Ile-iṣẹ iwadii Belgian Imec ṣogo Rírà ẹ̀rọ ìṣàyẹ̀wò tuntun ti ASML—TWINSCAN EXE:5200 pẹ̀lú ihò gíga ti 0,55. Ẹ̀rọ ìṣàyẹ̀wò náà yóò pèsè ìpinnu tí kò tíì ṣẹlẹ̀ rí fún ṣíṣe àwọn semiconductor, èyí tí yóò mú kí àwọn olùṣe ẹ̀rọ ìṣàyẹ̀wò wọ̀nyí nílò ìbéèrè gíga. Èyí yóò jẹ́ kí Yúróòpù máa bá a lọ láti jẹ́ olùfúnni ní ìmọ̀ ẹ̀rọ, gẹ́gẹ́ bí ó ti rí ní àwọn ọdún díẹ̀ sẹ́yìn.
Scanner tuntun naa yoo kọja ipinnu opitika ti awọn eto EUV ibile pẹlu NA ti 0,33 ati pe yoo tun pese agbara iṣelọpọ wafer ti o pọ si, iduroṣinṣin iṣẹ, ati iyara ilana. Eto naa yoo wa ni ibi mimọ wafer 300mm ti Imec ati pe yoo ṣiṣẹ bi aarin laini awakọ NanoIC, ti a ṣe lati mu idagbasoke ati ifọwọsi awọn imọ-ẹrọ iṣelọpọ chip sub-2 nm yara ati mu akoko Ångström wa.
Rírà tí Imec gbà láti inú ọ̀kan lára àwọn ohun èlò díẹ̀ tó wà ní àgbáyé túbọ̀ fi hàn pé àwọn olùgbékalẹ̀ ìmọ̀ ẹ̀rọ ìṣiṣẹ́ ti ilẹ̀ Yúróòpù ló ń múra ètò àyíká semiconductor kárí ayé sílẹ̀ fún ìran tó ń bọ̀ ti iṣẹ́ ọnà àti ìrántí.
Àwọn àǹfààní ìmọ̀-ẹ̀rọ ti àwọn ètò EUV oní-nọ́mbà gíga (High-NA) ni agbára láti tẹ̀ àwọn ẹ̀rọ kéékèèké jáde ní ìgbà kan ṣoṣo, ṣíṣe ìrọ̀rùn àwọn iṣẹ́, dín owó kù, àti mímú èso pọ̀ sí i ní ìfiwéra pẹ̀lú ìlànà ìbòjú-ọ̀pọ̀ (multi-projection) ti àwọn ẹ̀rọ scanner ìran tí ó ti kọjá. Ètò EXE:5200 ń fúnni ní ìlọ́po púpọ̀ sí i, ìṣedéédé ìṣètò ẹ̀yà ara tí ó dára síi, àti ìbáramu pẹ̀lú àwọn ohun èlò photoresist tuntun (pẹ̀lú àwọn photoresists metal oxide), èyí tí ó ṣe pàtàkì fún ṣíṣẹ̀dá àwọn array transistor oní-púpọ̀.
Láàárín ọdún méjì tó kọjá, Imec àti ASML ti ṣiṣẹ́ pọ̀ ní yàrá High-NA EUV kan ní Veldhoven, Netherlands, níbi tí wọ́n ti ṣe àṣeyọrí àkọsílẹ̀ àgbáyé fún ìpinnu ìlà—fún àpẹẹrẹ, wọ́n ṣe àwọn ìlà tí ó tóbi tó 16 nm ní ìpele kan ṣoṣo. Nísinsìnyí, gbogbo èyí ni a ó ṣe àtúnṣe ní Imec lórí àwọn ìlà tí ó sún mọ́ ti ìṣòwò, èyí tí yóò mú ìwádìí náà dé ìwọ̀n iṣẹ́-ajé pẹ̀lú ìṣọ̀kan pípé sínú ẹ̀wọ̀n ìpèsè, ìṣiṣẹ́, àti metrology.
A nireti pe eto EXE:5200 yoo ṣiṣẹ ni kikun ni mẹẹdogun kẹrin ti ọdun 2026. Titi di igba naa, iwadii High-NA EUV yoo tẹsiwaju ni ile-iṣẹ ASML-Imec apapọ ni Veldhoven, ti yoo rii daju pe iṣẹ tẹsiwaju fun awọn alabaṣiṣẹpọ mejeeji. Ile-iṣẹ Imec yoo gba eto-aye laaye (awọn oluṣe chip olokiki, awọn olupese ohun elo, ati awọn olupese ohun elo) lati ni iwọle si awọn imọ-ẹrọ iran ti nbọ ni kutukutu ati ti o gbooro julọ. Eyi ṣe pataki pataki fun idagbasoke awọn ohun elo AI ti o munadoko agbara, iranti iwuwo giga, ati awọn ohun elo miiran ti o nilo idinku pupọ.
Àfikún pàtàkì ìṣẹ̀lẹ̀ náà ni àjọṣepọ̀ tímọ́tímọ́ Imec pẹ̀lú ASML, ìtìlẹ́yìn láti ọ̀dọ̀ European Union, ìjọba Belgium àti Dutch, àti ìnáwó nípasẹ̀ àwọn ètò Digital Europe àti Horizon Europe. Rírà irú ètò tó níye lórí àti àrà ọ̀tọ̀ bẹ́ẹ̀ (a ṣírò pé ètò kọ̀ọ̀kan yóò ná ọgọ́rọ̀ọ̀rún mílíọ̀nù dọ́là) jẹ́rìí sí ipa Imec gẹ́gẹ́ bí orísun pàtàkì fún ilé iṣẹ́ náà ní "àkókò angstrom." Ìmọ̀ ẹ̀rọ High-NA EUV ń di òpómúléró fún fífún Òfin Moore ní ìlọ́po 2 nm, èyí tí ó ń jẹ́ kí ó ṣeé ṣe láti fẹ̀ sí i ní iye owó àti láti ṣí ọ̀nà sí àwọn chips A10/A7 àti jù bẹ́ẹ̀ lọ, èyí tí ó ṣe pàtàkì fún ìdíje Europe nínú ìdíje semiconductor kárí ayé.
orisun:
orisun: 3dnews.ru
