நீண்ட காலமாக , 3nm செயல்முறை தொழில்நுட்பத்தில் இருந்து, டிரான்சிஸ்டர்கள் செங்குத்து "fin" FinFET சேனல்களில் இருந்து முற்றிலும் கேட்கள் அல்லது GAA (கேட்-ஆல்ரவுண்ட்) சூழப்பட்ட கிடைமட்ட நானோபேஜ் சேனல்களுக்கு நகரும். இன்று, பிரெஞ்சு நிறுவனமான CEA-Leti, FinFET டிரான்சிஸ்டர் உற்பத்தி செயல்முறைகள் பல-நிலை GAA டிரான்சிஸ்டர்களை எவ்வாறு தயாரிக்கப் பயன்படுத்தலாம் என்பதைக் காட்டியது. தொழில்நுட்ப செயல்முறைகளின் தொடர்ச்சியை பராமரிப்பது விரைவான மாற்றத்திற்கான நம்பகமான அடிப்படையாகும்.
VLSI டெக்னாலஜி & சர்க்யூட்ஸ் 2020 சிம்போசியத்திற்கான CEA-Leti நிபுணர்கள் ஏழு-நிலை ஜிஏஏ டிரான்சிஸ்டரின் உற்பத்தியைப் பற்றி (கொரோனா வைரஸ் தொற்றுநோய்க்கு சிறப்பு நன்றி, விளக்கக்காட்சிகளின் ஆவணங்கள் இறுதியாக உடனடியாகத் தோன்றத் தொடங்கின, மாநாடுகளுக்குப் பிறகு அல்ல). RMG செயல்முறை என்று அழைக்கப்படும் (மாற்று உலோக வாயில் அல்லது ரஷ்ய மொழியில் மாற்று (தற்காலிக) உலோகம் என்று அழைக்கப்படும் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி, நானோபேஜ்களின் முழு "ஸ்டாக்" வடிவில் சேனல்களுடன் GAA டிரான்சிஸ்டர்களை உருவாக்க முடியும் என்பதை பிரெஞ்சு ஆராய்ச்சியாளர்கள் நிரூபித்துள்ளனர். வாயில்). ஒரு காலத்தில், RMG தொழில்நுட்ப செயல்முறையானது FinFET டிரான்சிஸ்டர்களின் உற்பத்திக்காக மாற்றியமைக்கப்பட்டது, மேலும் நாம் பார்க்கிறபடி, நானோபேஜ் சேனல்களின் பல-நிலை ஏற்பாட்டுடன் GAA டிரான்சிஸ்டர்களின் உற்பத்திக்கு நீட்டிக்கப்படலாம்.
சாம்சங், நமக்குத் தெரிந்தவரை, 3-என்எம் சில்லுகளின் உற்பத்தியைத் தொடங்கியவுடன், இரண்டு-நிலை GAA டிரான்சிஸ்டர்களை ஒன்றன் மேல் ஒன்றாக அமைந்துள்ள இரண்டு தட்டையான சேனல்களுடன் (நானோபேஜ்கள்) உருவாக்க திட்டமிட்டுள்ளது, எல்லா பக்கங்களிலும் ஒரு வாயிலால் சூழப்பட்டுள்ளது. CEA-Leti நிபுணர்கள் ஏழு நானோபேஜ் சேனல்களைக் கொண்ட டிரான்சிஸ்டர்களை உருவாக்க முடியும் என்பதைக் காட்டியுள்ளனர், அதே நேரத்தில் சேனல்களை தேவையான அகலத்திற்கு அமைக்கவும். எடுத்துக்காட்டாக, ஏழு சேனல்கள் கொண்ட ஒரு சோதனை GAA டிரான்சிஸ்டர் 15 nm முதல் 85 nm வரை அகலம் கொண்ட பதிப்புகளில் வெளியிடப்பட்டது. இது டிரான்சிஸ்டர்களுக்கான துல்லியமான குணாதிசயங்களை அமைக்கவும், அவற்றின் மறுபரிசீலனைக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கவும் உங்களை அனுமதிக்கிறது என்பது தெளிவாகிறது (அளவுருக்களின் பரவலைக் குறைக்கவும்).
பிரஞ்சு படி, ஒரு GAA டிரான்சிஸ்டரில் அதிக சேனல் நிலைகள், மொத்த சேனலின் பயனுள்ள அகலம் அதிகமாகும், எனவே, டிரான்சிஸ்டரின் சிறந்த கட்டுப்பாட்டு திறன். மேலும், பல அடுக்கு கட்டமைப்பில் குறைவான கசிவு மின்னோட்டம் உள்ளது. எடுத்துக்காட்டாக, ஏழு-நிலை GAA டிரான்சிஸ்டர் இரண்டு-நிலை ஒன்றை விட மூன்று மடங்கு குறைவான கசிவு மின்னோட்டத்தைக் கொண்டுள்ளது (ஒப்பீட்டளவில், Samsung GAA போன்றது). சரி, தொழில்துறை இறுதியாக ஒரு வழியைக் கண்டறிந்துள்ளது, ஒரு சிப்பில் உள்ள உறுப்புகளின் கிடைமட்ட இடத்திலிருந்து செங்குத்தாக நகர்கிறது. மைக்ரோ சர்க்யூட்கள் இன்னும் வேகமாகவும், சக்திவாய்ந்ததாகவும் மற்றும் ஆற்றல் திறன் கொண்டதாகவும் மாற, படிகங்களின் பரப்பளவை அதிகரிக்க வேண்டியதில்லை என்று தெரிகிறது.
ஆதாரம்: 3dnews.ru