Fun igba pipẹ , pe lati imọ-ẹrọ ilana 3nm, awọn transistors yoo gbe lati inaro awọn ikanni FinFET "fin" si awọn ikanni nanopage petele patapata ti awọn ẹnu-bode tabi GAA (bode-gbogbo-yika). Loni, ile-ẹkọ Faranse CEA-Leti ṣe afihan bii awọn ilana iṣelọpọ transistor FinFET ṣe le ṣee lo lati ṣe agbejade awọn transistors GAA pupọ-pupọ. Ati mimu ilọsiwaju ti awọn ilana imọ-ẹrọ jẹ ipilẹ ti o gbẹkẹle fun iyipada iyara.
Awọn alamọja CEA-Leti fun Imọ-ẹrọ VLSI & Awọn apejọ apejọ 2020 nipa iṣelọpọ ti transistor GAA ipele meje (ọpẹ pataki si ajakaye-arun coronavirus, o ṣeun si eyiti awọn iwe aṣẹ ti awọn igbejade bẹrẹ nikẹhin lati han ni iyara, kii ṣe awọn oṣu lẹhin awọn apejọ). Awọn oniwadi Faranse ti fihan pe wọn le ṣe awọn transistors GAA pẹlu awọn ikanni ni irisi gbogbo “akopọ” ti awọn nanopages nipa lilo imọ-ẹrọ ti a lo lọpọlọpọ ti ilana ti a npe ni RMG (bode irin rirọpo tabi, ni Russian, rirọpo (igba diẹ) irin. Ilekun nla). Ni akoko kan, ilana imọ-ẹrọ RMG ti ṣe atunṣe fun iṣelọpọ awọn transistors FinFET ati, bi a ti rii, le fa siwaju si iṣelọpọ awọn transistors GAA pẹlu eto ipele pupọ ti awọn ikanni nanopage.
Samsung, niwọn bi a ti mọ, pẹlu ibẹrẹ ti iṣelọpọ ti awọn eerun 3nm, awọn ero lati ṣe agbejade awọn transistors ipele-meji GAA pẹlu awọn ikanni alapin meji (nanopages) ti o wa ni ọkan loke ekeji, ti yika ni gbogbo awọn ẹgbẹ nipasẹ ẹnu-ọna kan. Awọn alamọja CEA-Leti ti fihan pe o ṣee ṣe lati ṣe agbejade awọn transistors pẹlu awọn ikanni nanopage meje ati ni akoko kanna ṣeto awọn ikanni si iwọn ti o nilo. Fun apẹẹrẹ, transistor GAA adanwo kan pẹlu awọn ikanni meje ni a tu silẹ ni awọn ẹya pẹlu awọn iwọn lati 15 nm si 85 nm. O han gbangba pe eyi ngbanilaaye lati ṣeto awọn abuda kongẹ fun awọn transistors ati ṣe iṣeduro atunṣe wọn (dinku itankale awọn aye).
Gẹgẹbi Faranse, awọn ipele ikanni diẹ sii ni transistor GAA, ti o tobi iwọn ti o munadoko ti ikanni lapapọ ati, nitorinaa, iṣakoso to dara julọ ti transistor. Paapaa, ninu eto multilayer kan wa lọwọlọwọ jijo. Fun apẹẹrẹ, transistor GAA-ipele meje ni igba mẹta kere si sisan lọwọlọwọ ju ipele meji lọ (ni ibatan, bii Samsung GAA). O dara, ile-iṣẹ naa ti rii ọna kan nikẹhin, gbigbe kuro lati ipo petele ti awọn eroja lori chirún kan si inaro. O dabi pe awọn microcircuits kii yoo ni lati mu agbegbe awọn kirisita pọ si lati le ni iyara paapaa, lagbara diẹ sii ati agbara daradara.
orisun: 3dnews.ru