เจฆเจธเฉฐเจฌเจฐ เจตเจฟเฉฑเจš IEDM 2019 เจ•เจพเจจเจซเจฐเฉฐเจธ เจตเจฟเฉฑเจš, TSMC 5nm เจชเฉเจฐเจ•เจฟเจฐเจฟเจ† เจคเจ•เจจเจพเจฒเฉ‹เจœเฉ€ เจฌเจพเจฐเฉ‡ เจตเจฟเจธเจฅเจพเจฐ เจตเจฟเฉฑเจš เจ—เฉฑเจฒ เจ•เจฐเฉ‡เจ—เจพ

เจœเจฟเจตเฉ‡เจ‚ เจ•เจฟ เจ…เจธเฉ€เจ‚ เจœเจพเจฃเจฆเฉ‡ เจนเจพเจ‚, เจ‡เจธ เจธเจพเจฒ เจฆเฉ‡ เจฎเจพเจฐเจš เจตเจฟเฉฑเจš, TSMC เจจเฉ‡ 5nm เจ‰เจคเจชเจพเจฆเจพเจ‚ เจฆเจพ เจชเจพเจ‡เจฒเจŸ เจ‰เจคเจชเจพเจฆเจจ เจธเจผเฉเจฐเฉ‚ เจ•เฉ€เจคเจพเฅค เจ‡เจน เจคเจพเจˆเจตเจพเจจ เจตเจฟเฉฑเจš เจจเจตเฉ‡เจ‚ เจซเฉˆเจฌ 18 เจชเจฒเจพเจ‚เจŸ เจตเจฟเฉฑเจš เจนเฉ‹เจ‡เจ†, เจตเจฟเจธเจผเฉ‡เจธเจผ เจคเฉŒเจฐ 'เจคเฉ‡ เจฌเจฃเจพเจ‡เจ† เจ—เจฟเจ† 5nm เจนเฉฑเจฒเจพเจ‚ เจฆเฉ€ เจฐเจฟเจนเจพเจˆ เจฒเจˆ. 5 เจฆเฉ€ เจฆเฉ‚เจœเฉ€ เจคเจฟเจฎเจพเจนเฉ€ เจตเจฟเฉฑเจš 5nm N2020 เจชเฉเจฐเจ•เจฟเจฐเจฟเจ† เจฆเฉ€ เจตเจฐเจคเฉ‹เจ‚ เจ•เจฐเจฆเฉ‡ เจนเฉ‹เจ เจตเฉฑเจกเฉ‡ เจ‰เจคเจชเจพเจฆเจจ เจฆเฉ€ เจ‰เจฎเฉ€เจฆ เจนเฉˆเฅค เจ‰เจธเฉ‡ เจธเจพเจฒ เจฆเฉ‡ เจ…เฉฐเจค เจคเฉฑเจ•, เจ‰เจคเจชเจพเจฆเจ• 5nm เจชเฉเจฐเจ•เจฟเจฐเจฟเจ† เจคเจ•เจจเจพเจฒเฉ‹เจœเฉ€ เจœเจพเจ‚ N5P (เจชเฉเจฐเจฆเจฐเจธเจผเจจ) 'เจคเฉ‡ เจ…เจงเจพเจฐเจค เจšเจฟเจชเจธ เจฆเจพ เจ‰เจคเจชเจพเจฆเจจ เจธเจผเฉเจฐเฉ‚ เจ•เฉ€เจคเจพ เจœเจพเจตเฉ‡เจ—เจพเฅค เจชเฉเจฐเฉ‹เจŸเฉ‹เจŸเจพเจˆเจช เจšเจฟเฉฑเจชเจพเจ‚ เจฆเฉ€ เจ‰เจชเจฒเจฌเจงเจคเจพ TSMC เจจเฉ‚เฉฐ เจจเจตเฉ€เจ‚ เจชเฉเจฐเจ•เจฟเจฐเจฟเจ† เจคเจ•เจจเจพเจฒเฉ‹เจœเฉ€ เจฆเฉ‡ เจ…เจงเจพเจฐ 'เจคเฉ‡ เจคเจฟเจ†เจฐ เจ•เฉ€เจคเฉ‡ เจญเจตเจฟเฉฑเจ– เจฆเฉ‡ เจธเฉˆเจฎเฉ€เจ•เฉฐเจกเจ•เจŸเจฐเจพเจ‚ เจฆเฉ€เจ†เจ‚ เจธเจฎเจฐเฉฑเจฅเจพเจตเจพเจ‚ เจฆเจพ เจฎเฉเจฒเจพเจ‚เจ•เจฃ เจ•เจฐเจจ เจฆเฉ€ เจ‡เจœเจพเจœเจผเจค เจฆเจฟเฉฐเจฆเฉ€ เจนเฉˆ, เจœเจฟเจธ เจฌเจพเจฐเฉ‡ เจ•เฉฐเจชเจจเฉ€ เจฆเจธเฉฐเจฌเจฐ เจตเจฟเฉฑเจš เจตเจฟเจธเจฅเจพเจฐ เจตเจฟเฉฑเจš เจ—เฉฑเจฒ เจ•เจฐเฉ‡เจ—เฉ€เฅค เจชเจฐ เจคเฉเจธเฉ€เจ‚ เจชเจนเจฟเจฒเจพเจ‚ เจนเฉ€ เจ•เฉเจ เจฒเฉฑเจญ เจธเจ•เจฆเฉ‡ เจนเฉ‹ เจ…เฉฑเจœ IEDM 2019 'เจคเฉ‡ เจชเฉ‡เจธเจผเจ•เจพเจฐเฉ€ เจฒเจˆ TSMC เจฆเฉเจ†เจฐเจพ เจชเฉ‡เจธเจผ เจ•เฉ€เจคเฉ‡ เจเจฌเจธเจŸเจฐเฉˆเจ•เจŸ เจคเฉ‹เจ‚เฅค

