Gẹgẹbi oju opo wẹẹbu IEEE Spectrum, lati opin Kínní si ibẹrẹ Oṣu Kẹta, a ṣẹda yàrá kan ni ile-iṣẹ Belgian Imec papọ pẹlu ile-iṣẹ Amẹrika KMLabs lati ṣe iwadi awọn iṣoro pẹlu photolithography semikondokito labẹ ipa ti itọsi EUV (ninu ultra- iwọn ultraviolet lile). Yoo dabi, kini o wa lati kawe nibi? Rara, koko-ọrọ kan wa lati ṣe iwadi, ṣugbọn kilode ti o ṣe agbekalẹ yàrá tuntun fun eyi? Samusongi bẹrẹ iṣelọpọ awọn eerun 7nm pẹlu lilo apakan ti awọn ọlọjẹ EUV ni oṣu mẹfa sẹhin. TSMC yoo darapọ mọ rẹ laipẹ ni igbiyanju yii. Ni opin ọdun, awọn mejeeji yoo bẹrẹ iṣelọpọ eewu pẹlu awọn iṣedede ti 5 nm ati bẹbẹ lọ. Ati pe sibẹsibẹ awọn iṣoro wa, ati pe wọn ṣe pataki to pe awọn idahun si awọn ibeere yẹ ki o wa ni awọn ile-iṣere, kii ṣe ni iṣelọpọ.
Iṣoro akọkọ ni lithography EUV loni jẹ didara ti photoresisist. Orisun itọsi EUV jẹ pilasima, kii ṣe lesa, gẹgẹ bi ọran pẹlu awọn aṣayẹwo 193 nm agbalagba. Awọn lesa evaporates kan ju ti asiwaju ni a gaseous ayika ati awọn Abajade Ìtọjú njade lara photon, awọn agbara ti eyi ti o jẹ 14 igba ti o ga ju awọn agbara ti photons ni scanners pẹlu ultraviolet Ìtọjú. Bi abajade, photoresist kii ṣe iparun nikan ni awọn aaye wọnyẹn nibiti o ti wa ni bombu nipasẹ awọn fọto, ṣugbọn awọn aṣiṣe laileto tun waye, pẹlu nitori ohun ti a pe ni ipa ariwo ida. Agbara awọn photon ga ju. Awọn idanwo pẹlu awọn aṣayẹwo EUV fihan pe awọn photoresists, eyiti o tun lagbara lati ṣiṣẹ pẹlu awọn iṣedede 7 nm, ni ọran ti iṣelọpọ awọn iyika 5 nm ṣe afihan ipele giga ti awọn abawọn. Iṣoro naa jẹ pataki pupọ pe ọpọlọpọ awọn amoye ko gbagbọ ninu ifilọlẹ aṣeyọri iyara ti imọ-ẹrọ ilana 5 nm, kii ṣe mẹnuba iyipada si 3 nm ati ni isalẹ.
Iṣoro ti ṣiṣẹda iran tuntun ti photoresist yoo gbiyanju lati yanju ni yàrá apapọ ti Imec ati KMLabs. Ati pe wọn yoo yanju rẹ lati oju-ọna ti ọna imọ-jinlẹ, kii ṣe nipa yiyan awọn reagents, gẹgẹ bi a ti ṣe ni awọn ọdun ọgbọn-odd to kẹhin. Lati ṣe eyi, awọn alabaṣepọ ijinle sayensi yoo ṣẹda ọpa kan fun iwadi alaye ti awọn ilana ti ara ati kemikali ni photoresist. Ni deede, awọn synchrotrons ni a lo lati ṣe iwadi awọn ilana ni ipele molikula, ṣugbọn Imec ati KMLabs n gbero lati ṣẹda asọtẹlẹ EUV ati ohun elo wiwọn ti o da lori awọn laser infurarẹẹdi. KMLabs jẹ alamọja ni awọn ọna ṣiṣe laser.
Da lori fifi sori ẹrọ laser KMlabs, pẹpẹ kan fun ṣiṣẹda awọn harmonics aṣẹ giga yoo ṣẹda. Ni deede, fun idi eyi, pulse laser ti o ni agbara giga ti wa ni itọsọna sinu alabọde gaseous ninu eyiti awọn harmonics igbohunsafẹfẹ giga pupọ ti pulse itọsọna dide. Pẹlu iru iyipada bẹ, ipadanu nla ti agbara waye, nitorinaa ipilẹ iru kan ti ipilẹṣẹ itanna EUV ko le ṣee lo taara fun lithography semikondokito. Ṣugbọn eyi to fun awọn idanwo. Ni pataki julọ, itankalẹ abajade le jẹ iṣakoso mejeeji nipasẹ iye akoko pulse ti o wa lati picoseconds (10-12) si attoseconds (10-18), ati nipasẹ gigun lati 6,5 nm si 47 nm. Iwọnyi jẹ awọn agbara ti o niyelori fun ohun elo idiwọn. Wọn yoo ṣe iranlọwọ lati ṣe iwadi awọn ilana ti awọn iyipada molikula iyara pupọ ni photoresist, awọn ilana ionization ati ifihan si awọn fọto agbara-giga. Laisi eyi, fọtolithography ile-iṣẹ pẹlu awọn iṣedede kere ju 3 ati paapaa 5 nm wa ni ibeere.
orisun: 3dnews.ru