ืืืื ืืขืจ IEEE ืกืคึผืขืงืืจืื ืืืขืืืืืื, ืคืื ืกืืฃ ืคืขืืจืืืจ ืืื ืึธื ืืืื ืืขืจืฅ, ืืื ืืืฉืืคื ืืขืืืืจื ืึท ืืึทืืึธืจืึทืืึธืจืืข ืืื ืื ืืขืืืืึทื ืืืขืง ืฆืขื ืืขืจ ืฆืืืึทืืขื ืืื ืื ืืืขืจืืงืื ืขืจ ืคืืจืืข KMLabs ืฆื ืืขืจื ืขื ืคึผืจืึธืืืขืืก ืืื ืกืขืืืงืึธื ืืืงืืึธืจ ืคืึธืืึธืืืืึธืืจืึทืคื ืืื ืืขืจ ืืขืจ ืืฉืคึผืขื ืคืื EUV ืจืึทืืืึทืฆืืข (ืืื ืื ืืื ืืขืจ- ืฉืืืขืจ ืึทืืืจืึทืืืืืึทืืื ืงืืื). ืขืก ืืืึธืื ืืืกืงืืืขื, ืืืึธืก ืืื ืืึธืจื ืฆื ืืขืจื ืขื ืืึธ? ื ืืื, ืขืก ืืื ืึท ืืขืืข ืฆื ืืขืจื ืขื, ืึธืืขืจ ืืืึธืก ืคืึทืจืืืืื ืึท ื ืืึทืข ืืึทืืึธืจืึทืืึธืจืืข ืคึฟืึทืจ ืืขื? ืกืึทืืกืื ื ืื ืืขืืืืื ืฆื ืคึผืจืึธืืืฆืืจื 7 ื ื ืืฉืืคึผืก ืืื ืืืื ื ืืฆื ืคืื EUV ืกืงืึทื ืขืจื ืืื ืืขืงืก ืืืฉืื ืฆืืจืืง. TSMC ืืืขื ืืึทืื ืคืึทืจืืื ืื ืขืก ืืื ืืขื ืื. ืืื ืื ืกืืฃ ืคืื ืื ืืึธืจ, ืืืืืข ืคืื โโืืื ืืืขืื ืึธื ืืืืื ืจืืืืงืึทืืืฉ ืคึผืจืึธืืืงืฆืืข ืืื ืกืืึทื ืืึทืจืืก ืคืื 5 ื ื ืืื ืึทืืื ืืืืฃ. ืืื ื ืึธื ืขืก ืืขื ืขื ืคึผืจืึธืืืขืืก, ืืื ืืื ืืขื ืขื ืขืจื ืกื ืืขื ืื ืึทื ืขื ืืคึฟืขืจืก ืฆื ืฉืืืืช ืืึธื ืืืื ืืขืืืื ืืื ืืึทืืึธืจืึทืืึธืจืืขืก, ืืื ื ืืฉื ืืื ืคึผืจืึธืืืงืฆืืข.
