛рдИ рдирдпрд╛рдБ рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдЯреЗрдХреНрдиреЛрд▓реЛрдЬреАрдорд╛ рдЖрдзрд╛рд░рд┐рдд рднрд╡рд┐рд╖реНрдпрдХрд╛ рдЕрд░реНрдзрдЪрд╛рд▓рдХрд╣рд░реВрдХреЛ рдХреНрд╖рдорддрд╛рд╣рд░реВрдХреЛ рдореВрд▓реНрдпрд╛рдЩреНрдХрди рдЧрд░реНрди рдЕрдиреБрдорддрд┐ рджрд┐рдиреНрдЫ, рдЬреБрди рдХрдореНрдкрдиреАрд▓реЗ рдбрд┐рд╕реЗрдореНрдмрд░рдорд╛ рд╡рд┐рд╕реНрддреГрдд рд░реВрдкрдорд╛ рдХреБрд░рд╛ рдЧрд░реНрдиреЗрдЫред рддрд░ рддрдкрд╛рдИрд▓реЗ рдкрд╣рд┐рд▓реЗ рдиреИ рдХреЗрд╣рд┐ рдкрддреНрддрд╛ рд▓рдЧрд╛рдЙрди рд╕рдХреНрдиреБрд╣реБрдиреНрдЫ рдЖрдЬ IEDM 2019 рдорд╛ рдкреНрд░рд╕реНрддреБрддрд┐рдХреЛ рд▓рд╛рдЧрд┐ TSMC рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рдкреЗрд╢ рдЧрд░рд┐рдПрдХреЛ рд╕рд╛рд░рд╣рд░реВрдмрд╛рдЯред

рдбрд┐рд╕реЗрдореНрдмрд░рдорд╛ IEDM 2019 рд╕рдореНрдореЗрд▓рдирдорд╛, TSMC рд▓реЗ 5nm рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдкреНрд░рд╡рд┐рдзрд┐рдХреЛ рдмрд╛рд░реЗрдорд╛ рд╡рд┐рд╕реНрддреГрдд рд░реВрдкрдорд╛ рдХреБрд░рд╛ рдЧрд░реНрдиреЗрдЫред

рд╡рд┐рд╡рд░рдгрд╣рд░реВ рд╕реНрдкрд╖реНрдЯ рдЧрд░реНрдиреБ рдЕрдШрд┐, TSMC рдмрд╛рдЯ рдЕрдШрд┐рд▓реНрд▓реЛ рдХрдердирд╣рд░реВрдмрд╛рдЯ рд╣рд╛рдореАрд▓рд╛рдИ рдХреЗ рдерд╛рд╣рд╛ рдЫ рднрдиреЗрд░ рд╕рдореНрдЭрдиреБрд╣реЛрд╕реНред 7nm рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛рдХреЛ рддреБрд▓рдирд╛рдорд╛, рдпреЛ рджрд╛рд╡реА рдЧрд░рд┐рдПрдХреЛ рдЫ рдХрд┐ 5nm рдЪрд┐рдкреНрд╕рдХреЛ рд╢реБрджреНрдз рдХрд╛рд░реНрдпрд╕рдореНрдкрд╛рджрди 15% рд▓реЗ рд╡реГрджреНрдзрд┐ рд╣реБрдиреЗрдЫ рд╡рд╛ рдЙрдкрднреЛрдЧ 30% рд▓реЗ рдХрдо рд╣реБрдиреЗрдЫ рдпрджрд┐ рдкреНрд░рджрд░реНрд╢рди рд╕рдорд╛рди рд░рд╣реНрдпреЛ рднрдиреЗред N5P рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛рд▓реЗ рдЕрд░реНрдХреЛ 7% рдЙрддреНрдкрд╛рджрдХрддрд╛ рд╡рд╛ рдЙрдкрднреЛрдЧрдорд╛ 15% рдмрдЪрдд рдердкреНрдиреЗрдЫред рддрд░реНрдХ рддрддреНрд╡рд╣рд░реВрдХреЛ рдШрдирддреНрд╡ рез.рео рдЧреБрдгрд╛ рдмрдвреНрдиреЗрдЫред SRAM рд╕реЗрд▓ рд╕реНрдХреЗрд▓ 1,8 рдХреЛ рдХрд╛рд░рдХ рджреНрд╡рд╛рд░рд╛ рдкрд░рд┐рд╡рд░реНрддрди рд╣реБрдиреЗрдЫред

