ืื ื ืึธืจืืืขืืืฉืข ืกืืึทืจืืึทืคึผ ืืืืก ืืืืึธืืจืึทืคื, ืืขืฉืืืฆื ืืืจื ืืืืงืจืึธืกืึธืคึฟื, ืืึธื ืืืืคึฟืืขืืจืืื 40 ืืืืืึธื ืืึธืืึทืจ ืืื ืืืจ ืขืจืฉืืขืจ ืคึฟืื ืึทื ืฆืืจ-ืจืื ืืข ืฆื ืึทื ืืืืืงืืขื ืึท ืืืืึธืืจืึทืคึฟืืข ืกืงืึทื ืขืจ ืืืึธืก ื ืืฆื ืึท ืฉืืจืึทื ืคึฟืื ืืขืืืื ืึทืืึธืืขื ืฆื ืคึผืจืึธืฆืขืกืืจื ืกืืืืงืึธื ืืืขืืคึฟืขืจืก. ืื ืคึฟืืจืืข ืืึทืืืืคึผืืขื ืึทื ืืืจ ืืขืื ืึธืืึธืืืข ืืืขื ืขืจืืขืืืขืื ืื ืฉืึทืคึฟืื ื ืคึฟืื ืืฉืืคึผ ืคึฟืขืึดืืฉืขืจื 10 ืืึธื ืงืืขื ืขืจ ืืื ืขืงืืืกืืืจื ืืืงืข ืืืืึธืืจืึทืคึฟืืข ืกืืกืืขืืขื, ืืื ืึท ืฉืืจืึทื ืืจืืื ืคึฟืื ืืืืื 0,1 ื ืึทื ืึธืืขืืขืจ - ASML'ืก EUV ืกืงืึทื ืขืจืก ื ืืฆื ืึท ืืืืึทืืืข-ืืขื ื ืคึฟืื 13,5 ื ืึทื ืึธืืขืืขืจ.
ืืขืจ ืืขืื ืคืื ืื ืืขืืก ืกืืกืืขื ืืื ืื ืืืืืขื ืืขื ืขื ืืืคืจืืงืฆืืข-ืคืจืื, ืืฉืขืช ืคืืืื ืืฉืข ืืืืืืจืืคืืข, ืืจืืื ืืขืจืขืื ื ASML'ืก EUV ืกืืกืืขืืขื, ืืื ืืืืจืขื ืขืฆื ืืืจื ืื ืืืืืืืข-ืืขื ื ืคืื ืื ืืืื ืืืืก ืืืขืจื ืืขื ืืฆื. ืืื ืืฉืืค-ืืืืขืจืก ืคืืจืงืืขื ืขืจื ืื ืืจืืืก ืคืื ืื ืืืืื ืฉืืคืื, ืคืืจืืืื ืืื ืืื ืืืืฃ ืืืฅ ืืขืจ ืงืืืคืืืฆืืจืืข ืืืืื-ืฉืืืืืงืข ืคึผืึทืืขืจื ืื ื ืืขืื ืืงื ืฆื ืืืืขืจืงืืืขื ืื ืืืืจืขื ืขืฆืื ื. ืืขืืก, ืืืขืจ, ื ืขืื ืื ืื ืืขืจื ืฆืืืื ื, ืืื ืขืจืืขืฆื ืคืืืื ืขื ืืื ื ืืืืจืืืข ืืขืืืื ืืืืืขื ืืื ื ืฉืืจืื ืืืขืืขื ืก ืืจืืื ืืื ืืขืจื ืืืืื ืฆื ืืขืจ ืืจืืื ืคืื ืื ืืืื ืฆืืงื ืืืืกืขืจืฉืืืฃ ืืืื.
ืืืืก ืืืฉืจืืืื ืืืจืข ืกืืกืืขืืขื ืืืก BEUV, ืืืขืจ Beyond-EUV. ืืืืก'ืก ืืืืคื ืขืงืืขืงืืืืื ืืื ืืื-ืืจืื ืืขืจ ืืึธืืื ืืึธืืกื ืืื ืืขืืืื ืื ืื ืคืืจืืข'ืก ืืขืื ืึธืืึธืืืข ืืืขื ืขืจืืืืื ืืฉืืคึผ-ืืืืขืจ ืฆื ืืจืืงื ืืืขืืคืขืจืก ืืื "ืืขืฆืื ืก ืึทืืึธืืืฉืขืจ ืจืขืืึธืืืฆืืข." ืืืฉืึทื ืคึผืขืืขืจืกืขื, ืืืืขืง'ืก ืืืืกื ืฉืืคืืืขืืขืจ ืืืจืขืงืืึธืจ ืคืื ืืืืึธืืจืึทืคึฟืืข, ืืืืืื ืื ืืขืจ ืฆืืืึทื ื ืงืขื ืคืืจืงืืขื ืขืจื ืืจืึทื ืืืกืืึธืจื ืืื ืึทื ืืขืจืข ืงืึธืืคึผืึธื ืขื ืื ืืื ื ืืจืืืกืขืจ ืึธืจืืขื ืื ื, ืฆื ื "ืืืขื ืืืืคืืจืฉืืขืืืืจื" ืืจืึทื.
