ืืื ืืืจ ืืืืกื, ืืื ืืึทืจืฅ ืคืื ืืขื ืืึธืจ, TSMC ืื ืืขืืืืื ืคึผืืืึธื ืคึผืจืึธืืืงืฆืืข ืคืื โโ5 ื ื ืคึผืจืึธืืืงืื. ืืึธืก ืืื ืืขืฉืขื ืืื ืื ื ืืึทืข Fab 18 ืคืึทืืจืืง ืืื ืืืืืืึทื, ืคึฟืึทืจ ืื ืืขืืืื ื ืคืื 5nm ืกืึทืืืฉืึทื ื. ืืึทืกืข ืคึผืจืึธืืืงืฆืืข ืืื ืื 5nm N5 ืคึผืจืึธืฆืขืก ืืื ืืขืจืืื ืืื ืื ืจืืข ืคืขืจืื ืคืื 2020. ืืื ืื ืกืืฃ ืคืื ืื ืืขืืืข ืืึธืจ, ืื ืคึผืจืึธืืืงืฆืืข ืคืื โโืืฉืืคึผืก ืืืืืจื ืืืืฃ ืื ืคึผืจืึธืืืงืืืื 5-ื ื ืคึผืจืึธืฆืขืก ืืขืื ืึธืืึธืืืข ืึธืืขืจ N5P (ืคืึธืจืฉืืขืืื ื) ืืืขื ืืืื ืืึธื ืืฉื. ืื ืึทืืืืืืึทืืืืึทืื ืคืื ืคึผืจืึธืืืึทืืืืคึผ ืืฉืืคึผืก ืึทืืึทืื TSMC ืฆื ืึธืคึผืฉืึทืฆื ืื ืงืืืคึผืึทืืืืึทืืื ืคืื ืฆืืงืื ืคึฟื ืกืขืืืงืึทื ืืึทืงืืขืจื ืืขืฉืืคื ืืืืืจื ืืืืฃ ืื ื ืืึทืข ืคึผืจืึธืฆืขืก ืืขืื ืึธืืึธืืืข, ืืืึธืก ืื ืคืืจืืข ืืืขื ืจืขืื ืืืขืื ืืื ืืขืืึทื ืืื ืืขืฆืขืืืขืจ. ืึธืืขืจ ืืืจ ืงืขื ื ืฉืืื ืขืคึผืขืก ืืขืคึฟืื ืขื ืคึฟืื ืึทืืกืืจืึทืงืฅ ืืขืจืืื ืื ืืืจื TSMC ืคึฟืึทืจ ืคึผืจืขืืขื ืืืจืื ื ืืื IEDM 2019.
ืืืืืขืจ ืืืจ ืืขืจืงืืขืจื ืื ืืขืืึทืืืก, ืืึธืืืจ ืืขืืขื ืงืขื ืืืึธืก ืืืจ ืืืืกื ืคืื ืื ืคืจืืขืจืืืงืข ืกืืืืืืึทื ืฅ ืคืื TSMC. ืงืึทืืคึผืขืจื ืฆื ืื 7 ื ื ืคึผืจืึธืฆืขืก, ืขืก ืืื ืงืืืืื ืึทื ืื ื ืขืฅ ืคืึธืจืฉืืขืืื ื ืคืื 5 ื ื ืืฉืืคึผืก ืืืขื ืคืึทืจืืจืขืกืขืจื ืืื 15% ืึธืืขืจ ืื ืงืึทื ืกืึทืืฉืึทื ืืืขื ืืืื ืจืืืืกื ืืื 30% ืืืื ืื ืคืึธืจืฉืืขืืื ื ืืืืืื ืื ืืขืืืข. ืืขืจ N5P ืคึผืจืึธืฆืขืก ืืืขื ืืืืื ื ืึธื 7% ืคึผืจืึธืืืึทืงืืืืืืื ืึธืืขืจ 15% ืกืืืืืื ืื ืืื ืงืึทื ืกืึทืืฉืึทื. ืื ืืขืืืืืงืืึทื ืคืื ืืึธืืืง ืขืืขืืขื ืื ืืืขื ืคืึทืจืืจืขืกืขืจื ืืื 1,8 ืืื. ืื SRAM ืฆืขื ืืืึธื ืืืขื ืืืืฉื ืืื ืึท ืคืึทืงืืึธืจ ืคืื 0,75.
