在三星,每一纳米都很重要:7 纳米之后将有 6、5、4 和 3 纳米工艺流程

今天三星电子 报道 关于半导体生产技术工艺开发的计划。该公司认为基于专利 MBCFET 晶体管的实验性 3 纳米芯片数字项目的创建是当前的主要成就。这些晶体管在垂直 FET 栅极中具有多个水平纳米页通道(多桥通道 FET)。

在三星,每一纳米都很重要:7 纳米之后将有 6、5、4 和 3 纳米工艺流程

作为与 IBM 联盟的一部分,三星开发了一种略有不同的技术,用于生产沟道完全被栅极包围的晶体管(GAA 或 Gate-All-Around)。这些通道应该以纳米线的形式变薄。随后,三星放弃了这一方案,并为具有纳米页形式通道的晶体管结构申请了专利。这种结构允许您通过操纵页面(通道)数量和调整页面宽度来控制晶体管的特性。对于经典 FET 技术来说,这样的操作是不可能的。为了提高FinFET晶体管的功率,需要增加基板上FET鳍片的数量,而这需要面积。 MBCFET晶体管的特性可以在一个物理门内改变,为此您需要设置通道的宽度及其数量。

使用 GAA 工艺进行生产的原型芯片数字设计(流片)的可用性使三星能够确定 MBCFET 晶体管的能力极限。需要注意的是,这仍然是计算机建模数据,新的工艺流程只有在投入量产后才能最终判断。然而,有一个起点。该公司表示,从7nm工艺(显然是第一代)过渡到GAA工艺将使芯片面积减少45%,功耗减少50%。如果不吝惜消耗,生产率可以提高35%。此前,三星在转向 3nm 工艺时实现了成本节约和生产力提升 列出 被逗号隔开。事实证明,要么是其中之一,要么是另一个。

该公司认为,为独立芯片开发商和无晶圆厂公司准备公共云平台是普及3纳米制程技术的重要点。三星没有隐藏生产服务器上的开发环境、项目验证和库。 SAFE(三星先进代工生态系统云)平台将向世界各地的设计人员开放。 SAFE云平台由亚马逊网络服务(AWS)、微软Azure等主要公有云服务参与创建。 Cadence 和 Synopsys 的设计系统开发人员在 SAFE 中提供了他们的设计工具。这有望使为三星工艺创建新解决方案变得更容易、更便宜。

回到三星的3nm工艺技术,我们补充一下,该公司推出了其芯片开发包的第一个版本——3nm GAE PDK Version 0.1。借助它的帮助,您现在就可以开始设计 3nm 解决方案,或者至少准备好在三星的这一工艺广泛普及时采用它。

三星宣布其未来计划如下。今年下半年,采用6nm工艺的芯片将启动量产。同时,4nm工艺技术的开发也将完成。首款采用 5nm 工艺的三星产品的开发将于今年秋季完成,并于明年上半年投入生产。此外,到今年年底,三星还将完成 18FDS 工艺技术(FD-SOI 晶圆上的 18 纳米)和 1 Gbit eMRAM 芯片的开发。从 7 nm 到 3 nm 的工艺技术将使用强度不断增强的 EUV 扫描仪,让每一纳米都变得有意义。再往下走,每走一步都需要战斗。



来源: 3dnews.ru

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