Bakeng sa nako e telele , hore ho tloha theknoloji ea ts'ebetso ea 3nm, li-transistors li tla tloha ho "fin" liteishene tsa FinFET tse otlolohileng ho ea ho liteishene tse tšekaletseng tsa nanopage tse pota-potiloeng ka ho feletseng ke liheke kapa GAA (heke-ka hohle). Kajeno, setsi sa Fora CEA-Leti se bonts'itse hore na lits'ebetso tsa tlhahiso ea li-transistor tsa FinFET li ka sebelisoa joang ho hlahisa li-transistors tsa GAA tsa maemo a mangata. 'Me ho boloka tsoelo-pele ea mekhoa ea theknoloji ke motheo o ka tšeptjoang oa phetoho e potlakileng.
Litsebi tsa CEA-Leti bakeng sa simposiamo sa VLSI Technology & Circuits 2020 mabapi le tlhahiso ea transistor ea likarolo tse supileng tsa GAA (liteboho tse khethehileng ho seoa sa coronavirus, ka lebaka leo litokomane tsa lipuo li ileng tsa qala ho hlaha hang-hang, eseng likhoeli ka mor'a likopano). Bafuputsi ba Mafora ba pakile hore ba ka hlahisa li-transistors tsa GAA tse nang le likanale ka mokhoa oa "stack" eohle ea nanopages ba sebelisa theknoloji e sebelisoang haholo ea seo ho thoeng ke ts'ebetso ea RMG (heke ea tšepe e ncha kapa, ka Serussia, tšepe e ncha (ea nakoana). Keiti). Ka nako e 'ngoe, ts'ebetso ea tekheniki ea RMG e ile ea fetoloa bakeng sa tlhahiso ea li-transistors tsa FinFET mme, joalo ka ha re bona, e ka atolosoa ho hlahisa li-transistors tsa GAA tse nang le tlhophiso ea mekhahlelo e mengata ea liteishene tsa nanopage.
Ho ea kamoo re tsebang kateng, ha Samsung e qala ho hlahisa li-chips tsa 3-nm, e rera ho hlahisa li-transistors tsa GAA tse nang le likarolo tse peli tse nang le liteishene tse peli tse bataletseng (nanopages) tse ka holimo ho tse ling, tse pota-potiloeng ka mahlakoreng 'ohle ke heke. Litsebi tsa CEA-Leti li bontšitse hore hoa khoneha ho hlahisa li-transistors tse nang le liteishene tse supileng tsa nanopage 'me ka nako e ts'oanang li behe liteishene ho bophara bo hlokahalang. Mohlala, transistor ea liteko ea GAA e nang le likanale tse supileng e ile ea lokolloa ka liphetolelo tse nang le bophara ho tloha ho 15 nm ho isa ho 85 nm. Ho hlakile hore sena se u lumella ho beha litšoaneleho tse nepahetseng bakeng sa li-transistors le ho netefatsa ho pheta-pheta ha tsona (ho fokotsa ho ata ha li-parameter).
Ho ea ka Mafora, ha maemo a liteishene a ntse a eketseha ka har'a transistor ea GAA, bophara bo matla ba mocha o felletseng, ka hona, taolo e betere ea transistor. Hape, mohahong oa li-multilayer ho na le ho fokotseha ho fokolang hona joale. Ka mohlala, GAA transistor ea likarolo tse supileng e na le makhetlo a mararo a ho lutla ha hona joale ho feta a mekhahlelo e 'meli (ha e le hantle, joaloka Samsung GAA). Le ha ho le joalo, indasteri e se e fumane tsela ea ho ea holimo, e suthela hole le ho beoa ha likarolo ho chip ho ea ho tse otlolohileng. Ho bonahala eka li-microcircuits li ke ke tsa tlameha ho eketsa sebaka sa likristale e le hore li potlake, li be matla le ho sebetsa hantle.
Source: 3dnews.ru