Nemogoče si je predstavljati nadaljnji razvoj mikroelektronike brez izboljšanja proizvodnih tehnologij polprevodnikov. Za širjenje meja in učenje izdelave vedno manjših elementov na kristalih so potrebne nove tehnologije in nova orodja. Ena od teh tehnologij bi lahko bila prelomni razvoj ameriških znanstvenikov.
Skupina raziskovalcev iz nacionalnega laboratorija Argonne Ministrstva za energijo ZDA nova tehnika za ustvarjanje in jedkanje tankih filmov na površini kristalov. To bi lahko povzročilo proizvodnjo čipov v manjšem obsegu kot danes in v bližnji prihodnosti. Študija je bila objavljena v reviji Chemistry of Materials.
Predlagana tehnika je podobna tradicionalnemu postopku in jedkanje, le da nova tehnologija namesto anorganskih filmov ustvarja in deluje z organskimi filmi. Pravzaprav se po analogiji nova tehnologija imenuje nanašanje molekularne plasti (MLD, molecular layer deposition) in jedkanje molekularne plasti (MLE, molecular layer etching).
Tako kot v primeru jedkanja atomske plasti tudi metoda MLE uporablja obdelavo s plinom v komori na površini kristala s filmi materiala na organski osnovi. Kristal se ciklično izmenično obdeluje z dvema različnima plinoma, dokler se film ne stanjša na določeno debelino.
Za kemijske procese veljajo zakoni samoregulacije. To pomeni, da se plast za plastjo odstranjuje enakomerno in kontrolirano. Če uporabljate fotomaske, lahko reproducirate topologijo bodočega čipa na čipu in jedkate dizajn z največjo natančnostjo.
V poskusu so znanstveniki za molekularno jedkanje uporabili plin, ki vsebuje litijeve soli, in plin na osnovi trimetilaluminija. Med procesom jedkanja je litijeva spojina reagirala s površino alukonskega filma tako, da se je litij nanesel na površino in uničil kemično vez v filmu. Nato je bil doveden trimetilaluminij, ki je odstranil plast filma z litijem in tako naprej, dokler se film ni zmanjšal na želeno debelino. Znanstveniki menijo, da lahko dober nadzor nad procesom predlagani tehnologiji omogoči pospešitev razvoja proizvodnje polprevodnikov.
Vir: 3dnews.ru