ืืืืก ืฉืืืกื ืืื ืื ืฆื ื ืืืืงืกื ืืืงืข ืฆืื ืกืืืจืืืคืก ืืืืก ืื ืืืืืงืืขื ืืืืขืจื ืืืืืื ืฆื ASML'ืก ืคืืจืืขืฉืจืืืขื ืข ืืืืืืจืืคืืข. ืืืขืจืืงืื ืขืจ ืคืืจืืขืก Substrate ืืื xLight ืื ืืืืืงืืขื ืืืืืืขื ืึทืงืกืขืืขืจืึทืืึธืจ-ืืึทืืืจืืข ืืืื ืงืืืขืืขืจ ืคืืจ EUV ืืืขืจ X-ืฉืืจืึทื ืืืืืืจืืคืืข, ืืื xLight ืืืืก ืืืงืืื $150 ืืืืืึธื ืืื ืืืขืจืืงืื ืขืจ ืจืขืืืจืื ื ืืขืืืขืจ. ืงืึทื ืึธื ืืื ืืืืขืจืืขืืขืื ืืืื ืขืจืฉืืข ื ืึทื ืึธืืืคึผืจืื ื ืืืืืืจืืคืืข ืืขืฆืืื ืฆืื ืืขืงืกืึทืก ืืื ืกืืืืื ืคืื ืขืืขืงืืจืึธื ืืง ืฆืืจืืง ืืื ืกืขืคืืขืืืขืจ 2024, ืืื ืื ืืื ืขืืืฉืข ืคืืจืืข Prinano ืืื ืืขืฆืื ืก ืคืืจืืขืฉืืขืื ืืืื ืืืืืขื ืข ื ืึทื ืึธืืืคึผืจืื ื ืืืืืืจืืคืืข ืกืืกืืขื ืฆืื ืืื ืืขื ืืืฉื ืืึทืจืง.
ืืืขืจ, ืืืืก'ืก ืฆืืืื ื ืืื ืื ืืขืจืฉ ืคืื ืืืข ืื ืคืืจืืขืก. ืืืืฉ ืกืืืกืืจืื ืืื ืขืงืกืืืื ื ืืฆื ื ืื ืืืฅ ืคืืืื ืขื, ืขืืืืื ืืจื ืืืืก ืืื ืืื ืฆื ืขืืืืื ืืจื ืขืืขืงืืจืืืืื ืขืืืฉืข ืฉืืจืืืื ื. ืืืืฉ ืืืืก ืืื ืฉืืื ืืืฉืืคื ืคืจืืืืืืคืืฉื ืคืื ืืขื ืกืืกืืขื, ืืืืืื ืืขืจ ืจืืก ืฆืืืืฉื ืืขื ืืืืืจืืืืจืืข ืืื ืคืจืืืืงืฆืืข ืืจืืืก. ืื ืคืืจืืข ืคืืื ืืจื ืืขืฆื ืฆื ืืืคืืืืืจื ื ืืขืกื ืจืื ืืื ื ืคึผืืืึธื ืคืืืจืืง ืืื 2029, ืื ืงืืื ืฆืืื-ืคืืื ืคืืจ ืืืกื ืคืจืืืืงืฆืืข ื ืืื ืืฉื.
ืขืก ืืื ืืืขืจื ืฆื ืืึทืืขืจืงื ืึทื ASML ืืึธื ืืืืกืืขืืขืื ืืึธืจืฆืขื ืืืืงืขืจ ืืื ืืืืืึธื ืขื ืืึธืืึทืจื ืฆื ืึทื ืืืืืงืืขื EUV ืืืืึธืืจืึทืคึฟืืข ืคึฟืื ืึท ืคึฟืึธืจืฉืื ื ืงืึธื ืฆืขืคึผื ืฆื ืึท ืงืืืขืจืฆืืขืื ืคึผืจืึธืืืงื. Lace ืืึทืฉืขืคึฟืืืงื ืืืฆื ืืืืขืจ 50 ืืขื ืืฉื ืืื ื ืึธืจืืืขืืืข, ืฉืคึผืึทื ืืข, ืื ืคึฟืึทืจืืืื ืืงืืข ืงืขื ืืืจืืื ืืื ืื ื ืขืืืขืจืืึทื ืืก, ืืื ืื ืคึฟืืจืืข ืืึธื ืคึผืจืขืืขื ืืืจื ืืืจืข ืขืจืฉืืข ืคึฟืึธืจืฉืื ื ืจืขืืืืืึทืื ืืื ืืขืจ SPIE Advanced Lithography + Patterning 2026 ืงืึธื ืคึฟืขืจืขื ืฅ.
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