Ҳанӯз дар моҳи май, ASML, пешвои сегменти сканери литография, дар бораи дурнамои пайдоиши системаҳое, ки дар оғози даҳсолаи оянда кор мекунанд, бо арзиши апертураи ултра-баланди ададӣ 0,75 (Hyper-NA EUV) кор карданро имкон медиҳанд, сухан гуфт. Намояндагони Imec даъво доранд, ки дар даҳсолаи оянда литография аз истифодаи лазер ва кремний дур нахоҳад шуд. Манбаи тасвир: ASML
Манбаъ: 3dnews.ru
