En ny teknologi for produksjon av nanometerhalvledere er utviklet i USA

Det er umulig å forestille seg videreutvikling av mikroelektronikk uten å forbedre halvlederproduksjonsteknologier. For å utvide grensene og lære å produsere stadig mindre elementer på krystaller, trengs det nye teknologier og nye verktøy. En av disse teknologiene kan være en banebrytende utvikling av amerikanske forskere.

Et team av forskere fra det amerikanske energidepartementets Argonne National Laboratory har utviklet en ny teknikk for å lage og etse tynne filmer på overflaten av krystaller. Dette kan potensielt føre til produksjon av chips i mindre skala enn i dag og i nær fremtid. Studien ble publisert i tidsskriftet Chemistry of Materials.

Den foreslåtte teknikken ligner den tradisjonelle prosessen atomlagsavsetning og etsing, bare i stedet for uorganiske filmer, skaper og arbeider den nye teknologien med organiske filmer. Egentlig, analogt, kalles den nye teknologien molekylær lagavsetning (MLD, molekylær lagavsetning) og molekylær lagetsing (MLE, molekylær lagetsing).

Som i tilfellet med atomlagsetsing, bruker MLE-metoden gassbehandling i et kammer på overflaten av en krystall med filmer av et organisk-basert materiale. Krystallen behandles syklisk med to forskjellige gasser vekselvis inntil filmen er tynnet til en gitt tykkelse.

Kjemiske prosesser er underlagt selvreguleringslovene. Dette betyr at lag etter lag fjernes jevnt og kontrollert. Hvis du bruker fotomasker, kan du reprodusere topologien til den fremtidige brikken på brikken og etse designet med høyeste nøyaktighet.

I eksperimentet brukte forskerne en gass som inneholder litiumsalter og en gass basert på trimetylaluminium for molekylær etsing. Under etseprosessen reagerte litiumforbindelsen med overflaten av alukonfilmen på en slik måte at litium ble avsatt på overflaten og ødela den kjemiske bindingen i filmen. Deretter ble det levert trimetylaluminium som fjernet filmlaget med litium, og så videre en etter en til filmen var redusert til ønsket tykkelse. God kontrollerbarhet av prosessen, mener forskere, kan tillate den foreslåtte teknologien å presse utviklingen av halvlederproduksjon.

Kilde: 3dnews.ru