研究人员在半导体晶体内部建立了液体冷却

当桌面处理器首次突破 1 GHz 时,有一段时间似乎无处可去。 起初,由于新的技术工艺,频率的提高是可能的,但由于散热要求的不断提高,频率的进步最终放缓了。 即使是大型散热器和风扇有时也没有时间从最强大的芯片中散热。

研究人员在半导体晶体内部建立了液体冷却

瑞士的研究人员决定尝试一下 去除热量的新方法 让液体穿过晶体本身。 他们将芯片和冷却系统设计为一个整体,片上流体通道放置在芯片最热的部分附近。 其结果是性能显着提高并具有高效的散热效果。

芯片散热的部分问题在于,它通常涉及几个阶段:热量从芯片传递到芯片封装,然后从封装传递到散热器,然后传递到空气(导热膏、均热板等) .也可能参与该过程进一步)。 总的来说,这限制了可以从芯片中散发的热量。 对于目前使用的液体冷却系统也是如此。 可以将芯片直接放置在导热液体中,但后者不应导电或与电子元件发生化学反应。

片上液体冷却已经进行了多次演示。 通常我们谈论的是一个系统,其中具有一组液体通道的装置被熔合到晶体上,并且液体本身被泵送通过它。 这使得热量能够有效地从芯片中去除,但最初的实施表明,通道中存在很大的压力,并且以这种方式抽水需要大量的能量——比从处理器中去除的能量还要多。 这会降低系统的能源效率,并且还会在芯片上产生危险的机械应力。

新的研究提出了提高片上冷却系统效率的想法。 对于解决方案,可以使用三维冷却系统 - 带有内置收集器的微通道(嵌入式歧管微通道,EMMC)。 其中,三维分层歧管是通道的一个组成部分,该通道具有多个用于分配冷却剂的端口。

研究人员通过将 EMMC 直接集成到芯片上,开发了单片集成歧管微通道 (mMMC)。 隐藏通道建在芯片活动区域的正下方,冷却剂直接在热源下方流动。 为了制造 mMMC,首先,在涂有半导体氮化镓 (GaN) 的硅基板上蚀刻通道窄槽; 然后用各向同性气体进行刻蚀,将硅片上的间隙加宽至所需的沟道宽度; 此后,沟道上方的 GaN 层中的孔用铜密封。 该芯片可以在GaN层中制造。 此过程不需要收集器和设备之间的连接系统。

研究人员在半导体晶体内部建立了液体冷却

研究人员实现了一种将交流电转换为直流电的电力电子模块。 借助它,只需 1,7 W/cm2 的泵浦功率即可冷却超过 0,57 kW/cm2 的热流。 此外,由于缺乏自热,该系统比类似的非冷却设备表现出更高的转换效率。

然而,您不应指望带有集成冷却系统的基于 GaN 的芯片即将出现——许多基本问题仍需要解决,例如系统稳定性、温度限制等。 然而,这是迈向更光明、更寒冷的未来的重要一步。

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来源: 3dnews.ru

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