рдбрд┐рд╕реЗрдореНрдмрд░рдорд╛ IEDM 2019 рд╕рдореНрдореЗрд▓рдирдорд╛, TSMC рд▓реЗ 5nm рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдкреНрд░рд╡рд┐рдзрд┐рдХреЛ рдмрд╛рд░реЗрдорд╛ рд╡рд┐рд╕реНрддреГрдд рд░реВрдкрдорд╛ рдХреБрд░рд╛ рдЧрд░реНрдиреЗрдЫред

5nm рдЪрд┐рдкреНрд╕рдХреЛ рдЙрддреНрдкрд╛рджрдирдорд╛, EUV рд╕реНрдХреНрдпрд╛рдирд░рд╣рд░реВрдХреЛ рдкреНрд░рдпреЛрдЧрдХреЛ рдорд╛рддреНрд░рд╛ рдкрд░рд┐рдкрдХреНрд╡ рдЙрддреНрдкрд╛рджрдирдХреЛ рд╕реНрддрд░рдорд╛ рдкреБрдЧреНрдиреЗрдЫред рдЯреНрд░рд╛рдиреНрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдЪреНрдпрд╛рдирд▓ рд╕рдВрд░рдЪрдирд╛ рдкрд░рд┐рд╡рд░реНрддрди рдЧрд░рд┐рдиреЗрдЫ, рд╕рдореНрднрд╡рддрдГ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХрдирд╕рдБрдЧ рд╡рд╛ рд╕рдЯреНрдЯрд╛ рдЬрд░реНрдореЗрдирд┐рдпрдо рдкреНрд░рдпреЛрдЧ рдЧрд░реЗрд░ред рдпрд╕рд▓реЗ рдЪреНрдпрд╛рдирд▓рдорд╛ рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░реЛрдирд╣рд░реВрдХреЛ рдмрдвреНрджреЛ рдЧрддрд┐рд╢реАрд▓рддрд╛ рд░ рдкреНрд░рд╡рд╛рд╣рд╣рд░реВрдорд╛ рд╡реГрджреНрдзрд┐ рд╕реБрдирд┐рд╢реНрдЪрд┐рдд рдЧрд░реНрдиреЗрдЫред рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдкреНрд░рд╡рд┐рдзрд┐рд▓реЗ рдзреЗрд░реИ рдирд┐рдпрдиреНрддреНрд░рдг рднреЛрд▓реНрдЯреЗрдЬ рд╕реНрддрд░рд╣рд░реВ рдкреНрд░рджрд╛рди рдЧрд░реНрджрдЫ, рдЬрд╕рдордзреНрдпреЗ рдЙрдЪреНрдЪрддрдорд▓реЗ 25 рдПрдирдПрдо рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдкреНрд░рд╡рд┐рдзрд┐рдХреЛ рддреБрд▓рдирд╛рдорд╛ 7% рдкреНрд░рджрд░реНрд╢рди рд╡реГрджреНрдзрд┐ рдкреНрд░рджрд╛рди рдЧрд░реНрджрдЫред I/O рдЗрдиреНрдЯрд░рдлреЗрд╕рдХрд╛ рд▓рд╛рдЧрд┐ рдЯреНрд░рд╛рдиреНрдЬрд┐рд╕реНрдЯрд░ рдкрд╛рд╡рд░ рд╕рдкреНрд▓рд╛рдИ 1,5 V рджреЗрдЦрд┐ 1,2 V рд╕рдореНрдо рд╣реБрдиреЗрдЫред

