E le mafai ona mafaufauina le faʻalauteleina o le microelectronics e aunoa ma le faʻaleleia o tekinolosi gaosiga o le semiconductor. Ina ia faʻalauteleina tuaoi ma aʻoaʻo pe faʻafefea ona gaosia elemene laiti i luga o tioata, tekinolosi fou ma meafaigaluega fou e manaʻomia. O se tasi o nei tekinolosi e mafai ona avea ma se atinaʻe mataʻutia e saienitisi Amerika.
O se vaega o tagata suʻesuʻe mai le US Department of Energy's Argonne National Laboratory
O le metotia ua fuafuaina e pei o le faiga masani
E pei o le tulaga o le atomic layer etching, o le MLE auala e faʻaaogaina ai le kesi togafitiga i totonu o se potu o luga o se tioata faʻatasi ma ata o se mea faʻavae. O le tioata e fa'ata'amilomilo fa'ata'amilomilo i kasa eseese e lua fa'asolosolo se'ia o'o ina manifinifi le ata i se mafiafia ua tu'uina atu.
O fa'agasologa o vaila'au e fa'atatau i tulafono o le pulea e le tagata lava ia. O lona uiga o lea fa'alava ma lea fa'amea e aveese fa'atasi ma i se faiga fa'atonutonu. Afai e te faʻaogaina photomasks, e mafai ona e toe faʻaleleia le topology o le vaʻa i le lumanaʻi i luga o le pu ma faʻapipiʻi le mamanu ma le saʻo maualuga.
I le faʻataʻitaʻiga, na faʻaogaina e saienitisi se kesi o loʻo i ai masima lithium ma se kesi e faʻavae i luga o le trimethylaluminum mo le molecular etching. I le taimi o le etching process, o le lithium compound na tali atu i luga o le ata alucone i se auala na teuina ai le lithium i luga o le fogaeleele ma faʻaumatia ai le vailaʻau vailaʻau i le ata. Ona tuʻuina atu lea o le trimethylaluminum, lea na aveese ai le vaega o le ata tifaga ma le lithium, ma faʻasolosolo taʻitasi seia oʻo ina faʻaitiitia le ata i le mafiafia manaʻomia. Le pulea lelei o le faagasologa, talitonu saienitisi, e mafai ona faatagaina le tekinolosi fuafuaina e tuleia le atinae o le gaosiga o le semiconductor.
puna: 3dnews.ru