ืืื ืืขืจ ืคึผืจืึธืืืงืฆืืข ืคืื โโโโ5 ื ื ืืฉืืคึผืก, ืื ืืืึธื ืคืื ื ืืฆื ืคืื EUV ืกืงืึทื ืขืจื ืืืขื ืืขืจืืจืืืื ืื ืืืจืื ืคืื ืืขืจืืืึทืงืกื ืคึผืจืึธืืืงืฆืืข. ืื ืกืืจืืงืืืจ ืคืื ืื ืืจืึทื ืืืกืืึธืจ ืงืึทื ืึทื ืืืขื ืืืื ืืขืืืื, ืขืคืฉืขืจ ืืืจื ื ืืฆื ืืขืจืืึทื ืืื ืฆืืืึทืืขื ืืื ืึธืืขืจ ืึทื ืฉืืึธื ืคืื ืกืืืืฆืืื. ืืึธืก ืืืขื ืขื ืฉืืจ ืืขืืืืงืกื ืืึธืืืืืื ืคืื ืขืืขืงืืจืึธื ืก ืืื ืืขื ืงืึทื ืึทื ืืื ืึท ืคืึทืจืืจืขืกืขืจื ืืื ืงืขืจืึทื ืฅ. ืืขืจ ืคึผืจืึธืฆืขืก ืืขืื ืึธืืึธืืืข ืืื ืขืืืขืืข ืงืึธื ืืจืึธื ืืืึธืืืืืืืฉ ืืขืืืขืืก, ืื ืืขืืกืื ืคืื ืืืึธืก ืืืขื ืฆืืฉืืขืื ืึท 25% ืคืึธืจืฉืืขืืื ื ืคืึทืจืืจืขืกืขืจื ืงืึทืืคึผืขืจื ืฆื ืื ืืขืืืข ืืื ืื 7 ื ื ืคึผืจืึธืฆืขืก ืืขืื ืึธืืึธืืืข. ืื ืืจืึทื ืกืืกืืึธืจ ืืึทืื ืฆืืฉืืขืื ืคึฟืึทืจ ืื ื / ืึธ ืื ืืขืจืคืืืกืื ืืืขื ืงืืื ืคืื 1,5 ืื ืฆื 1,2 ืื.
ืืื ืืขืจ ืคึผืจืึธืืืงืฆืืข ืคืื โโืืืจื ืืึธืืขืก ืคึฟืึทืจ ืืขืืึทืืืืืืฉืึทื ืืื ืคึฟืึทืจ ืงืึธื ืืึทืงืื, ืืึทืืขืจืืึทืืก ืืื ืืคืืื ื ืืืขืจืืงืขืจ ืงืขืื ืฉืืขื ืืืขื ืืืื ืืขื ืืฆื. ืื ืืื ืืขืจ-ืืืื-ืืขืืืืืงืืึทื ืงืึทืคึผืึทืกืึทืืขืจื ืืืขื ืืืื ืืึทื ืืึทืคืึทืงืืฉืขืจื ื ืืฆื ืึท ืืขืืึทื-ืืืขืืขืงืืจืืง-ืืขืืึทื ืงืจืืึทื, ืืืึธืก ืืืขื ืคืึทืจืืจืขืกืขืจื ืคึผืจืึธืืืึทืงืืืืืึทืื ืืื 4%. ืืื ืึทืืืขืืืื, TSMC ืืืขื ืืึทืฉืืืืขื ืฆื ื ืืฆื ื ืืึท ื ืืืขืจืืง-K ืื ืกืึทืืืืืขืจื. ื ื ืืึทืข "ืืจืืงื" ืคึผืจืึธืฆืขืก, Metal Reactive Ion Etching (RIE), ืืืขื ืืขืจืฉืืึทื ืขื ืืื ืื ืกืืืืฆืืื ืืืืืคืขืจ ืคึผืจืึทืกืขืกืื ื ืงืจืืึทื, ืืืึธืก ืืืขื ืืืื ืคืึทืจืืืึทืื ืืขื ืืจืืืืฆืืื ืขืื ืืืฉืง ืคึผืจืึธืฆืขืก ื ืืฆื ืงืืคึผืขืจ (ืคึฟืึทืจ ืืขืืึทื ืงืึธื ืืึทืงืื ืงืืขื ืขืจืขืจ ืืื 30 ื ื). ืืืื ืฆืื ืขืจืฉืื ืืื ืืืขื ืืขื ืืขื ืืฆื ืืืขืจื ื ืฉืืื ืืจืืคืขื ืข ืฆื ืฉืืคื ื ืฉืืขืคืขืจ ืฆืืืืฉื ืื ืงืืคืขืจื ืข ืงืื ืืืงืืืจื ืืื ืืขื ืืืื ืงืื ืืืงืืืจ (ืฆื ืคืืจืืืืื ืขืืขืงืืจืืืืืจืืฆืืข).