рдбрд┐рд╕реЗрдореНрдмрд░рдорд╛ IEDM 2019 рд╕рдореНрдореЗрд▓рдирдорд╛, TSMC рд▓реЗ 5nm рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдкреНрд░рд╡рд┐рдзрд┐рдХреЛ рдмрд╛рд░реЗрдорд╛ рд╡рд┐рд╕реНрддреГрдд рд░реВрдкрдорд╛ рдХреБрд░рд╛ рдЧрд░реНрдиреЗрдЫред

рдореЗрдЯрд╛рд▓рд╛рдЗрдЬреЗрд╢рди рд░ рд╕рдореНрдкрд░реНрдХрд╣рд░реВрдХреЛ рд▓рд╛рдЧрд┐ рдкреНрд╡рд╛рд▓рд╣рд░реВрдмрд╛рдЯ рдЙрддреНрдкрд╛рджрдирдорд╛, рдЕрдЭ рдХрдо рдкреНрд░рддрд┐рд░реЛрдзреА рд╕рд╛рдордЧреНрд░реАрд╣рд░реВ рдкреНрд░рдпреЛрдЧ рдЧрд░рд┐рдиреЗрдЫред рдЕрд▓реНрдЯреНрд░рд╛-рд╣рд╛рдИ-рдбреЗрдиреНрд╕рд┐рдЯреА рдХреНрдпрд╛рдкреЗрд╕рд┐рдЯрд░рд╣рд░реВ рдореЗрдЯрд▓-рдбрд╛рдЗрд▓реЗрдХреНрдЯреНрд░рд┐рдХ-рдореЗрдЯрд▓ рд╕рд░реНрдХрд┐рдЯ рдкреНрд░рдпреЛрдЧ рдЧрд░реЗрд░ рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдЧрд░рд┐рдиреЗрдЫ, рдЬрд╕рд▓реЗ рдЙрддреНрдкрд╛рджрдХрддрд╛ 4% рд▓реЗ рд╡реГрджреНрдзрд┐ рдЧрд░реНрдиреЗрдЫред рд╕рд╛рдорд╛рдиреНрдпрддрдпрд╛, TSMC рд▓реЗ рдирдпрд╛рдБ рдХрдо-K рдЗрдиреНрд╕реБрд▓реЗрдЯрд░рд╣рд░реВ рдкреНрд░рдпреЛрдЧ рдЧрд░реНрди рд╕реНрд╡рд┐рдЪ рдЧрд░реНрдиреЗрдЫред рдПрдЙрдЯрд╛ рдирдпрд╛рдБ "рд╕реБрдХреНрдЦрд╛" рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛, рдореЗрдЯрд▓ рд░рд┐рдПрдХреНрдЯрд┐рдн рдЖрдпрди рдЗрдЪрд┐рдЩ (RIE), рд╕рд┐рд▓рд┐рдХрди рд╡реЗрдлрд░ рдкреНрд░рд╢реЛрдзрди рд╕рд░реНрдХрд┐рдЯрдорд╛ рджреЗрдЦрд╛ рдкрд░реНрдиреЗрдЫ, рдЬрд╕рд▓реЗ рдЖрдВрд╢рд┐рдХ рд░реВрдкрдорд╛ рддрд╛рдорд╛рдХреЛ рдкреНрд░рдпреЛрдЧ рдЧрд░реЗрд░ рдкрд░рдореНрдкрд░рд╛рдЧрдд рджрдорд╕реНрдХрд╕ рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛рд▓рд╛рдИ рдкреНрд░рддрд┐рд╕реНрдерд╛рдкрди рдЧрд░реНрдиреЗрдЫ (30 рдПрдирдПрдо рднрдиреНрджрд╛ рд╕рд╛рдиреЛ рдзрд╛рддреБ рд╕рдореНрдкрд░реНрдХрд╣рд░реВрдХреЛ рд▓рд╛рдЧрд┐)ред рд╕рд╛рдереИ, рдкрд╣рд┐рд▓реЛ рдкрдЯрдХ, рдЧреНрд░рд╛рдлрд┐рдирдХреЛ рддрд╣ рддрд╛рдорд╛ рдХрдиреНрдбрдХреНрдЯрд░ рд░ рд╕реЗрдореАрдХрдиреНрдбрдХреНрдЯрд░ (рд╡рд┐рджреНрдпреБрддреАрдп рдорд╛рдЗрдЧреНрд░реЗрд╕рди рд░реЛрдХреНрди) рдмреАрдЪрдХреЛ рдЕрд╡рд░реЛрдз рд╕рд┐рд░реНрдЬрдирд╛ рдЧрд░реНрди рдкреНрд░рдпреЛрдЧ рдЧрд░рд┐рдиреЗрдЫред