เจฆเจธเฉฐเจฌเจฐ เจตเจฟเฉฑเจš IEDM 2019 เจ•เจพเจจเจซเจฐเฉฐเจธ เจตเจฟเฉฑเจš, TSMC 5nm เจชเฉเจฐเจ•เจฟเจฐเจฟเจ† เจคเจ•เจจเจพเจฒเฉ‹เจœเฉ€ เจฌเจพเจฐเฉ‡ เจตเจฟเจธเจฅเจพเจฐ เจตเจฟเฉฑเจš เจ—เฉฑเจฒ เจ•เจฐเฉ‡เจ—เจพ

เจตเฉ‡เจฐเจตเจฟเจ†เจ‚ เจจเฉ‚เฉฐ เจธเจชเฉฑเจธเจผเจŸ เจ•เจฐเจจ เจคเฉ‹เจ‚ เจชเจนเจฟเจฒเจพเจ‚, เจ†เจ“ เจฏเจพเจฆ เจ•เจฐเฉ€เจ เจ•เจฟ เจ…เจธเฉ€เจ‚ TSMC เจฆเฉ‡ เจชเจฟเจ›เจฒเฉ‡ เจฌเจฟเจ†เจจเจพเจ‚ เจคเฉ‹เจ‚ เจ•เฉ€ เจœเจพเจฃเจฆเฉ‡ เจนเจพเจ‚เฅค 7nm เจชเฉเจฐเจ•เจฟเจฐเจฟเจ† เจฆเฉ‡ เจฎเฉเจ•เจพเจฌเจฒเฉ‡, เจ‡เจน เจฆเจพเจ…เจตเจพ เจ•เฉ€เจคเจพ เจœเจพเจ‚เจฆเจพ เจนเฉˆ เจ•เจฟ 5nm เจšเจฟเจชเจธ เจฆเฉ€ เจธเจผเฉเฉฑเจง เจ•เจพเจฐเจ—เฉเจœเจผเจพเจฐเฉ€ 15% เจตเจงเฉ‡เจ—เฉ€ เจœเจพเจ‚ เจ–เจชเจค 30% เจคเฉฑเจ• เจ˜เจŸเฉ‡เจ—เฉ€ เจœเฉ‡เจ•เจฐ เจชเฉเจฐเจฆเจฐเจธเจผเจจ เจ‡เฉฑเจ•เฉ‹ เจœเจฟเจนเจพ เจฐเจนเจฟเฉฐเจฆเจพ เจนเฉˆเฅค N5P เจชเฉเจฐเจ•เจฟเจฐเจฟเจ† เจนเฉ‹เจฐ 7% เจ‰เจคเจชเจพเจฆเจ•เจคเจพ เจœเจพเจ‚ เจ–เจชเจค เจตเจฟเฉฑเจš 15% เจฌเฉฑเจšเจค เจœเฉ‹เฉœ เจฆเฉ‡เจตเฉ‡เจ—เฉ€เฅค เจคเจฐเจ• เจคเฉฑเจคเจพเจ‚ เจฆเฉ€ เจ˜เจฃเจคเจพ 1,8 เจ—เฉเจฃเจพ เจตเจง เจœเจพเจตเฉ‡เจ—เฉ€เฅค SRAM เจธเฉˆเฉฑเจฒ เจธเจ•เฉ‡เจฒ 0,75 เจฆเฉ‡ เจซเฉˆเจ•เจŸเจฐ เจจเจพเจฒ เจฌเจฆเจฒ เจœเจพเจตเฉ‡เจ—เจพเฅค

