చాలా కాలం పాటు 3-nm ప్రాసెస్ టెక్నాలజీతో, ట్రాన్సిస్టర్లు నిలువు "రిబ్బెడ్" ఫిన్ఫెట్ ఛానెల్ల నుండి, గేట్లతో పూర్తిగా చుట్టుముట్టబడిన అడ్డ నానోపేజ్ ఛానెల్లకు, లేదా గేట్-ఆల్-అరౌండ్ (GAA)కు పరివర్తన చెందుతాయని అంచనా. ఈ రోజు, ఫ్రెంచ్ సంస్థ CEA-Leti, బహుళ-స్థాయి GAA ట్రాన్సిస్టర్లను ఉత్పత్తి చేయడానికి ఫిన్ఫెట్ ట్రాన్సిస్టర్ తయారీ ప్రక్రియలను ఎలా ఉపయోగించవచ్చో ప్రదర్శించింది. వేగవంతమైన పరివర్తనకు ప్రక్రియ కొనసాగింపును నిర్వహించడం ఒక నమ్మకమైన పునాది.
CEA-Leti నిపుణులు VLSI టెక్నాలజీ & సర్క్యూట్స్ 2020 సింపోజియంలో పాల్గొంటారు ఏడు-స్థాయిల GAA ట్రాన్సిస్టర్ ఉత్పత్తిపై (సమావేశాల తర్వాత నెలల తరబడి వేచి చూడకుండా, చివరకు ప్రజెంటేషన్ పత్రాలు త్వరగా వెలువడటానికి వీలు కల్పించిన కరోనావైరస్ మహమ్మారికి ప్రత్యేక ధన్యవాదాలు). విస్తృతంగా ఉపయోగించే RMG (రీప్లేస్మెంట్ మెటల్ గేట్) ప్రక్రియను ఉపయోగించి, నానోపేజీల "స్టాక్" వలె అమర్చబడిన ఛానెల్లతో GAA ట్రాన్సిస్టర్లను తాము ఉత్పత్తి చేయగలమని ఫ్రెంచ్ పరిశోధకులు నిరూపించారు. RMG ప్రక్రియ వాస్తవానికి FinFET ట్రాన్సిస్టర్ల ఉత్పత్తి కోసం స్వీకరించబడింది మరియు మనం చూడగలిగినట్లుగా, ఛానెల్ల (నానోపేజీల) బహుళ-స్థాయి అమరికతో GAA ట్రాన్సిస్టర్ల ఉత్పత్తికి దీనిని విస్తరించవచ్చు.
మాకు తెలిసినంతవరకు, శాంసంగ్ 3-nm చిప్ ఉత్పత్తితో రెండు-స్థాయి గేట్-ఆల్-అరౌండ్ ట్రాన్సిస్టర్లను విడుదల చేయాలని యోచిస్తోంది. వీటిలో ఒకదానిపై ఒకటి అమర్చబడిన రెండు ఫ్లాట్ ఛానెల్లు (నానోపేజీలు) ఉంటాయి మరియు అన్ని వైపులా ఒక గేట్తో చుట్టుముట్టబడి ఉంటుంది. ఏడు నానోపేజీ ఛానెల్లతో ట్రాన్సిస్టర్లను తయారు చేయడం మరియు ఛానెల్ వెడల్పును అనుకూలీకరించడం సాధ్యమని CEA-Leti నిపుణులు నిరూపించారు. ఉదాహరణకు, ఒక ప్రయోగాత్మక ఏడు-ఛానెల్ గేట్-ఆల్-అరౌండ్ ట్రాన్సిస్టర్ 15 nm నుండి 85 nm వరకు వెడల్పులలో తయారు చేయబడింది. స్పష్టంగా, ఇది కచ్చితమైన ట్రాన్సిస్టర్ లక్షణాలను అనుమతిస్తుంది మరియు పునరావృతతను (పారామితి వైవిధ్యాన్ని తగ్గించడం) నిర్ధారిస్తుంది.
ఫ్రెంచ్ వారి ప్రకారం, ఒక GAA ట్రాన్సిస్టర్లో ఛానల్ స్థాయిలు ఎంత ఎక్కువగా ఉంటే, మొత్తం ఛానల్ యొక్క ప్రభావవంతమైన వెడల్పు అంత ఎక్కువగా ఉంటుంది మరియు తత్ఫలితంగా, ట్రాన్సిస్టర్ యొక్క నియంత్రణ సామర్థ్యం అంత మెరుగ్గా ఉంటుంది. బహుళ-పొరల నిర్మాణం లీకేజ్ కరెంట్లను కూడా తగ్గిస్తుంది. ఉదాహరణకు, రెండు-స్థాయిల ట్రాన్సిస్టర్ (శామ్సంగ్ GAA మాదిరిగా) కంటే ఏడు-స్థాయిల GAA ట్రాన్సిస్టర్లో లీకేజ్ కరెంట్లు మూడు రెట్లు తక్కువగా ఉంటాయి. కాబట్టి, డైపై ఎలిమెంట్లను అడ్డంగా అమర్చడం నుండి నిలువుగా అమర్చడానికి మారడం ద్వారా పరిశ్రమ చివరకు ఒక మార్గాన్ని కనుగొంది. మైక్రోచిప్లు మరింత వేగవంతంగా, మరింత శక్తివంతంగా మరియు మరింత శక్తి సామర్థ్యంతో మారడానికి డై వైశాల్యాన్ని పెంచాల్సిన అవసరం ఉండదని తెలుస్తోంది.
మూలం: 3dnews.ru