рдбрд┐рд╕реЗрдореНрдмрд░рдорд╛ IEDM 2019 рд╕рдореНрдореЗрд▓рдирдорд╛, TSMC рд▓реЗ 5nm рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдкреНрд░рд╡рд┐рдзрд┐рдХреЛ рдмрд╛рд░реЗрдорд╛ рд╡рд┐рд╕реНрддреГрдд рд░реВрдкрдорд╛ рдХреБрд░рд╛ рдЧрд░реНрдиреЗрдЫред

IEDM рдорд╛ рдбрд┐рд╕реЗрдореНрдмрд░ рд░рд┐рдкреЛрд░реНрдЯ рдХреЛ рд▓рд╛рдЧреА рдХрд╛рдЧрдЬрд╛рддрд╣рд░реБ рдмрд╛рдЯ, рд╣рд╛рдореА 5nm рдЪрд┐рдкреНрд╕ рдХреЛ рдорд╛рдкрджрдгреНрдбрд╣рд░реБ рдХреЛ рдПрдХ рд╕рдВрдЦреНрдпрд╛ рдЕрдЭ рд░рд╛рдореНрд░реЛ рд╣реБрдиреЗрдЫ рднрдиреЗрд░ рдмрдЯреБрд▓реНрди рд╕рдХреНрдЫреМрдВред рдпрд╕рд░реА, рддрд░реНрдХ рддрддреНрд╡рд╣рд░реВрдХреЛ рдШрдирддреНрд╡ рдЙрдЪреНрдЪ рд╣реБрдиреЗрдЫ рд░ 1,84 рдкрдЯрдХ рдкреБрдЧреНрдиреЗрдЫред SRAM рд╕реЗрд▓ рдкрдирд┐ рд╕рд╛рдиреЛ рд╣реБрдиреЗрдЫ, реж.режреирез ┬╡m0,021 рдХреЛ рдХреНрд╖реЗрддреНрд░рдлрд▓рдХреЛ рд╕рд╛рдеред рд╕рдмреИ рдХреБрд░рд╛ рдкреНрд░рдпреЛрдЧрд╛рддреНрдордХ рд╕рд┐рд▓рд┐рдХрди рдХреЛ рдкреНрд░рджрд░реНрд╢рди рд╕рдВрдЧ рдХреНрд░рдордмрджреНрдз рдЫ - рдПрдХ 2% рд╡реГрджреНрдзрд┐ рдкреНрд░рд╛рдкреНрдд рднрдПрдХреЛ рдерд┐рдпреЛ, рд╕рд╛рдереИ рдЙрдЪреНрдЪ рдЖрд╡реГрддреНрддрд┐ рдХреЛ рдардВрдб рдХреЛ рдорд╛рдорд▓рд╛ рдорд╛ рдЦрдкрдд рдорд╛ рдПрдХ рд╕рдореНрднрд╛рд╡рд┐рдд 15% рдХрдореАред

рдбрд┐рд╕реЗрдореНрдмрд░рдорд╛ IEDM 2019 рд╕рдореНрдореЗрд▓рдирдорд╛, TSMC рд▓реЗ 5nm рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдкреНрд░рд╡рд┐рдзрд┐рдХреЛ рдмрд╛рд░реЗрдорд╛ рд╡рд┐рд╕реНрддреГрдд рд░реВрдкрдорд╛ рдХреБрд░рд╛ рдЧрд░реНрдиреЗрдЫред

