三星是第一家使用 EUV 掃描器進行半導體生產的公司，這發生在 2018 年秋天。 但基於 EUV 投影的技術流程真正廣泛使用現在才發生。 特別是三星 最初計劃建造世界上第一座配備 EUV 生產線的工廠。
最近，三星電子在韓國華城的V1工廠開始量產半導體。 企業開始籌建於 並於幾個月前進入試產階段。 目前，V1工廠線已開始量產採用超硬紫外線（EUV）投影的7nm和6nm產品。 該公司的客戶將在幾週內開始收到該工廠的訂單。
據傳 V1 工廠至少安裝了 10 台 EUV 掃描器。 僅此工業設備的價格就超過 1 億美元，更不用說其他一切了。 在此之前，部分 EUV 範圍掃描器已在三星 S3 工廠運作。 到今年年底，新的 V1 工廠與 S3 工廠的投產將使該公司需要 EUV 掃描儀進行處理的晶片產量增加兩倍。 請注意，這些將是具有 7 奈米標準和較低技術標準的產品。 未來，華城V1工廠也將具備生產3nm產品的能力。
加上 V1 生產線，三星現在總共有六家半導體代工廠。 其中 XNUMX 個在韓國，XNUMX 個在美國。 從上圖你可以看到這些企業的生產線配置了哪些基材和哪些技術流程。
來源： 3dnews.ru