三星是第一家使用 EUV 扫描仪进行半导体生产的公司,这发生在 2018 年秋天。 但基于 EUV 投影的技术流程真正广泛使用现在才发生。 特别是三星
最近,三星电子在韩国华城的V1工厂开始量产半导体。 企业开始筹建于
据传 V1 工厂至少安装了 10 台 EUV 扫描仪。 仅此工业设备的价格就超过 1 亿美元,更不用说其他一切了。 在此之前,部分 EUV 范围扫描仪已在三星 S3 工厂运行。 到今年年底,新的 V1 工厂与 S3 工厂的投产将使该公司需要 EUV 扫描仪进行处理的芯片产量增加两倍。 请注意,这些将是具有 7 纳米标准和较低技术标准的产品。 未来,华城V1工厂也将具备生产3nm产品的能力。
加上 V1 生产线,三星现在总共拥有六家半导体代工厂。 其中 XNUMX 个在韩国,XNUMX 个在美国。 从上图中你可以看到这些企业的生产线配置了哪些基材和哪些技术流程。
来源: 3dnews.ru