Imec ṣafihan transistor pipe fun imọ-ẹrọ ilana 2nm

Gẹgẹbi a ti mọ, iyipada si imọ-ẹrọ ilana ilana 3 nm yoo wa pẹlu iyipada si faaji transistor tuntun kan. Ni awọn ofin Samusongi, fun apẹẹrẹ, iwọnyi yoo jẹ awọn transistors MBCFET (Multi Bridge Channel FET), ninu eyiti ikanni transistor yoo dabi awọn ikanni pupọ ti o wa loke ara wọn ni irisi nanopages, ti yika ni gbogbo awọn ẹgbẹ nipasẹ ẹnu-ọna (fun awọn alaye diẹ sii). , wo iwe ipamọ ti awọn iroyin wa fun Oṣu Kẹta Ọjọ 14).

Gẹgẹbi awọn olupilẹṣẹ lati ile-iṣẹ Belgian Imec, eyi jẹ ilọsiwaju, ṣugbọn kii ṣe bojumu, eto transistor nipa lilo awọn ẹnu-ọna FinFET inaro. Apẹrẹ fun awọn ilana imọ-ẹrọ pẹlu awọn iwọn eroja ti o kere ju 3 nm o yatọ si transistor be, eyi ti a dabaa nipasẹ awọn Belijiomu.

Imec ti ṣe agbekalẹ transistor pẹlu awọn oju-iwe pipin tabi Forksheet. Iwọnyi jẹ awọn nanopages inaro kanna bi awọn ikanni transistor, ṣugbọn ti o yapa nipasẹ dielectric inaro. Ni apa kan ti dielectric, transistor pẹlu ikanni n-ni a ṣẹda, ni apa keji, pẹlu p-ikanni. Ati awọn mejeeji ti wa ni ti yika nipasẹ kan to wopo oju ni awọn fọọmu ti a inaro wonu.

Idinku aaye lori-chip laarin awọn transistors pẹlu awọn adaṣe oriṣiriṣi jẹ ipenija pataki miiran fun isọdọtun ilana siwaju. Awọn iṣeṣiro TCAD jẹrisi pe transistor oju-iwe pipin yoo pese idinku 20 ogorun ni agbegbe ku. Ni gbogbogbo, faaji transistor tuntun yoo dinku giga sẹẹli kannaa boṣewa si awọn orin 4,3. Foonu naa yoo di rọrun, eyiti o tun kan si iṣelọpọ ti sẹẹli iranti SRAM.

Iyipada ti o rọrun lati transistor nanopage kan si transistor nanopage pipin yoo pese 10% ilosoke ninu iṣẹ lakoko mimu agbara, tabi idinku 24% ni agbara laisi alekun iṣẹ. Awọn iṣeṣiro fun ilana 2nm fihan pe sẹẹli SRAM kan ti o nlo awọn nanopages ti o ya sọtọ yoo pese idinku agbegbe apapọ ati ilọsiwaju iṣẹ ti o to 30% pẹlu p- ati n-junction aaye to 8 nm.

orisun: 3dnews.ru