சாம்சங் EUV ஸ்கேனர்களைப் பயன்படுத்தி செமிகண்டக்டர் லித்தோகிராஃபியில் அதன் முன்னோடி நன்மையை முழுமையாகப் பயன்படுத்துகிறது. TSMC ஜூன் மாதத்தில் 13,5 nm ஸ்கேனர்களைப் பயன்படுத்தத் தயாராகிறது, 7 nm செயல்முறையின் இரண்டாம் தலைமுறையில் சில்லுகளைத் தயாரிக்க அவற்றைத் தழுவி, சாம்சங் ஆழமாக மூழ்கி வருகிறது. 5 nm வடிவமைப்பு தரங்களுடன் தொழில்நுட்ப செயல்முறையின் வளர்ச்சியின் முடிவில். மேலும், தென் கொரிய நிறுவனமானது மல்டி-டிசைன் செதில்களில் உற்பத்தி செய்வதற்கான 5-என்எம் தீர்வுகளை தயாரிப்பதற்கான ஆர்டர்களை ஏற்கும் தொடக்கத்தை அறிவித்தது. அதாவது 5 nm தரநிலைகளுடன் டிஜிட்டல் சிப் வடிவமைப்புகளை ஏற்க Samsung தயாராக உள்ளது மற்றும் 5 nm சிலிக்கான் வேலை செய்யும் பைலட் தொகுதிகளை உருவாக்குகிறது.
EUV உடன் 7nm வழங்குவதில் இருந்து EUV உடன் 5nm தீர்வுகளை தயாரிப்பது வரை நிறுவனம் விரைவாக நகர்வதற்கு உதவுவது, வடிவமைப்பு கூறுகள் (IP), வடிவமைப்பு மற்றும் ஆய்வுக் கருவிகளுக்கு இடையே இயங்கும் தன்மையை சாம்சங் பராமரித்தது. மற்றவற்றுடன், நிறுவனத்தின் வாடிக்கையாளர்கள் வடிவமைப்பு கருவிகள், சோதனை மற்றும் ஆயத்த ஐபி தொகுதிகளை வாங்குவதில் பணத்தை மிச்சப்படுத்துவார்கள் என்பதாகும். கடந்த ஆண்டின் நான்காவது காலாண்டில் EUV உடன் சாம்சங்கின் 7-nm தரநிலைகளுக்கான சில்லுகளின் வளர்ச்சியின் ஒரு பகுதியாக வடிவமைப்பு, முறைமை (DM, வடிவமைப்பு முறைகள்) மற்றும் EDA தானியங்கு வடிவமைப்பு தளங்களுக்கான PDKகள் கிடைக்கப்பெற்றன. இந்த கருவிகள் அனைத்தும் FinFET டிரான்சிஸ்டர்களுடன் 5 nm செயல்முறை தொழில்நுட்பத்திற்கான டிஜிட்டல் திட்டங்களின் வளர்ச்சியை உறுதி செய்யும்.
நிறுவனம் EUV ஸ்கேனர்களைப் பயன்படுத்தும் 7nm செயல்முறையுடன் ஒப்பிடும்போது கடந்த ஆண்டு, 5 nm செயல்முறை தொழில்நுட்பம் சிப் பகுதி பயன்பாட்டின் செயல்திறனை 25% அதிகரிப்பை வழங்கும் (சாம்சங் சிப் பகுதி அளவை 25% குறைப்பது பற்றிய நேரடி அறிக்கைகளைத் தவிர்க்கிறது, இது எண்களைக் கையாளுவதற்கு இடமளிக்கிறது). மேலும், 5-nm செயல்முறைக்கு மாறுவது சிப் நுகர்வு 20% குறைக்கும் அல்லது தீர்வுகளின் செயல்திறனை 10% அதிகரிக்கும். மற்றொரு போனஸ் குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்குத் தேவையான ஒளிக்கவசங்களின் எண்ணிக்கையைக் குறைப்பதாகும்.
சாம்சங் Hwaseong இல் உள்ள S3 ஆலையில் EUV ஸ்கேனர்களைப் பயன்படுத்தி தயாரிப்புகளை உற்பத்தி செய்கிறது. இந்த ஆண்டின் இரண்டாம் பாதியில், நிறுவனம் Fab S3 க்கு அடுத்ததாக ஒரு புதிய வசதியின் கட்டுமானத்தை நிறைவு செய்யும், இது அடுத்த ஆண்டு EUV செயல்முறைகளைப் பயன்படுத்தி சில்லுகளை தயாரிக்க தயாராக இருக்கும்.
ஆதாரம்: 3dnews.ru