Imọ-ẹrọ tuntun fun iṣelọpọ ti awọn semikondokito nanometer ti ni idagbasoke ni AMẸRIKA

Ko ṣee ṣe lati fojuinu idagbasoke siwaju ti microelectronics laisi ilọsiwaju awọn imọ-ẹrọ iṣelọpọ semikondokito. Lati faagun awọn aala ati kọ ẹkọ bi o ṣe le ṣe agbejade awọn eroja ti o kere nigbagbogbo lori awọn kirisita, awọn imọ-ẹrọ tuntun ati awọn irinṣẹ tuntun nilo. Ọkan ninu awọn imọ-ẹrọ wọnyi le jẹ idagbasoke aṣeyọri nipasẹ awọn onimọ-jinlẹ Amẹrika.

Ẹgbẹ kan ti awọn oniwadi lati Ẹka Agbara AMẸRIKA ti Argonne National Laboratory ti ni idagbasoke ilana tuntun fun ṣiṣẹda ati etching tinrin fiimu lori dada ti awọn kirisita. Eyi le ja si iṣelọpọ awọn eerun ni iwọn kekere ju loni ati ni ọjọ iwaju nitosi. Iwadi naa ni a tẹjade ninu iwe akọọlẹ Kemistri ti Awọn ohun elo.

Ilana ti a dabaa dabi ilana ibile atomiki Layer iwadi oro ati etching, nikan dipo awọn fiimu inorganic, imọ-ẹrọ tuntun ṣẹda ati ṣiṣẹ pẹlu awọn fiimu Organic. Lootọ, nipasẹ afiwe, imọ-ẹrọ tuntun ni a pe ni idasile Layer molikula (MLD, fifisilẹ Layer molikula) ati etching Layer Layer (MLE, etching Layer Layer molecular).

Bi ninu ọran ti etching Layer atomiki, ọna MLE nlo itọju gaasi ni iyẹwu kan ti dada ti kirisita kan pẹlu awọn fiimu ti ohun elo ti o da lori Organic. Awọn gara ti wa ni cyclically mu pẹlu meji ti o yatọ ategun miiran titi ti fiimu ti wa ni tinrin si a fi fun sisanra.

Awọn ilana kemikali jẹ koko-ọrọ si awọn ofin ti ilana-ara-ẹni. Eyi tumọ si pe Layer lẹhin ti Layer ti yọ kuro ni deede ati ni ọna iṣakoso. Ti o ba lo photomasks, o le tun awọn topology ti ojo iwaju ërún lori ërún ati etch awọn oniru pẹlu awọn ga yiye.

Ninu idanwo naa, awọn onimo ijinlẹ sayensi lo gaasi ti o ni awọn iyọ lithium ati gaasi ti o da lori trimethylaluminum fun etching molikula. Lakoko ilana etching, agbo litiumu ṣe ifarabalẹ pẹlu oju ti fiimu alucone ni ọna ti a fi fi litiumu silẹ lori oke ati ki o run asopọ kemikali ninu fiimu naa. Lẹhinna a ti pese trimethylaluminiomu, eyiti o yọkuro Layer ti fiimu pẹlu litiumu, ati bẹbẹ lọ ni ẹyọkan titi fiimu yoo fi dinku si sisanra ti o fẹ. Iṣakoso ti o dara ti ilana naa, awọn onimo ijinlẹ sayensi gbagbọ, le gba imọ-ẹrọ ti a pinnu lati Titari idagbasoke ti iṣelọpọ semikondokito.

orisun: 3dnews.ru