ืกืึทืืกืื ื ืืื ืึท ืคืื ืืืึทืืข ืคืื โโืืืื ืคึผืืืึทื ืืจืื ื ืืืึทืืข ืืื ืกืขืืืงืึทื ืืึทืงืืขืจ ืืืืืึธืืจืึทืคื ื ืืฆื EUV ืกืงืึทื ืขืจื. ืืืขื TSMC ืคึผืจืืคึผืขืจื ืฆื ืึธื ืืืืื ื ืืฆื 13,5 nm ืกืงืึทื ืขืจื ืืื ืืื ื, ืึทืืึทืคึผืืื ื ืืื ืฆื ืคึผืจืึธืืืฆืืจื ืืฉืืคึผืก ืืื ืื ืจืืข ืืืจ ืคืื ืื 7 nm ืคึผืจืึธืฆืขืก, ืกืึทืืกืื ื ืืืืืืื ื ืืืคึผืขืจ ืืื ืืืืฃ ืื ืงืึทืืคึผืืืฉืึทื ืคืื ืื ืึทื ืืืืืงืืื ื ืคืื ืึท ืืขืื ืืฉ ืคึผืจืึธืฆืขืก ืืื 5 ื ื ืคึผืืึทื ืกืืึทื ืืึทืจืืก. ืืขืจืฆื, ืื ืืจืื ืงืึธืจืขืึดืฉ ืจืื ืึทื ืึทืื ืกื ืื ืึธื ืืืื ืคืื ืึทืงืกืขืคึผืืื ื ืึธืจืืขืจืก ืคึฟืึทืจ ืื ืคึผืจืึธืืืงืฆืืข ืคืื โโ5-ื ื ืกืึทืืืฉืึทื ื ืคึฟืึทืจ ืคึผืจืึธืืืงืฆืืข ืืืืฃ ืืึทืืื-ืคึผืืึทื ืืืืืคืขืจื. ืืขื ืืืื ืึทื ืกืึทืืกืื ื ืืื ืืจืืื ืฆื ืึธื ื ืขืืขื ืืืืืืึทื ืฉืคึผืึธื ืืืืืื ื ืืื 5 ื ื ืกืืึทื ืืึทืจืืก ืืื ืคึผืจืึธืืืฆืืจื ืคึผืืืึธื ืืึทืืฉืึทื ืคืื ืืจืืขืื 5 nm ืกืืืืฆืืื.
ืืขืืคึผืื ื ืื ืคืืจืืข ืืขืฉืืืื ื ืืึทื ืคืื ืคืึธืจืฉืืึธืื 7 ื ื ืืื EUV ืฆื ืคึผืจืึธืืืฆืืจื 5 ื ื ืกืึทืืืฉืึทื ื ืืื EUV ืืื ืืขืืืขื ืืขืจ ืคืึทืงื ืึทื ืกืึทืืกืื ื ืืืื ืืืื ื ืื ืืขืจืึธืคึผืขืจืึทืืืืืื ืฆืืืืฉื ืคึผืืึทื ืขืืขืืขื ืื (IP), ืคึผืืึทื ืืื ืืืจืืงืืง ืืืฉืืจืื. ืฆืืืืฉื ืื ืืขืจืข ืืืื, ืืึธืก ืืืื ืึทื ืื ืคืืจืืข 'ืก ืงืืืืึทื ืฅ ืืืขื ืฉืคึผืึธืจื ืืขืื ืืืืฃ ืคึผืขืจืืฉืึทืกืื ื ืคึผืืึทื ืืืฉืืจืื, ืืขืกืืื ื ืืื ืคืึทืจืืืง IP ืืืึทืงืก. PDKs ืคึฟืึทืจ ืคึผืืึทื, ืืขืืึทืืึทืืึทืืืฉื (DM, ืคึผืืึทื ืืขืืึทืืึทืืึทืืืฉืื) ืืื EDA ืึธืืึทืืืืืื ืคึผืืึทื ืคึผืืึทืืคืึธืจืืก ืืขืืืืจื ืื ืืืฆื ืืื ืึท ืืืื ืคืื ืืขืจ ืึทื ืืืืืงืืื ื ืคืื ืืฉืืคึผืก ืคึฟืึทืจ ืกืึทืืกืื ื ืก 7-ื ื ืกืืึทื ืืึทืจืืก ืืื EUV ืืื ืื ืคืขืจื ืคืขืจืื ืคืื ืืขืฆืืข ืืึธืจ. ืึทืืข ืื ืืืฉืืจืื ืืืขื ืขื ืฉืืจ ืื ืึทื ืืืืืงืืื ื ืคืื ืืืืืืึทื ืคึผืจืึทืืืฉืขืงืก ืืืื ืคึฟืึทืจ ืื 5 ื ื ืคึผืจืึธืฆืขืก ืืขืื ืึธืืึธืืืข ืืื FinFET ืืจืึทื ืืืกืืขืจื.
