ืืื ืืืจ ืืืืกื, ืื ืืืขืจืืึทื ื ืฆื ืึท 3 ื ื ืคึผืจืึธืฆืขืก ืืขืื ืึธืืึธืืืข ืืืขื ืืืื ืืืืืืื ืืืจื ืึท ืืืขืจืืึทื ื ืฆื ืึท ื ืืึท ืืจืึทื ืืืกืืึธืจ ืึทืจืงืึทืืขืงืืฉืขืจ. ืืื ืกืึทืืกืื ื ืืขืจืืื ืขื, ืคึฟืึทืจ ืืืึทืฉืคึผืื, ืืึธืก ืืืขื ืืืื MBCFET (Multi Bridge Channel FET) ืืจืึทื ืืืกืืขืจื, ืืื ืืืึธืก ืื ืืจืึทื ืืืกืืึธืจ ืงืึทื ืึทื ืืืขื ืงืืงื ืืื ืขืืืขืืข ืืฉืึทื ืึทืื ืืืื ืืืืื ืืขืืขืจ ืื ืืขืจืขืจ ืืื ืื ืคืึธืจืขื ืคืื ื ืึทื ืึธืคึผืึทืืขืก, ืกืขืจืึทืื ืืึทื ืืืืฃ ืึทืืข ืืืืื ืืืจื ืึท ืืืืขืจ (ืคึฟืึทืจ ืืขืจ ืืขืืึทืืืก) , ืืขื ).
ืืืื ืืขืืืขืืึธืคึผืขืจืก ืคืื ืื ืืขืืืืึทื ืฆืขื ืืขืจ Imec, ืืึธืก ืืื ืึท ืคึผืจืึธืืจืขืกืืื, ืึธืืขืจ ื ืืฉื ืืืขืึทื, ืืจืึทื ืืืกืืึธืจ ืกืืจืืงืืืจ ืืื ืืืขืจืืืงืึทื FinFET ืืืืขืจื. ืืืขืึทื ืคึฟืึทืจ ืืขืงื ืึทืืึทืืืฉืืงืึทื ืคึผืจืึทืกืขืกืึทื ืืื ืขืืขืืขื ื ืืืึธื ืืืืื ืืงืขืจ ืืื 3 ื ื , ืฐื ื ืื ื ืคืืจืืขืฉืืืืข ื ืืขืฐืืจ ื ืืืจ ื ื ื ืืขืืืืขืจ .
Imec ืืื ืืขืืืขืืึธืคึผืขื ืึท ืืจืึทื ืืืกืืึธืจ ืืื ืฉืคึผืึทืืื ืืืขืืขืจ ืึธืืขืจ ืคืึธืจืงืฉืขืขื. ืืึธืก ืืขื ืขื ืื ืืขืืืข ืืืขืจืืืงืึทื ื ืึทื ืึธืคึผืึทืืขืก ืืื ืืจืึทื ืืืกืืึธืจ ืืฉืึทื ืึทืื, ืึธืืขืจ ืืคืืขืฉืืืื ืืืจื ืึท ืืืขืจืืืงืึทื ืืืขืืขืงืืจืืง. ืืืืฃ ืืืื ืืืื ืคืื ืืืขืืขืงืืจืืง, ืืื ืืืฉืืคื ืึท ืืจืึทื ืืืกืืึธืจ ืืื ืึท n-ืงืึทื ืึทื, ืืืืฃ ืืขืจ ืื ืืขืจืขืจ, โโืืื ืึท ืคึผ-ืงืึทื ืึทื. ืืื ืืืืืข ืคืื โโืืื ืืขื ืขื ืกืขืจืึทืื ืืึทื ืืืจื ืึท ืคึผืจืึธืกื ืืึธืื ืืื ืื ืคืึธืจืขื ืคืื ืึท ืืืขืจืืืงืึทื ืจืืคึผ.
ืจืืืืกืื ื ืื ืืืืฃ-ืฉืคึผืึธื ืืืกืืึทื ืกืข ืฆืืืืฉื ืืจืึทื ืืืกืืขืจื ืืื ืคืึทืจืฉืืืขื ืข ืงืึทื ืืึทืงืืืืืึทืืื ืืื ืื ืื ืืขืจ ืืืืคึผื ืึทืจืืืกืจืืคื ืคึฟืึทืจ ืืืืึทืืขืจ ืคึผืจืึธืฆืขืก ืืึทืื ืกืงืืืืื ื. TCAD ืกืืืืึทืืืืฉืึทื ื ืืืฉืืขืืืงื ืึทื ืื ืฉืคึผืึทืืื ืืืึทื ืืจืึทื ืืืกืืึธืจ ืืืึธืื ืฆืืฉืืขืื ืึท 20 ืคึผืจืึธืฆืขื ื ืจืขืืืงืฆืืข ืืื ืื ืฉืื. ืืื ืึทืืืขืืืื, ืื ื ืืึท ืืจืึทื ืืืกืืึธืจ ืึทืจืงืึทืืขืงืืฉืขืจ ืืืขื ืจืขืืืฆืืจื ืื ื ืึธืจืืึทื ืืึธืืืง ืฆืขื ืืืื ืฆื 4,3 ืืจืึทืงืก. ืืขืจ ืฆืขื ืืืขื ืืืขืจื ืกืืืคึผืืขืจ, ืืืึธืก ืืืื ืึทืคึผืืืื ืฆื ืื ืืึทื ืืคืึทืงืืืจืื ื ืคืื ืื SRAM ืืึผืจืื ืฆืขื.
ื ืคึผืฉืื ืืืขืจืืึทื ื ืคืื ืึท ื ืึทื ืึธืคึผืึทืืข ืืจืึทื ืืืกืืึธืจ ืฆื ืึท ืฉืคึผืึทืืื ื ืึทื ืึธืคึผืึทืืข ืืจืึทื ืืืกืืึธืจ ืืืขื ืฆืืฉืืขืื ืึท 10% ืคืึทืจืืจืขืกืขืจื ืืื ืคืึธืจืฉืืขืืื ื ืืฉืขืช ืืืจ ืืึทืืื ืงืึทื ืกืึทืืฉืึทื, ืึธืืขืจ ืึท 24% ืจืขืืืงืฆืืข ืืื ืงืึทื ืกืึทืืฉืึทื ืึธื ืืืื ืื ื ืคืึธืจืฉืืขืืื ื. ืกืืืืืึทืืืึธื ืก ืคึฟืึทืจ ืื 2nm ืคึผืจืึธืฆืขืก ืืขืืืืื ืึทื ืึท SRAM ืฆืขื ื ืืฆื ืืคืืขืฉืืืื ื ืึทื ืึธืคึผืึทืืขืก ืืืึธืื ืฆืืฉืืขืื ืึท ืงืึทืืืืื ื ืฉืื ืจืขืืืงืฆืืข ืืื ืคืึธืจืฉืืขืืื ื ืคึฟืึทืจืืขืกืขืจืื ื ืคืื ืึทืจืืืฃ ืฆื 30% ืืื ืคึผ- ืืื n-ืงื ืืคึผ ืกืคึผืืืกืื ื ืึทืจืืืฃ ืฆื 8 ื ื.
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