Samsung là công ty đầu tiên sử dụng máy quét EUV để sản xuất chất bán dẫn, điều này xảy ra vào mùa thu năm 2018. Nhưng việc sử dụng rộng rãi các quy trình công nghệ dựa trên phép chiếu EUV hiện chỉ mới diễn ra. Đặc biệt, Samsung cơ sở đầu tiên trên thế giới có dây chuyền EUV theo kế hoạch ban đầu.
Gần đây, Samsung Electronics đã bắt đầu sản xuất hàng loạt chất bán dẫn tại nhà máy V1 ở Hwaseong, Hàn Quốc. Doanh nghiệp bắt đầu được xây dựng vào và bước vào giai đoạn sản xuất thử nghiệm cách đây vài tháng. Hiện dây chuyền nhà máy V1 đã bắt đầu sản xuất hàng loạt các sản phẩm 7nm và 6nm sử dụng tia cực tím siêu cứng (EUV). Khách hàng của công ty sẽ bắt đầu nhận được đơn đặt hàng từ nhà máy này trong vài tuần nữa.
Nhà máy V1 được đồn đại là đã lắp đặt ít nhất 10 máy quét EUV. Chỉ riêng giá của thiết bị công nghiệp này đã vượt quá 1 tỷ USD, chưa kể mọi thứ khác. Trước đó, một số đơn vị máy quét phạm vi EUV đã hoạt động tại nhà máy Samsung S3. Việc sản xuất V1 mới cùng với nhà máy S3 vào cuối năm nay sẽ cho phép công ty tăng gấp ba lần khối lượng sản xuất chip yêu cầu máy quét EUV để xử lý. Lưu ý đây sẽ là những sản phẩm có tiêu chuẩn 7 nm và tiêu chuẩn công nghệ thấp hơn. Trong tương lai, nhà máy V1 ở Hwaseong cũng sẽ có khả năng sản xuất các sản phẩm 3nm.
Cùng với dòng V1, Samsung hiện có tổng cộng sáu xưởng sản xuất chất bán dẫn. Năm trong số đó ở Hàn Quốc và một ở Mỹ. Bạn có thể thấy trong hình trên những chất nền nào và quy trình kỹ thuật nào mà dây chuyền của các doanh nghiệp này được cấu hình.
Nguồn: 3dnews.ru