เจฆเจธเฉฐเจฌเจฐ เจตเจฟเฉฑเจš IEDM 2019 เจ•เจพเจจเจซเจฐเฉฐเจธ เจตเจฟเฉฑเจš, TSMC 5nm เจชเฉเจฐเจ•เจฟเจฐเจฟเจ† เจคเจ•เจจเจพเจฒเฉ‹เจœเฉ€ เจฌเจพเจฐเฉ‡ เจตเจฟเจธเจฅเจพเจฐ เจตเจฟเฉฑเจš เจ—เฉฑเจฒ เจ•เจฐเฉ‡เจ—เจพ

5nm เจšเจฟเจชเจธ เจฆเฉ‡ เจ‰เจคเจชเจพเจฆเจจ เจตเจฟเฉฑเจš, EUV เจธเจ•เฉˆเจจเจฐเจพเจ‚ เจฆเฉ€ เจตเจฐเจคเฉ‹เจ‚ เจฆเจพ เจชเฉˆเจฎเจพเจจเจพ เจชเจฐเจฟเจชเฉฑเจ• เจ‰เจคเจชเจพเจฆเจจ เจฆเฉ‡ เจชเฉฑเจงเจฐ เจคเฉฑเจ• เจชเจนเฉเฉฐเจš เจœเจพเจตเฉ‡เจ—เจพเฅค เจŸเจฐเจพเจ‚เจœเจผเจฟเจธเจŸเจฐ เจšเฉˆเจจเจฒ เจฌเจฃเจคเจฐ เจจเฉ‚เฉฐ เจฌเจฆเจฒเจฟเจ† เจœเจพเจตเฉ‡เจ—เจพ, เจธเฉฐเจญเจต เจคเฉŒเจฐ 'เจคเฉ‡ เจธเจฟเจฒเจฟเจ•เจจ เจฆเฉ‡ เจจเจพเจฒ เจœเจพเจ‚ เจ‡เจธ เจฆเฉ€ เจฌเจœเจพเจ เจœเจฐเจจเฉ€เจ…เจฎ เจฆเฉ€ เจตเจฐเจคเฉ‹เจ‚ เจ•เจฐเจ•เฉ‡เฅค เจ‡เจน เจšเฉˆเจจเจฒ เจตเจฟเฉฑเจš เจ‡เจฒเฉˆเจ•เจŸเฉเจฐเฉŒเจจเจพเจ‚ เจฆเฉ€ เจตเจงเฉ€ เจนเฉ‹เจˆ เจ—เจคเฉ€เจธเจผเฉ€เจฒเจคเจพ เจ…เจคเฉ‡ เจ•เจฐเฉฐเจŸเจพเจ‚ เจตเจฟเฉฑเจš เจตเจพเจงเจพ เจฏเจ•เฉ€เจจเฉ€ เจฌเจฃเจพเจเจ—เจพเฅค เจชเฉเจฐเจ•เจฟเจฐเจฟเจ† เจคเจ•เจจเจพเจฒเฉ‹เจœเฉ€ เจ•เจˆ เจจเจฟเจฏเฉฐเจคเจฐเจฃ เจตเฉ‹เจฒเจŸเฉ‡เจœ เจชเฉฑเจงเจฐ เจชเฉเจฐเจฆเจพเจจ เจ•เจฐเจฆเฉ€ เจนเฉˆ, เจœเจฟเจจเฉเจนเจพเจ‚ เจตเจฟเฉฑเจšเฉ‹เจ‚ เจธเจญ เจคเฉ‹เจ‚ เจตเฉฑเจง 25 nm เจชเฉเจฐเจ•เจฟเจฐเจฟเจ† เจคเจ•เจจเจพเจฒเฉ‹เจœเฉ€ เจตเจฟเฉฑเจš เจ‰เจธเฉ‡ เจฆเฉ‡ เจฎเฉเจ•เจพเจฌเจฒเฉ‡ 7% เจชเฉเจฐเจฆเจฐเจธเจผเจจ เจตเจพเจงเจพ เจชเฉเจฐเจฆเจพเจจ เจ•เจฐเฉ‡เจ—เจพเฅค I/O เจ‡เฉฐเจŸเจฐเจซเฉ‡เจธเจพเจ‚ เจฒเจˆ เจŸเจฐเจพเจ‚เจœเจผเจฟเจธเจŸเจฐ เจชเจพเจตเจฐ เจธเจชเจฒเจพเจˆ 1,5 V เจคเฉ‹เจ‚ 1,2 V เจคเฉฑเจ• เจนเฉ‹เจตเฉ‡เจ—เฉ€เฅค

