Không thể tưởng tượng được sự phát triển hơn nữa của vi điện tử nếu không cải tiến công nghệ sản xuất chất bán dẫn. Để mở rộng ranh giới và học cách tạo ra các nguyên tố ngày càng nhỏ hơn trên tinh thể, cần có các công nghệ mới và công cụ mới. Một trong những công nghệ này có thể là sự phát triển mang tính đột phá của các nhà khoa học Mỹ.
Một nhóm các nhà nghiên cứu từ Phòng thí nghiệm quốc gia Argonne của Bộ Năng lượng Hoa Kỳ một kỹ thuật mới để tạo và khắc các màng mỏng trên bề mặt tinh thể. Điều này có khả năng dẫn đến việc sản xuất chip ở quy mô nhỏ hơn hiện nay và trong tương lai gần. Nghiên cứu được công bố trên tạp chí Hóa học Vật liệu.
Kỹ thuật được đề xuất giống với quy trình truyền thống và khắc, chỉ thay vì màng vô cơ, công nghệ mới tạo ra và hoạt động với màng hữu cơ. Trên thực tế, bằng cách tương tự, công nghệ mới được gọi là lắng đọng lớp phân tử (MLD, lắng đọng lớp phân tử) và khắc lớp phân tử (MLE, khắc lớp phân tử).
Giống như trong trường hợp khắc lớp nguyên tử, phương pháp MLE sử dụng xử lý khí trong buồng trên bề mặt tinh thể với các màng vật liệu hữu cơ. Tinh thể được xử lý luân phiên theo chu kỳ với hai loại khí khác nhau cho đến khi màng mỏng đến độ dày nhất định.
Các quá trình hóa học tuân theo quy luật tự điều chỉnh. Điều này có nghĩa là lớp này đến lớp khác được loại bỏ một cách đồng đều và có kiểm soát. Nếu sử dụng mặt nạ ảnh, bạn có thể tái tạo cấu trúc liên kết của chip tương lai trên chip và khắc thiết kế với độ chính xác cao nhất.
Trong thí nghiệm, các nhà khoa học đã sử dụng một loại khí chứa muối lithium và một loại khí làm từ trimethylaluminum để ăn mòn phân tử. Trong quá trình ăn mòn, hợp chất lithium phản ứng với bề mặt của màng alucone theo cách mà lithium lắng đọng trên bề mặt và phá hủy liên kết hóa học trong màng. Sau đó, trimethylaluminum được cung cấp để loại bỏ lớp màng bằng lithium, và cứ như vậy từng lớp một cho đến khi màng giảm đến độ dày mong muốn. Các nhà khoa học tin rằng khả năng kiểm soát tốt quy trình có thể cho phép công nghệ được đề xuất thúc đẩy sự phát triển của sản xuất chất bán dẫn.
Nguồn: 3dnews.ru