Компания Samsung первой начала использовать сканеры диапазона EUV для выпуска полупроводников, что произошло ещё осенью 2018 года. Но по-настоящему массовое использование техпроцессов на основе EUV-проекции происходит только сейчас. В частности, Samsung первое в мире предприятие с изначально запланированными линиями EUV.
На днях компания Samsung Electronics приступила к массовому производству полупроводников на заводе V1 в городе Хвасон, Республика Корея. Предприятие начало строиться в и вошло в стадию опытного производства несколько месяцев назад. Сейчас линии завода V1 начали массово выпускать 7-нм и 6-нм продукцию с использованием проекции в сверхжёстком ультрафиолетовом диапазоне (EUV). Клиенты компании начнут получать заказы с этого завода через считанные недели.
По слухам, на заводе V1 установлены минимум 10 сканеров EUV. Цена вопроса только за это промышленное оборудование превышает $1 млрд, не говоря уже за всё остальное. До этого на заводе Samsung S3 работали какие-то единицы сканеров диапазона EUV. Новое производство V1 вместе с заводом S3 до конца года позволит компании утроить объёмы выпуска чипов, для обработки которых необходимы сканеры EUV. Отметим, это будет продукция с нормами 7 нм и с меньшими технологическими нормами. В перспективе завод V1 в Хвасоне будет способен выпускать также 3-нм продукцию.
Вместе с линиями V1 у компании Samsung теперь в общей сложности шесть заводов по производству полупроводников. Пять из них в Южной Корее и один в США. С какими подложками, и на какие техпроцессы настроены линии этих предприятий, вы можете увидеть на картинке выше.
Chanzo: 3dnews.ru