เจฆเจธเฉฐเจฌเจฐ เจตเจฟเฉฑเจš IEDM 2019 เจ•เจพเจจเจซเจฐเฉฐเจธ เจตเจฟเฉฑเจš, TSMC 5nm เจชเฉเจฐเจ•เจฟเจฐเจฟเจ† เจคเจ•เจจเจพเจฒเฉ‹เจœเฉ€ เจฌเจพเจฐเฉ‡ เจตเจฟเจธเจฅเจพเจฐ เจตเจฟเฉฑเจš เจ—เฉฑเจฒ เจ•เจฐเฉ‡เจ—เจพ

เจฎเฉˆเจŸเจฒเจฒเจพเจˆเจœเจผเฉ‡เจธเจผเจจ เจ…เจคเฉ‡ เจธเฉฐเจชเจฐเจ•เจพเจ‚ เจฒเจˆ เจ›เฉ‡เจ• เจฆเฉ‡ เจ‰เจคเจชเจพเจฆเจจ เจตเจฟเฉฑเจš, เจ˜เฉฑเจŸ เจชเฉเจฐเจคเฉ€เจฐเฉ‹เจง เจตเจพเจฒเฉ€เจ†เจ‚ เจธเจฎเฉฑเจ—เจฐเฉ€เจ†เจ‚ เจฆเฉ€ เจตเจฐเจคเฉ‹เจ‚ เจ•เฉ€เจคเฉ€ เจœเจพเจตเฉ‡เจ—เฉ€เฅค เจ…เจคเจฟ-เจ‰เฉฑเจš-เจ˜เจฃเจคเจพ เจตเจพเจฒเฉ‡ เจ•เฉˆเจชเจธเฉ€เจŸเจฐเจพเจ‚ เจฆเจพ เจจเจฟเจฐเจฎเจพเจฃ เจฎเฉˆเจŸเจฒ-เจกเจพเจ‡เจฒเฉ‡เจ•เจŸเจฟเจ•-เจฎเฉˆเจŸเจฒ เจธเจฐเจ•เจŸ เจฆเฉ€ เจตเจฐเจคเฉ‹เจ‚ เจ•เจฐเจ•เฉ‡ เจ•เฉ€เจคเจพ เจœเจพเจตเฉ‡เจ—เจพ, เจœเจฟเจธ เจจเจพเจฒ เจ‰เจคเจชเจพเจฆเจ•เจคเจพ เจตเจฟเฉฑเจš 4% เจตเจพเจงเจพ เจนเฉ‹เจตเฉ‡เจ—เจพเฅค เจ†เจฎ เจคเฉŒเจฐ 'เจคเฉ‡, TSMC เจจเจตเฉ‡เจ‚ เจฒเฉ‹-เจ•เฉ‡ เจ‡เฉฐเจธเฉ‚เจฒเฉ‡เจŸเจฐเจพเจ‚ เจฆเฉ€ เจตเจฐเจคเฉ‹เจ‚ เจ•เจฐเจจ เจฒเจˆ เจธเจตเจฟเจš เจ•เจฐเฉ‡เจ—เจพเฅค เจ‡เฉฑเจ• เจจเจตเฉ€เจ‚ "เจธเฉเฉฑเจ•เฉ€" เจชเฉเจฐเจ•เจฟเจฐเจฟเจ†, เจฎเฉˆเจŸเจฒ เจฐเจฟเจเจ•เจŸเจฟเจต เจ†เจ‡เจจ เจเจšเจฟเฉฐเจ— (RIE), เจธเจฟเจฒเจฟเจ•เจจ เจตเฉ‡เจซเจฐ เจชเฉเจฐเฉ‹เจธเฉˆเจธเจฟเฉฐเจ— เจธเจฐเจ•เจŸ เจตเจฟเฉฑเจš เจฆเจฟเจ–เจพเจˆ เจฆเฉ‡เจตเฉ‡เจ—เฉ€, เจœเฉ‹ เจ…เฉฐเจธเจผเจ• เจคเฉŒเจฐ 'เจคเฉ‡ เจคเจพเจ‚เจฌเฉ‡ เจฆเฉ€ เจตเจฐเจคเฉ‹เจ‚ เจ•เจฐเจ•เฉ‡ เจฐเจตเจพเจ‡เจคเฉ€ เจฆเจฎเจฟเจธเจผเจ• เจชเฉเจฐเจ•เจฟเจฐเจฟเจ† เจจเฉ‚เฉฐ เจฌเจฆเจฒ เจฆเฉ‡เจตเฉ‡เจ—เฉ€ (30 nm เจคเฉ‹เจ‚ เจ›เฉ‹เจŸเฉ‡ เจงเจพเจค เจฆเฉ‡ เจธเฉฐเจชเจฐเจ•เจพเจ‚ เจฒเจˆ)เฅค เจจเจพเจฒ เจนเฉ€ เจชเจนเจฟเจฒเฉ€ เจตเจพเจฐ, เจ—เฉเจฐเจพเจซเฉ€เจจ เจฆเฉ€ เจ‡เฉฑเจ• เจชเจฐเจค เจฆเฉ€ เจตเจฐเจคเฉ‹เจ‚ เจคเจพเจ‚เจฌเฉ‡ เจฆเฉ‡ เจ•เฉฐเจกเจ•เจŸเจฐ เจ…เจคเฉ‡ เจธเฉˆเจฎเฉ€เจ•เฉฐเจกเจ•เจŸเจฐ (เจ‡เจฒเฉˆเจ•เจŸเฉเจฐเฉ‹เจฎเจพเจˆเจ—เจฐเฉ‡เจธเจผเจจ เจจเฉ‚เฉฐ เจฐเฉ‹เจ•เจฃ เจฒเจˆ) เจฆเฉ‡ เจตเจฟเจšเจ•เจพเจฐ เจ‡เฉฑเจ• เจฐเฉเจ•เจพเจตเจŸ เจฌเจฃเจพเจ‰เจฃ เจฒเจˆ เจ•เฉ€เจคเฉ€ เจœเจพเจตเฉ‡เจ—เฉ€เฅค

เจฆเจธเฉฐเจฌเจฐ เจตเจฟเฉฑเจš IEDM 2019 เจ•เจพเจจเจซเจฐเฉฐเจธ เจตเจฟเฉฑเจš, TSMC 5nm เจชเฉเจฐเจ•เจฟเจฐเจฟเจ† เจคเจ•เจจเจพเจฒเฉ‹เจœเฉ€ เจฌเจพเจฐเฉ‡ เจตเจฟเจธเจฅเจพเจฐ เจตเจฟเฉฑเจš เจ—เฉฑเจฒ เจ•เจฐเฉ‡เจ—เจพ

