Samsung jako pierwszy zastosował skanery EUV do produkcji półprzewodników, co miało miejsce jesienią 2018 roku. Jednak prawdziwie powszechne wykorzystanie procesów technologicznych opartych na projekcji EUV następuje dopiero teraz. W szczególności Samsunga pierwszy na świecie obiekt z pierwotnie planowanymi liniami EUV.
Niedawno firma Samsung Electronics rozpoczęła masową produkcję półprzewodników w fabryce V1 w Hwaseong w Korei. Zaczęto budować przedsiębiorstwo i kilka miesięcy temu wszedł w fazę produkcji pilotażowej. Teraz linie produkcyjne V1 rozpoczęły masową produkcję produktów w procesach 7 nm i 6 nm przy użyciu projekcji ultratwardego ultrafioletu (EUV). Klienci firmy zaczną otrzymywać zamówienia z tego zakładu w ciągu kilku tygodni.
Krążą pogłoski, że w zakładzie V1 zainstalowano co najmniej 10 skanerów EUV. Cena samego tego sprzętu przemysłowego przekracza 1 miliard dolarów, nie wspominając o wszystkim innym. Wcześniej w fabryce Samsung S3 pracowały niektóre jednostki skanerów zasięgu EUV. Uruchomienie nowej produkcji V1 wraz z fabryką S3 do końca roku pozwoli firmie potroić wolumen produkcji chipów, które do przetwarzania wymagają skanerów EUV. Należy pamiętać, że będą to produkty o standardach 7 nm i niższych standardach technologicznych. W przyszłości fabryka V1 w Hwaseong będzie również w stanie wytwarzać produkty w procesie 3 nm.
Oprócz linii V1 Samsung posiada obecnie łącznie sześć odlewni półprzewodników. Pięć z nich znajduje się w Korei Południowej, a jeden w USA. Na powyższym obrazku widać, do jakich substratów i procesów technicznych skonfigurowane są linie tych przedsiębiorstw.
Źródło: 3dnews.ru