Компанія Samsung першою почала використовувати сканери діапазону EUV для випуску напівпровідників, що сталося ще восени 2018 року. Але по-справжньому масове використання техпроцесів на основі EUV-проекції відбувається лише зараз. Зокрема, Samsung перше у світі підприємство із спочатку запланованими лініями EUV.
Днями компанія Samsung Electronics розпочала масове виробництво напівпровідників на заводі V1 у місті Хвасон, Республіка Корея. Підприємство почало будуватися в і увійшло до стадії досвідченого виробництва кілька місяців тому. Зараз лінії заводу V1 почали масово випускати 7-нм та 6-нм продукцію з використанням проекції у наджорсткому ультрафіолетовому діапазоні (EUV). Клієнти компанії почнуть отримувати замовлення з цього заводу за лічені тижні.
За чутками, на заводі V1 встановлено щонайменше 10 сканерів EUV. Ціна питання лише за це промислове обладнання перевищує $1 млрд, не кажучи вже про все інше. До цього на заводі Samsung S3 працювали якісь одиниці сканерів діапазону EUV. Нове виробництво V1 разом із заводом S3 до кінця року дозволить компанії потроїти обсяги випуску чіпів, для обробки яких потрібні сканери EUV. Зазначимо, це буде продукція з нормами 7 нм та з меншими технологічними нормами. У перспективі завод V1 у Хвасоні буде здатний випускати також 3-нм продукцію.
Разом з лініями V1 у компанії Samsung тепер загалом шість заводів з виробництва напівпровідників. П'ять із них у Південній Кореї та один у США. З якими підкладками, і на які техпроцеси налаштовані лінії цих підприємств, ви можете побачити на зображенні вище.
Джерело: 3dnews.ru