Літографія з використанням лазера та кремнію залишиться головним способом випуску чіпів та у наступному десятилітті

Ще в травні компанія ASML, яка є лідером у сегменті літографічних сканерів, розповіла про перспективи появи до початку наступного десятиліття систем, що дозволяють працювати з надвисоким значенням числової апертури — 0,75 (Hyper-NA EUV). Представники Imec стверджують, що і в наступному десятилітті літографія не втече від використання лазерів та кремнію. Джерело зображення: ASML
Джерело: 3dnews.ru