ืคึฟืื ืื ืืึธืงืืืขื ืื ืคึฟืึทืจ ืื ืืขืฆืขืืืขืจ ืืึทืจืืื ืืื IEDM, ืืืจ ืงืขื ืขื ืืขืคึฟืื ืขื ืึทื ืึท ื ืืืขืจ ืคืื ืคึผืึทืจืึทืืขืืขืจืก ืคืื 5 ื ื ืืฉืืคึผืก ืืืขื ืืืื ืืคืืื ืืขืกืขืจ. ืืืื, ืื ืืขืืืืืงืืึทื ืคืื ืืึธืืืง ืขืืขืืขื ืื ืืืขื ืืืื ืืขืืขืจ ืืื ืืขืจืืจืืืื 1,84 ืืื. ืื SRAM ืฆืขื ืืืขื ืืืื ืืืื ืงืืขื ืขืจืขืจ ืืื ืึท ืฉืื ืคืื 0,021 ฮผm2. ืึทืืฅ ืืื ืืื ืกืืจ ืืื ืื ืคืึธืจืฉืืขืืื ื ืคืื ืื ืืงืกืคึผืขืจืืขื ืึทื ืกืืืืฆืืื - ืึท 15% ืคืึทืจืืจืขืกืขืจื ืืื ืืืงืืืขื, ืืื ืืขืืื ื ืืื ืึท ืืขืืืขื 30% ืจืขืืืงืฆืืข ืืื ืงืึทื ืกืึทืืฉืึทื ืืื ืืขื ืคืึทื ืคืื ืืึทื ืงืึทืื ืคืื ืืืื ืคืจืืงืืืึทื ืกืื.
ืื ื ืืึทืข ืคึผืจืึธืฆืขืก ืืขืื ืึธืืึธืืืข ืืืขื ืืึทืื ืขืก ืืขืืืขื ืฆื ืงืืืึทืื ืคืื ืืืื ืงืึธื ืืจืึธื ืืืึธืืืืืืืฉ ืืืึทืืืขืก, ืืืึธืก ืืืขื ืืืืื ืคืึทืจืฉืืืื ืงืืึทื ืฆื ืื ืึทื ืืืืืงืืื ื ืคึผืจืึธืฆืขืก ืืื ืคึผืจืึธืืืงืื, ืืื ืื ื ืืฆื ืคืื EUV ืกืงืึทื ืขืจื ืืืขื ืืืฉืืืื ืคืึทืจืคึผืึธืฉืขืืขืจื ืคึผืจืึธืืืงืฆืืข ืืื ืืึทืื ืขืก ืืฉืืคึผืขืจ. ืืืื TSMC, ืกืืืืืฉืื ื ืฆื EUV ืกืงืึทื ืขืจื ืืื ืึท 0,73x ืคึฟืึทืจืืขืกืขืจืื ื ืืื ืืื ืขืึทืจ ืืึทืืืึธืืข ืงืึทืืคึผืขืจื ืืื ืื 7nm ืคึผืจืึธืฆืขืก. ืคึฟืึทืจ ืืืึทืฉืคึผืื, ืฆื ืคึผืจืึธืืืฆืืจื ืื ืืขืจืกื ืงืจืืืืฉ ืืขืืึทืืืืึทืืืึธื ืืืึทืขืจืก ืคืื ืื ืขืจืฉืืขืจ ืืืึทืขืจืก, ืึทื ืฉืืึธื ืคืื ืคืื ืฃ ืงืึทื ืืืขื ืฉืึทื ืึทื ืืึทืกืงืก, ืืืืื ืืืื EUV ืืึทืกืงืข ืืืขื ืืืื ืคืืจืืื ืื ืืื, ืึทืงืึธืจืืื ืืื, ืืืืื ืืืื ืคึผืจืึธืืืงืฆืืข ืฆืืงื ืึทื ืฉืืึธื ืคืื ืคืื ืฃ. ืืืจื ืืขื ืืืขื, ืืึทืฆืึธืื ืืคืืขืจืงืืึทืืงืืื ืฆื ืืื ืฆืืืืืง ืื ืขืืขืืขื ืื ืืืืฃ ืื ืฉืคึผืึธื ืืขื ืขื ืืืขื ืืืจ ื ืืฆื EUV ืคึผืจืืืขืงืฆืืข. ืฉืืื ืงืืื, ืืื ืึทื ืก ืึทืืข.
ืืงืืจ: 3dnews.ru