ืืขืจ ืืืืคึผื ืคึผืจืึธืืืขื ืืื EUV ืืืืืึธืืจืึทืคื ืืืึทื ื ืืืืืื ืื ืงืืืึทืืืืขื ืคืื ืื ืคืึธืืึธืจืขืกืืกื. ืืขืจ ืืงืืจ ืคืื EUV ืจืึทืืืึทืฆืืข ืืื ืคึผืืึทืืืข, ื ืื ืืึทืืขืจ, ืืื ืืื ืืขืจ ืคืึทื ืืื ืขืืืขืจืข 193 ื ื ืกืงืึทื ืขืจื. ืืขืจ ืืึทืืขืจ ืืืืึทืคึผืขืจืืืฅ ืึท ืงืึทืคึผ ืคืื ืืืืึท ืืื ืึท ืืึทืืึทืก ืกืืืืืืข ืืื ืื ืจืืืึทืืืื ื ืจืึทืืืึทืฆืืข ืขืืืฉืึทื ืคืึธืืืึทื ื, ืื ืขื ืขืจืืืข ืคืื โโืืืึธืก ืืื 14 ืืื ืืขืืขืจ ืืื ืื ืขื ืขืจืืืข ืคืื โโืคืึธืืึธื ืก ืืื ืกืงืึทื ืขืจื ืืื ืึทืืืจืึทืืืืืึทืืื ืจืึทืืืึทืฆืืข. ืืื ืึท ืจืขืืืืืึทื, ืื ืคืึธืืึธืจืขืกืืกื ืืื ื ืื ืืืืื ืืจืืึฟ ืืื ืื ืขืจืืขืจ ืืื ืขืก ืืื ืืึธืืืึทืจืืขื ืืืจื ืคืึธืืึธื ืก, ืึธืืขืจ ืืืื ืืจืึทืค - ืขืจืจืึธืจืก ืคืึทืื, ืึทืจืืึทื ืืขืจืขืื ื ืจืขืื ืฆื ืืขืจ ืึทืืื ืืขืจืืคืขื ืข ืคืจืึทืงืฉืึทื ืึทื ืจืึทืฉ ืืืืจืงืื ื. ืื ืขื ืขืจืืืข ืคืื โโืคืึธืืืึทื ื ืืื ืฆื ืืืื. ืืงืกืคึผืขืจืึทืืึทื ืฅ ืืื EUV ืกืงืึทื ืขืจื ืืืืึทืื ืึทื ืคืึธืืึธืจืขืกืืกืฅ, ืืืึธืก ืืขื ืขื ื ืึธื ืืืืืขืืืืืง ืคืื ืืจืืขืื ืืื 7 ื ื ืกืืึทื ืืึทืจืืก, ืืื ืื ืคืึทื ืคืื ืืึทื ืืคืึทืงืืืจืื ื 5 ื ื ืกืขืจืงืึทืฅ ืืึทืืืืึทืื ืึท ืงืจืืืืงืึทืื ืืืื ืืืจืื ืคืื ืืกืจืื ืืช. ืื ืคึผืจืึธืืืขื ืืื ืึทืืื ืขืจื ืกื ืึทื ืคืืืข ืขืงืกืคึผืขืจืฅ ืืึธื ื ืื ืืืืืื ืืื ืืขืจ ืืื ืืขืจืึธืื ืงืึทืืขืจ ืคืื ืื 5 ื ื ืคึผืจืึธืฆืขืก ืืขืื ืึธืืึธืืืข, ื ืื ืฆื ืืขืจืืึธื ืขื ืื ืืืขืจืืึทื ื ืฆื 3 ื ื ืืื ืืืืืืขืจ.
ืื ืคึผืจืึธืืืขื ืคืื ืฉืึทืคึฟื ืึท ื ืืึทืข ืืืจ ืคืื ืคืึธืืึธืจืขืกืืกื ืืืขื ืืืื ืกืึทืืืื ืืื ืื ืฉืืึธืก ืืึทืืึธืจืึทืืึธืจืืข ืคืื โโImec ืืื KMLabs. ืืื ืืื ืืืขืื ืขืก ืืืืื ืคึฟืื ืืขื ืฉืืึทื ืืคึผืื ืงื ืคึฟืื ืึท ืืืืกื ืฉืึทืคึฟืืืขืื ืฆืืืึทื ื, ืืื ื ืืฉื ืคึฟืื ืืืืกืงืืืืื ืจืขืึทืืขื ืฅ, ืืื ืืขื ืืึธื ืืขืืึธื ืืื ืื ืืขืฆืืข ืืจืืืกืืง ืืึธืจ. ืฆื ืืึธื ืืึธืก, ืื ืืืืกื ืฉืืคืืืขืืข ืคึผืึทืจืื ืขืจืก ืืืขื ืืึทืื ืึท ืืขืฆืืึทื ืคึฟืึทืจ ืึท ืืืืืืื ืืขืจื ืขื ืคืื ืื ืืฉืืืืช ืืื ืืขืืืฉ ืคึผืจืึทืกืขืกืึทื ืืื ืคืึธืืึธืจืขืกืืกื. ืืืคึผืืงืึทืืื, ืกืื ืืฉืจืึธืืึธื ืก ืืขื ืขื ืืขื ืืฆื ืฆื ืืขืจื ืขื ืคึผืจืึทืกืขืกืึทื ืืืืฃ ืืึธืืขืงืืืึทืจ ืืืจืื, ืึธืืขืจ Imec ืืื KMLabs ืคึผืืึทื ืืจื ืฆื ืฉืึทืคึฟื EUV ืคึผืจืืืขืงืฆืืข ืืื ืืขืืฉืขืจืืึทื ื ืืืกืจืืื ืืืืืจื ืืืืฃ ืื ืคืจืขืจืขื ืืืืืขืจื. KMLabs ืืื ืึท ืืืืืข ืืื ืืึทืืขืจ ืกืืกืืขืืขื.
