Samusongi n pọ si iṣelọpọ ti awọn eerun igi ni lilo awọn ọlọjẹ EUV

Samsung ni akọkọ lati lo awọn ọlọjẹ EUV fun iṣelọpọ semikondokito, eyiti o ṣẹlẹ sẹhin ni isubu ti ọdun 2018. Ṣugbọn lilo kaakiri nitootọ ti awọn ilana imọ-ẹrọ ti o da lori asọtẹlẹ EUV n ṣẹlẹ ni bayi. Ni pato, Samsung fi sinu isẹ ni agbaye ni akọkọ apo pẹlu EUV ila akọkọ ngbero.

Samusongi n pọ si iṣelọpọ ti awọn eerun igi ni lilo awọn ọlọjẹ EUV

Laipẹ, Samusongi Electronics bẹrẹ iṣelọpọ pipọ ti awọn semikondokito ni ọgbin V1 ni Hwaseong, Republic of Korea. Ile-iṣẹ naa bẹrẹ lati kọ sinu Kínní 2018 o si tẹ ipele iṣelọpọ awaoko ni ọpọlọpọ awọn oṣu sẹhin. Bayi awọn laini ọgbin V1 ti bẹrẹ ibi-pupọ ti n ṣe awọn ọja 7nm ati 6nm ni lilo asọtẹlẹ ultra-hard ultraviolet (EUV). Awọn alabara ile-iṣẹ yoo bẹrẹ gbigba awọn aṣẹ lati inu ọgbin ni ọrọ kan ti awọn ọsẹ.

Ohun ọgbin V1 ti wa ni agbasọ lati ni o kere ju 10 EUV scanners ti fi sori ẹrọ. Aami idiyele fun ohun elo ile-iṣẹ nikan kọja $ 1 bilionu, kii ṣe darukọ ohun gbogbo miiran. Ṣaaju eyi, diẹ ninu awọn sipo ti awọn aṣayẹwo ibiti EUV n ṣiṣẹ ni ọgbin Samsung S3. Iṣelọpọ V1 tuntun papọ pẹlu ọgbin S3 ni opin ọdun yoo gba ile-iṣẹ laaye lati ṣe iwọn iwọn iṣelọpọ ti awọn eerun mẹta ti o nilo awọn ọlọjẹ EUV fun sisẹ. Ṣe akiyesi pe iwọnyi yoo jẹ awọn ọja pẹlu awọn iṣedede 7 nm ati awọn iṣedede imọ-ẹrọ kekere. Ni ọjọ iwaju, ohun ọgbin V1 ni Hwaseong yoo tun ni agbara lati ṣe agbejade awọn ọja 3nm.

Samusongi n pọ si iṣelọpọ ti awọn eerun igi ni lilo awọn ọlọjẹ EUV

Paapọ pẹlu awọn laini V1, Samusongi ni bayi ni apapọ awọn ipilẹ semikondokito mẹfa. Marun ninu wọn wa ni South Korea ati ọkan ni AMẸRIKA. O le rii ninu aworan loke kini awọn sobusitireti ati kini awọn ilana imọ-ẹrọ ti awọn laini ti awọn ile-iṣẹ wọnyi ti tunto fun.



orisun: 3dnews.ru

Fi ọrọìwòye kun