ืงืึทืืคึผืขืจื ืฆื ืื 7nm ืคึผืจืึธืฆืขืก ื ืืฆื EUV ืกืงืึทื ืขืจื, ืืืึธืก ืื ืคืืจืืข ืืขืฆืืข ืืึธืจ, ืื 5 ื ื ืคึผืจืึธืฆืขืก ืืขืื ืึธืืึธืืืข ืืืขื ืฆืืฉืืขืื ืึท 25% ืคืึทืจืืจืขืกืขืจื ืืื ืื ืขืคืขืงืืืืืงืืึทื ืคืื ืฉืคึผืึธื ืืขืื ื ื ืืฆื (ืกืึทืืกืื ื ืึทืืืืืื ืืืจืขืงื ืกืืืืืืึทื ืฅ ืืืขืื ืจืืืืกืื ื ืื ืฉืคึผืึธื ืฉืื ืืจืืืก ืืื 25%, ืืืึธืก ืืึธืื ืขืก ืคึผืืึทืฅ ืฆื ืืึทื ืืืืขืจ ืื ื ืืืขืจื). ืืืื, ืื ืืืขืจืืึทื ื ืฆื ืึท 5-ื ื ืคึผืจืึธืฆืขืก ืืืขื ืจืขืืืฆืืจื ืื ืฉืคึผืึธื ืงืึทื ืกืึทืืฉืึทื ืืื 20% ืึธืืขืจ ืคืึทืจืืจืขืกืขืจื ืื ืคืึธืจืฉืืขืืื ื ืคืื ืกืึทืืืฉืึทื ื ืืื 10%. ืื ืื ืืขืจ ืืึธื ืืก ืืื ืื ืจืขืืืงืฆืืข ืืื ืื ื ืืืขืจ ืคืื ืคืึธืืึธืืึทืกืงืก ืืืึธืก ืืขื ืขื ืืืจืฃ ืคึฟืึทืจ ืกืขืืืงืึทื ืืึทืงืืขืจ ืคึผืจืึธืืืงืฆืืข.
ืกืึทืืกืื ื ืืจืืื ืคึผืจืึธืืืงืื ื ืืฆื EUV ืกืงืึทื ืขืจื ืืื ืื S3 ืคืึทืืจืืง ืืื Hwaseong. ืืื ืืขืจ ืฆืืืืืืขืจ ืืขืืคื ืคืื ืืขื ืืึธืจ, ืื ืคืืจืืข ืืืขื ืคืึทืจืขื ืืืงื ืงืึทื ืกืืจืึทืงืฉืึทื ืคืื ืึท ื ืืึทืข ืืขืืืจืขืก ืืขืื Fab S3, ืืืึธืก ืืืขื ืืืื ืืจืืื ืฆื ืคึผืจืึธืืืฆืืจื ืืฉืืคึผืก ื ืืฆื EUV ืคึผืจืึทืกืขืกืึทื ืืืืึทืืขืจ ืืึธืจ.
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