IEDM 'เจคเฉ‡ เจฆเจธเฉฐเจฌเจฐ เจฆเฉ€ เจฐเจฟเจชเฉ‹เจฐเจŸ เจฒเจˆ เจฆเจธเจคเจพเจตเฉ‡เจœเจผเจพเจ‚ เจคเฉ‹เจ‚, เจ…เจธเฉ€เจ‚ เจ‡เจน เจธเจฎเจ เจธเจ•เจฆเฉ‡ เจนเจพเจ‚ เจ•เจฟ 5nm เจšเจฟเจชเจธ เจฆเฉ‡ เจ•เจˆ เจฎเจพเจชเจฆเฉฐเจก เจนเฉ‹เจฐ เจตเฉ€ เจฌเจฟเจนเจคเจฐ เจนเฉ‹เจฃเจ—เฉ‡เฅค เจ‡เจธ เจคเจฐเฉเจนเจพเจ‚, เจคเจฐเจ• เจคเฉฑเจคเจพเจ‚ เจฆเฉ€ เจ˜เจฃเจคเจพ เจตเฉฑเจง เจนเฉ‹เจตเฉ‡เจ—เฉ€ เจ…เจคเฉ‡ 1,84 เจ—เฉเจฃเจพ เจคเฉฑเจ• เจชเจนเฉเฉฐเจš เจœเจพเจตเฉ‡เจ—เฉ€เฅค SRAM เจธเฉˆเฉฑเจฒ เจตเฉ€ เจ›เฉ‹เจŸเจพ เจนเฉ‹เจตเฉ‡เจ—เจพ, 0,021 ยตm2 เจฆเฉ‡ เจ–เฉ‡เจคเจฐ เจฆเฉ‡ เจจเจพเจฒเฅค เจชเฉเจฐเจฏเฉ‹เจ—เจพเจคเจฎเจ• เจธเจฟเจฒเฉ€เจ•เฉ‹เจจ เจฆเฉ‡ เจชเฉเจฐเจฆเจฐเจธเจผเจจ เจฆเฉ‡ เจจเจพเจฒ เจธเจญ เจ•เฉเจ เจ•เฉเจฐเจฎ เจตเจฟเฉฑเจš เจนเฉˆ - เจ‡เฉฑเจ• 15% เจตเจพเจงเจพ เจชเฉเจฐเจพเจชเจค เจ•เฉ€เจคเจพ เจ—เจฟเจ† เจธเฉ€, เจ…เจคเฉ‡ เจจเจพเจฒ เจนเฉ€ เจ‰เฉฑเจš เจซเฉเจฐเฉ€เจ•เฉเจเจ‚เจธเฉ€เจœเจผ เจฆเฉ‡ เจฐเฉเจ•เจฃ เจฆเฉ‡ เจฎเจพเจฎเจฒเฉ‡ เจตเจฟเฉฑเจš เจ–เจชเจค เจตเจฟเฉฑเจš เจ‡เฉฑเจ• เจธเฉฐเจญเจพเจตเฉ€ 30% เจ•เจฎเฉ€.

เจฆเจธเฉฐเจฌเจฐ เจตเจฟเฉฑเจš IEDM 2019 เจ•เจพเจจเจซเจฐเฉฐเจธ เจตเจฟเฉฑเจš, TSMC 5nm เจชเฉเจฐเจ•เจฟเจฐเจฟเจ† เจคเจ•เจจเจพเจฒเฉ‹เจœเฉ€ เจฌเจพเจฐเฉ‡ เจตเจฟเจธเจฅเจพเจฐ เจตเจฟเฉฑเจš เจ—เฉฑเจฒ เจ•เจฐเฉ‡เจ—เจพ