ืืืืืจื ืืืืฃ ืื KMLabs ืืึทืืขืจ ืืึทื ืืึธื ืืืจืื ื, ืึท ืคึผืืึทืืคืึธืจืืข ืคึฟืึทืจ ืืืฉืขื ืขืจืืืืื ื ืืืื ืกืืจ ืืึทืจืืึธื ืืงืก ืืืขื ืืืื ืืืฉืืคื. ืืืคึผืืงืึทืืื, ืคึฟืึทืจ ืืขื ืฆืืืขืง, ืึท ืืืื-ืื ืืขื ืกืืื ืืึทืืขืจ ืืืืคืขืง ืืื ืืืจืขืงืืขื ืืื ืึท ืืึทืกืึทืก ืืืื ืืื ืืืึธืก ืืืืขืจ ืืืื ืึธืคืืงืืึทื ืืึทืจืืึธื ืืงืก ืคืื ืื ืืืจืขืงืืขื ืืืืคืขืง ืืืืคืฉืืืื. ืืื ืึทืืึท ืึท ืงืึทื ืืืขืจืืฉืึทื, ืึท ืืึทืืืืืืง ืึธื ืืืขืจ ืคืื ืืึทืื ืึทืงืขืจื, ืึทืืื ืึท ืขื ืืขื ืคึผืจืื ืฆืืคึผ ืคืื ืืืฉืขื ืขืจืืืืื ื EUV ืจืึทืืืึทืฆืืข ืงืขื ืขื ื ืื ืืืื ืืขืืืืื ื ืืืืึทื ืคึฟืึทืจ ืกืขืืืงืึทื ืืึทืงืืขืจ ืืืืืึธืืจืึทืคื. ืืืขืจ ืืึธืก ืืื ืืขื ืื ืคึฟืึทืจ ืืงืกืคึผืขืจืึทืืึทื ืฅ. ืจืืึฟ ืืืคึผืึธืจืืึทื ืืื, ืื ืจืืืึทืืืื ื ืจืึทืืืึทืฆืืข ืงืขื ืขื ืืืื ืงืึทื ืืจืึธืืื ืืืืืข ืืืจื ืืืืคืขืง ืืขืืืืขืจ ืจืืื ืืืฉืื ื ืคืื ืคึผืืงืึธืกืขืงืึทื ืื (10-12) ืฆื ืึทืืืึธืกืขืงืึธื ืืก (10-18), ืืื ืืืจื ืืืืืืืืขื ืื ืคืื 6,5 ื ื ืฆื 47 ื ื. ืืืก ืืขื ืขื ืืืขืจืืคืื ืงืืืึทืืึทืืื ืคึฟืึทืจ ืึท ืืขืกืื ืงืืืืข. ืืื ืืืขืื ืืขืืคึฟื ืืขืจื ืขื ืื ืคึผืจืึทืกืขืกืึทื ืคืื ืืื ืืขืจ-ืฉื ืขื ืืึธืืขืงืืืึทืจ ืขื ืืขืจืื ืืขื ืืื ืคืึธืืึธืจืขืกืืกื, ืืืึทื ืึทืืืืฉืึทื ืคึผืจืึทืกืขืกืึทื ืืื ืืืกืฉืืขืื ืฆื ืืืื-ืขื ืขืจืืืข ืคืึธืืึธื ืก. ืึธื ืืขื, ืื ืืึทืกืืจืืึทื ืคืึธืืึธืืืืืึธืืจืึทืคื ืืื ืกืืึทื ืืึทืจืืก ืืืืื ืืงืขืจ ืืื 3 ืืื ืืคืืื 5 ื ื ืืืืืื ืืื ืงืฉืื.
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