ืื ืืืึธื, Raja Koduri, ืืืึธืก ืึธืืืืขืจืกืื ืืคึผื ืคึผืจืึธืืืงืฆืืข ืืื ืื ืืขื, ืืืืืื ืื ืกืึทืืกืื ื ืคืึทืืจืืง ืืื ืืจืื ืงืืจืขืข. ืืขืืขืื ืื ืืขืฆืืข ืกืึทืืกืื ื ืืืืืข ืื ืึธื ืืืื ืคืื ืคึผืจืึธืืืงืฆืืข ืคืื โโ5nm ืืฉืืคึผืก ื ืืฆื EUV, ืขืืืขืืข ืึทื ืึทืืืก ืืขืืืืืื ืึทื ืืขืจ ืืืืืื ืงืขื ื ืืฉื ืืืื ืึท ืฆืืคืึทื. ืขืงืกืคึผืขืจืฅ ืคึฟืึธืจืฉืืึธืื ืึทื ืื ืงืึธืืคึผืึทื ืืขืก ืงืขื ืึทืจืืึทื ืึท ืงืึธื ืืจืึทืงื ืืื ืืขืจ ืืืึธืก ืกืึทืืกืื ื ืืืขื ืคึผืจืึธืืืฆืืจื ืืคึผืืก ืคึฟืึทืจ ืฆืืงืื ืคึฟื Xe ืืืกืงืจืขืืข ืืืืืขื ืงืึทืจืืก.
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