เจจเจตเฉ€เจ‚ เจชเฉเจฐเจ•เจฟเจฐเจฟเจ† เจคเจ•เจจเจพเจฒเฉ‹เจœเฉ€ เจธเฉฑเจค เจจเจฟเจฏเฉฐเจคเจฐเจฃ เจตเฉ‹เจฒเจŸเฉ‡เจœ เจฎเฉเฉฑเจฒเจพเจ‚ เจตเจฟเฉฑเจšเฉ‹เจ‚ เจšเฉเจฃเจจเจพ เจธเฉฐเจญเจต เจฌเจฃเจพเจตเฉ‡เจ—เฉ€, เจœเฉ‹ เจตเจฟเจ•เจพเจธ เจชเฉเจฐเจ•เจฟเจฐเจฟเจ† เจ…เจคเฉ‡ เจ‰เจคเจชเจพเจฆเจพเจ‚ เจตเจฟเฉฑเจš เจตเจฟเจญเจฟเฉฐเจจเจคเจพ เจจเฉ‚เฉฐ เจœเฉ‹เฉœ เจฆเฉ‡เจตเฉ‡เจ—เฉ€, เจ…เจคเฉ‡ EUV เจธเจ•เฉˆเจจเจฐเจพเจ‚ เจฆเฉ€ เจตเจฐเจคเฉ‹เจ‚ เจฏเจ•เฉ€เจจเฉ€ เจคเฉŒเจฐ 'เจคเฉ‡ เจ‰เจคเจชเจพเจฆเจจ เจจเฉ‚เฉฐ เจธเจฐเจฒ เจฌเจฃเจพเจตเฉ‡เจ—เฉ€ เจ…เจคเฉ‡ เจ‡เจธเจจเฉ‚เฉฐ เจธเจธเจคเจพ เจฌเจฃเจพ เจฆเฉ‡เจตเฉ‡เจ—เฉ€เฅค TSMC เจฆเฉ‡ เจ…เจจเฉเจธเจพเจฐ, EUV เจธเจ•เฉˆเจจเจฐเจพเจ‚ 'เจคเฉ‡ เจธเจตเจฟเจš เจ•เจฐเจจเจพ 0,73nm เจชเฉเจฐเจ•เจฟเจฐเจฟเจ† เจฆเฉ‡ เจฎเฉเจ•เจพเจฌเจฒเฉ‡ เจฒเฉ€เจจเฉ€เจ…เจฐ เจฐเฉˆเจœเจผเฉ‹เจฒเจฟเจŠเจธเจผเจจ เจตเจฟเฉฑเจš 7x เจธเฉเจงเจพเจฐ เจชเฉเจฐเจฆเจพเจจ เจ•เจฐเจฆเจพ เจนเฉˆเฅค เจ‰เจฆเจพเจนเจฐเจจ เจฒเจˆ, เจชเฉฐเจœ เจชเจฐเฉฐเจชเจฐเจพเจ—เจค เจฎเจพเจธเจ•เจพเจ‚ เจฆเฉ€ เจฌเจœเจพเจ, เจชเจนเจฟเจฒเฉ€เจ†เจ‚ เจชเจฐเจคเจพเจ‚ เจฆเฉ€เจ†เจ‚ เจธเจญ เจคเฉ‹เจ‚ เจจเจพเจœเจผเฉเจ• เจฎเฉˆเจŸเจพเจฒเจพเจˆเจœเจผเฉ‡เจธเจผเจจ เจฒเฉ‡เจ…เจฐเจพเจ‚ เจจเฉ‚เฉฐ เจฌเจฃเจพเจ‰เจฃ เจฒเจˆ, เจธเจฟเจฐเจซ เจ‡เฉฑเจ• เจˆเจฏเฉ‚เจตเฉ€ เจฎเจพเจธเจ• เจฆเฉ€ เจฒเฉ‹เฉœ เจนเฉ‹เจตเฉ‡เจ—เฉ€ เจ…เจคเฉ‡, เจ‡เจธเจฆเฉ‡ เจ…เจจเฉเจธเจพเจฐ, เจชเฉฐเจœ เจฆเฉ€ เจฌเจœเจพเจ เจธเจฟเจฐเจซ เจ‡เฉฑเจ• เจ‰เจคเจชเจพเจฆเจจ เจšเฉฑเจ•เจฐ. เจคเจฐเฉ€เจ•เฉ‡ เจจเจพเจฒ, เจงเจฟเจ†เจจ เจฆเจฟเจ“ เจ•เจฟ เจˆเจฏเฉ‚เจตเฉ€ เจชเฉเจฐเฉ‹เจœเฉˆเจ•เจธเจผเจจ เจฆเฉ€ เจตเจฐเจคเฉ‹เจ‚ เจ•เจฐเจฆเฉ‡ เจธเจฎเฉ‡เจ‚ เจšเจฟเฉฑเจช 'เจคเฉ‡ เจคเฉฑเจค เจ•เจฟเฉฐเจจเฉ‡ เจธเจพเจซเจผ-เจธเฉเจฅเจฐเฉ‡ เจนเฉเฉฐเจฆเฉ‡ เจนเจจ. เจธเฉเฉฐเจฆเจฐเจคเจพ, เจ…เจคเฉ‡ เจ‡เจน เจธเจญ เจนเฉˆ.



เจธเจฐเฉ‹เจค: 3dnews.ru

เจ‡เฉฑเจ• เจŸเจฟเฉฑเจชเจฃเฉ€ เจœเฉ‹เฉœเฉ‹