рдирдпрд╛рдБ рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдкреНрд░рд╡рд┐рдзрд┐рд▓реЗ рд╕рд╛рддрд╡рдЯрд╛ рдирд┐рдпрдиреНрддреНрд░рдг рднреЛрд▓реНрдЯреЗрдЬ рдорд╛рдирд╣рд░реВрдмрд╛рдЯ рдЫрдиреМрдЯ рдЧрд░реНрди рд╕рдореНрднрд╡ рдмрдирд╛рдЙрдБрджрдЫ, рдЬрд╕рд▓реЗ рд╡рд┐рдХрд╛рд╕ рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рд░ рдЙрддреНрдкрд╛рджрдирд╣рд░реВрдорд╛ рд╡рд┐рд╡рд┐рдзрддрд╛ рдердкреНрдиреЗрдЫ, рд░ EUV рд╕реНрдХреНрдпрд╛рдирд░рд╣рд░реВрдХреЛ рдкреНрд░рдпреЛрдЧрд▓реЗ рдЙрддреНрдкрд╛рджрдирд▓рд╛рдИ рдирд┐рд╢реНрдЪрд┐рдд рд░реВрдкрдорд╛ рд╕рд░рд▓ рдмрдирд╛рдЙрдБрджрдЫ рд░ рдпрд╕рд▓рд╛рдИ рд╕рд╕реНрддреЛ рдмрдирд╛рдЙрдБрджрдЫред TSMC рдХрд╛ рдЕрдиреБрд╕рд╛рд░, EUV рд╕реНрдХреНрдпрд╛рдирд░рд╣рд░реВрдорд╛ рд╕реНрд╡рд┐рдЪ рдЧрд░реНрджрд╛ 0,73nm рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛рдХреЛ рддреБрд▓рдирд╛рдорд╛ рд░реЗрдЦреАрдп рд░рд┐рдЬреЛрд▓реНрдпреБрд╕рдирдорд╛ 7x рд╕реБрдзрд╛рд░ рд╣реБрдиреНрдЫред рдЙрджрд╛рд╣рд░рдгрдХрд╛ рд▓рд╛рдЧрд┐, рдкрд╣рд┐рд▓реЛ рддрд╣рд╣рд░реВрдХреЛ рд╕рдмреИрднрдиреНрджрд╛ рдорд╣рддреНрддреНрд╡рдкреВрд░реНрдг рдзрд╛рддреБрдХрд░рдг рддрд╣рд╣рд░реВ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдЧрд░реНрди, рдкрд╛рдБрдЪ рдкрд░рдореНрдкрд░рд╛рдЧрдд рдорд╛рд╕реНрдХрдХреЛ рд╕рдЯреНрдЯрд╛, рдХреЗрд╡рд▓ рдПрдЙрдЯрд╛ EUV рдорд╛рд╕реНрдХ рдЖрд╡рд╢реНрдпрдХ рд╣реБрдиреЗрдЫ рд░, рддрджрдиреБрд╕рд╛рд░, рдкрд╛рдБрдЪрдХреЛ рд╕рдЯреНрдЯрд╛ рдХреЗрд╡рд▓ рдПрдЙрдЯрд╛ рдЙрддреНрдкрд╛рджрди рдЪрдХреНрд░ред рд╡реИрд╕реЗ, EUV рдкреНрд░рдХреНрд╖реЗрдкрдг рдкреНрд░рдпреЛрдЧ рдЧрд░реНрджрд╛ рдЪрд┐рдкрдорд╛ рднрдПрдХрд╛ рддрддреНрд╡рд╣рд░реВ рдХрд╕рд░реА рд╕рдлрд╛ рд╣реБрдиреНрдЫрдиреН рднрдиреЗрд░ рдзреНрдпрд╛рди рджрд┐рдиреБрд╣реЛрд╕реНред рд╕реМрдиреНрджрд░реНрдп, рд░ рддреНрдпреЛ рд╕рдмреИ рд╣реЛред



рд╕реНрд░реЛрдд: 3dnews.ru

рдПрдХ рдЯрд┐рдкреНрдкрдгреА рдердкреНрди