Тараккиёти минбаъ-даи микроэлектроникаро бе такмил додани технологиям истехсоли нимнокилхо тасаввур кардан мумкин нест. Барои васеъ кардани сарҳадҳо ва омӯхтани тарзи истеҳсоли унсурҳои хурдтар дар кристалҳо, технологияҳои нав ва асбобҳои нав лозиманд. Яке аз ин технологияҳо метавонад як пешрафт аз ҷониби олимони амрикоӣ бошад.
Гурӯҳи муҳаққиқон аз лабораторияи миллии Аргонна дар Вазорати энергетикаи ИМА техникаи нави ба вучуд овардан ва канда кардани плёнкахои тунук дар руи кристаллхо. Ин метавонад ба истеҳсоли микросхемаҳои хурдтар аз имрӯз ва дар ояндаи наздик оварда расонад. Тадқиқот дар маҷаллаи Chemistry of Materials нашр шудааст.
Техникаи пешниҳодшуда ба раванди анъанавӣ шабоҳат дорад ва афшура, танҳо ба ҷои филмҳои ғайриорганикӣ, технологияи нав филмҳои органикӣ эҷод мекунад ва бо онҳо кор мекунад. Воқеан, аз рӯи қиёс, технологияи навро депозитсияи қабати молекулавӣ (MLD, deposition қабати молекулавӣ) ва etching қабати молекулавӣ (MLE, etching қабати молекулавӣ) меноманд.
Тавре ки дар ҳолати пошидани қабати атомӣ, усули MLE коркарди газро дар як камераи сатҳи кристалл бо филмҳои маводи органикӣ истифода мебарад. Кристалл ба таври даврӣ бо ду гази гуногун ба таври навбатӣ коркард карда мешавад, то он даме ки плёнка ба ғафсии додашуда тунук шавад.
Равандҳои химиявӣ ба қонунҳои худтанзимкунӣ итоат мекунанд. Ин маънои онро дорад, ки қабат ба қабат баробар ва ба таври назоратшаванда хориҷ карда мешавад. Агар шумо фотомаскаҳоро истифода баред, шумо метавонед топологияи чипи ояндаро дар чип дубора тавлид кунед ва тарҳро бо дақиқии баландтарин нақш кунед.
Дар озмоиш олимон гази дорои намакҳои литий ва гази бар триметилюминий асосёфтаро барои пошидани молекулавӣ истифода бурданд. Ҳангоми коркард, пайвастагии литий бо сатҳи плёнкаи алукон тавре реаксия кард, ки литий дар рӯи он ҷойгир шуда, пайванди кимиёвии филмро нест кард. Пас аз он триметилюминий дода шуд, ки он қабати плёнкаро бо литий тоза кард ва ҳамин тавр то ба ғафсии дилхоҳи плёнка кам карда шавад. Идоракунии хуби раванд, ба эътиқоди олимон, метавонад ба технологияи пешниҳодшуда имкон диҳад, ки рушди истеҳсоли нимноқилҳоро тела диҳад.
Манбаъ: 3dnews.ru