研究人員在半導體晶體內部建立了液體冷卻

當桌面處理器首次突破 1 GHz 時,有一段時間似乎無處可去。 起初,由於新的技術工藝,頻率的提高是可能的,但由於散熱要求的不斷提高,頻率的進步最終放緩了。 即使是大型散熱器和風扇有時也沒有時間從最強大的晶片中散熱。

研究人員在半導體晶體內部建立了液體冷卻

瑞士的研究人員決定嘗試一下 去除熱量的新方法 讓液體穿過晶體本身。 他們將晶片和冷卻系統設計為一個整體,片上流體通道放置在晶片最熱的部分附近。 其結果是性能顯著提高並具有高效的散熱效果。

晶片散熱的部分問題在於,它通常涉及幾個階段:熱量從晶片傳遞到晶片封裝,然後從封裝傳遞到散熱器,然後傳遞到空氣(導熱膏、均熱板等) .也可能參與該過程進一步)。 總的來說,這限制了可以從晶片中散發的熱量。 對於目前使用的液體冷卻系統也是如此。 晶片可以直接放置在導熱液體中,但後者不應導電或與電子元件發生化學反應。

片上液體冷卻已經進行了多次演示。 通常我們談論的是一個系統,其中具有一組液體通道的裝置被熔合到晶體上,並且液體本身被泵送通過它。 這使得熱量能夠有效地從晶片中去除,但最初的實施表明,通道中存在很大的壓力,並且以這種方式抽水需要大量的能量——比從處理器中去除的能量還要多。 這會降低系統的能源效率,並且還會在晶片上產生危險的機械應力。

新的研究提出了提高片上冷卻系統效率的想法。 對於解決方案,可以使用三維冷卻系統 - 具有內建收集器的微通道(嵌入式歧管微通道,EMMC)。 其中,三維分層歧管是通道的一個組成部分,該通道具有多個用於分配冷卻劑的端口。

研究人員透過將 EMMC 直接整合到晶片上,開發了單晶片整合歧管微通道 (mMMC)。 隱藏通道建在晶片活動區域的正下方,冷卻劑直接在熱源下方流動。 為了製造 mMMC,首先,在塗有半導體氮化鎵 (GaN) 的矽基板上蝕刻通道窄槽; 然後用各向同性氣體進行刻蝕,將矽片上的間隙加寬至所需的通道寬度; 此後,溝道上方的 GaN 層中的孔用銅密封。 該晶片可以在GaN層中製造。 此過程不需要收集器和設備之間的連接系統。

研究人員在半導體晶體內部建立了液體冷卻

研究人員實現了一種將交流電轉換為直流電的電力電子模組。 借助它,只需 1,7 W/cm2 的泵浦功率即可冷卻超過 0,57 kW/cm2 的熱流。 此外,由於缺乏自熱,該系統比類似的非冷卻設備表現出更高的轉換效率。

然而,您不應指望具有整合冷卻系統的基於 GaN 的晶片即將出現——許多基本問題仍需要解決,例如係統穩定性、溫度限制等。 然而,這是邁向更光明、更寒冷的未來的重要一步。

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來源: 3dnews.ru

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