குறைக்கடத்தி உற்பத்தி தொழில்நுட்பங்களை மேம்படுத்தாமல் மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸின் மேலும் வளர்ச்சியை கற்பனை செய்வது சாத்தியமில்லை. எல்லைகளை விரிவுபடுத்தி, படிகங்களில் சிறிய கூறுகளை எவ்வாறு உருவாக்குவது என்பதை அறிய, புதிய தொழில்நுட்பங்கள் மற்றும் புதிய கருவிகள் தேவை. இந்த தொழில்நுட்பங்களில் ஒன்று அமெரிக்க விஞ்ஞானிகளின் திருப்புமுனை வளர்ச்சியாக இருக்கலாம்.
அமெரிக்க எரிசக்தி துறையின் ஆர்கோன் தேசிய ஆய்வகத்தின் ஆராய்ச்சியாளர்கள் குழு படிகங்களின் மேற்பரப்பில் மெல்லிய படலங்களை உருவாக்குவதற்கும் பொறிப்பதற்கும் ஒரு புதிய நுட்பம். இது இன்றைய மற்றும் எதிர்காலத்தில் சிறிய அளவில் சிப்ஸ் உற்பத்திக்கு வழிவகுக்கும். கெமிஸ்ட்ரி ஆஃப் மெட்டீரியல்ஸ் இதழில் இந்த ஆய்வு வெளியிடப்பட்டுள்ளது.
முன்மொழியப்பட்ட நுட்பம் பாரம்பரிய செயல்முறையை ஒத்திருக்கிறது மற்றும் பொறித்தல், கனிமப் படங்களுக்குப் பதிலாக, புதிய தொழில்நுட்பம் ஆர்கானிக் பிலிம்களை உருவாக்கி வேலை செய்கிறது. உண்மையில், ஒப்புமை மூலம், புதிய தொழில்நுட்பமானது மூலக்கூறு அடுக்கு படிவு (MLD, மூலக்கூறு அடுக்கு படிவு) மற்றும் மூலக்கூறு அடுக்கு பொறித்தல் (MLE, மூலக்கூறு அடுக்கு பொறித்தல்) என்று அழைக்கப்படுகிறது.
அணு அடுக்கு செதுக்குவதைப் போலவே, MLE முறையானது கரிம அடிப்படையிலான பொருட்களின் படங்களுடன் ஒரு படிகத்தின் மேற்பரப்பின் அறையில் வாயு சிகிச்சையைப் பயன்படுத்துகிறது. படம் கொடுக்கப்பட்ட தடிமனுக்கு மெல்லியதாக இருக்கும் வரை படிகமானது மாறி மாறி இரண்டு வெவ்வேறு வாயுக்களுடன் சுழற்சி முறையில் சிகிச்சையளிக்கப்படுகிறது.
இரசாயன செயல்முறைகள் சுய கட்டுப்பாடு விதிகளுக்கு உட்பட்டவை. இதன் பொருள் அடுக்குக்கு அடுக்கு சமமாக மற்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட முறையில் அகற்றப்படுகிறது. நீங்கள் போட்டோமாஸ்க்குகளைப் பயன்படுத்தினால், எதிர்கால சிப்பின் இடவியலை சிப்பில் மீண்டும் உருவாக்கலாம் மற்றும் வடிவமைப்பை மிகத் துல்லியத்துடன் பொறிக்கலாம்.
சோதனையில், விஞ்ஞானிகள் லித்தியம் உப்புகள் கொண்ட ஒரு வாயு மற்றும் மூலக்கூறு பொறிக்க டிரைமெதிலாலுமினியம் அடிப்படையிலான வாயுவைப் பயன்படுத்தினர். பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது, லித்தியம் கலவையானது அலுகோன் படத்தின் மேற்பரப்புடன் வினைபுரிந்து, லித்தியம் மேற்பரப்பில் படிந்து, படத்தில் உள்ள வேதியியல் பிணைப்பை அழித்தது. பின்னர் ட்ரைமெதிலாலுமினியம் வழங்கப்பட்டது, இது லித்தியத்துடன் படத்தின் அடுக்கை அகற்றியது, மேலும் படம் விரும்பிய தடிமனாக குறைக்கப்படும் வரை ஒவ்வொன்றாக. செயல்முறையின் நல்ல கட்டுப்பாடு, விஞ்ஞானிகள் நம்புகிறார்கள், முன்மொழியப்பட்ட தொழில்நுட்பம் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் வளர்ச்சியைத் தள்ள அனுமதிக்கும்.
ஆதாரம்: 3dnews.ru