AQShda nanometrli yarim o'tkazgichlarni ishlab chiqarishning yangi texnologiyasi ishlab chiqildi

Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish texnologiyalarini takomillashtirmasdan mikroelektronikaning keyingi rivojlanishini tasavvur qilib bo'lmaydi. Chegaralarni kengaytirish va kristallarda kichikroq elementlarni qanday ishlab chiqarishni o'rganish uchun yangi texnologiyalar va yangi vositalar kerak bo'ladi. Ushbu texnologiyalardan biri amerikalik olimlar tomonidan yaratilgan yutuq bo'lishi mumkin.

AQSh Energetika vazirligining Argonna milliy laboratoriyasi tadqiqotchilari guruhi rivojlandi kristallar yuzasida yupqa plyonkalarni yaratish va surtishning yangi texnikasi. Bu bugungi va yaqin kelajakdagidan kichikroq miqyosda chiplar ishlab chiqarishga olib kelishi mumkin. Tadqiqot Chemistry of Materials jurnalida chop etildi.

Taklif etilgan texnika an'anaviy jarayonga o'xshaydi atom qatlamining cho'kishi va etching, faqat noorganik filmlar o'rniga, yangi texnologiya organik filmlarni yaratadi va ular bilan ishlaydi. Aslida, o'xshashlik bo'yicha, yangi texnologiya molekulyar qatlamni cho'ktirish (MLD, molekulyar qatlamni cho'ktirish) va molekulyar qatlamni yotqizish (MLE, molekulyar qatlamni yotqizish) deb ataladi.

Atom qatlamini qirqish holatida bo'lgani kabi, MLE usulida organik asosli material plyonkalari bilan kristall sirtining kamerasida gaz bilan ishlov berish qo'llaniladi. Kristal plyonka ma'lum qalinlikda yupqalashtirilgunga qadar navbatma-navbat ikki xil gaz bilan tsiklik ishlov beriladi.

Kimyoviy jarayonlar o'z-o'zini boshqarish qonunlariga bo'ysunadi. Bu shuni anglatadiki, qatlamdan keyingi qatlam bir tekis va boshqariladigan tarzda olib tashlanadi. Agar siz fotomaskalardan foydalansangiz, kelajakdagi chipning topologiyasini chipda takrorlashingiz va dizaynni eng yuqori aniqlik bilan chizishingiz mumkin.

Tajribada olimlar litiy tuzlari bo‘lgan gazdan va molekulyar o‘yma uchun trimetilalyuminiy asosidagi gazdan foydalanganlar. Aşınma jarayonida lityum birikmasi alyukon plyonkasi yuzasi bilan shunday reaksiyaga kirishdiki, lityum sirtda to'planib, plyonkadagi kimyoviy bog'lanishni yo'q qildi. Keyin trimetilalyuminiy etkazib berildi, u plyonka qatlamini lityum bilan olib tashladi va shunga o'xshash plyonka kerakli qalinlikka tushirilguncha birma-bir. Jarayonning yaxshi boshqarilishi, olimlarning fikriga ko'ra, taklif qilinayotgan texnologiya yarimo'tkazgich ishlab chiqarishni rivojlantirishga imkon beradi.

Manba: 3dnews.ru