เจเจฟเจตเฉเจ เจเจฟ เจ
เจธเฉเจ เจเจพเจฃเจฆเฉ เจนเจพเจ, เจเจธ เจธเจพเจฒ เจฆเฉ เจฎเจพเจฐเจ เจตเจฟเฉฑเจ, TSMC เจจเฉ 5nm เจเจคเจชเจพเจฆเจพเจ เจฆเจพ เจชเจพเจเจฒเจ เจเจคเจชเจพเจฆเจจ เจธเจผเฉเจฐเฉ เจเฉเจคเจพเฅค เจเจน เจคเจพเจเจตเจพเจจ เจตเจฟเฉฑเจ เจจเจตเฉเจ เจซเฉเจฌ 18 เจชเจฒเจพเจเจ เจตเจฟเฉฑเจ เจนเฉเจเจ,
เจตเฉเจฐเจตเจฟเจเจ เจจเฉเฉฐ เจธเจชเฉฑเจธเจผเจ เจเจฐเจจ เจคเฉเจ เจชเจนเจฟเจฒเจพเจ, เจเจ เจฏเจพเจฆ เจเจฐเฉเจ เจเจฟ เจ เจธเฉเจ TSMC เจฆเฉ เจชเจฟเจเจฒเฉ เจฌเจฟเจเจจเจพเจ เจคเฉเจ เจเฉ เจเจพเจฃเจฆเฉ เจนเจพเจเฅค 7nm เจชเฉเจฐเจเจฟเจฐเจฟเจ เจฆเฉ เจฎเฉเจเจพเจฌเจฒเฉ, เจเจน เจฆเจพเจ เจตเจพ เจเฉเจคเจพ เจเจพเจเจฆเจพ เจนเฉ เจเจฟ 5nm เจเจฟเจชเจธ เจฆเฉ เจธเจผเฉเฉฑเจง เจเจพเจฐเจเฉเจเจผเจพเจฐเฉ 15% เจตเจงเฉเจเฉ เจเจพเจ เจเจชเจค 30% เจคเฉฑเจ เจเจเฉเจเฉ เจเฉเจเจฐ เจชเฉเจฐเจฆเจฐเจธเจผเจจ เจเฉฑเจเฉ เจเจฟเจนเจพ เจฐเจนเจฟเฉฐเจฆเจพ เจนเฉเฅค N5P เจชเฉเจฐเจเจฟเจฐเจฟเจ เจนเฉเจฐ 7% เจเจคเจชเจพเจฆเจเจคเจพ เจเจพเจ เจเจชเจค เจตเจฟเฉฑเจ 15% เจฌเฉฑเจเจค เจเฉเฉ เจฆเฉเจตเฉเจเฉเฅค เจคเจฐเจ เจคเฉฑเจคเจพเจ เจฆเฉ เจเจฃเจคเจพ 1,8 เจเฉเจฃเจพ เจตเจง เจเจพเจตเฉเจเฉเฅค SRAM เจธเฉเฉฑเจฒ เจธเจเฉเจฒ 0,75 เจฆเฉ เจซเฉเจเจเจฐ เจจเจพเจฒ เจฌเจฆเจฒ เจเจพเจตเฉเจเจพเฅค
5nm เจเจฟเจชเจธ เจฆเฉ เจเจคเจชเจพเจฆเจจ เจตเจฟเฉฑเจ, EUV เจธเจเฉเจจเจฐเจพเจ เจฆเฉ เจตเจฐเจคเฉเจ เจฆเจพ เจชเฉเจฎเจพเจจเจพ เจชเจฐเจฟเจชเฉฑเจ เจเจคเจชเจพเจฆเจจ เจฆเฉ เจชเฉฑเจงเจฐ เจคเฉฑเจ เจชเจนเฉเฉฐเจ เจเจพเจตเฉเจเจพเฅค เจเจฐเจพเจเจเจผเจฟเจธเจเจฐ เจเฉเจจเจฒ เจฌเจฃเจคเจฐ เจจเฉเฉฐ เจฌเจฆเจฒเจฟเจ เจเจพเจตเฉเจเจพ, เจธเฉฐเจญเจต เจคเฉเจฐ 'เจคเฉ เจธเจฟเจฒเจฟเจเจจ เจฆเฉ เจจเจพเจฒ เจเจพเจ เจเจธ เจฆเฉ เจฌเจเจพเจ เจเจฐเจจเฉเจ เจฎ เจฆเฉ เจตเจฐเจคเฉเจ เจเจฐเจเฉเฅค เจเจน เจเฉเจจเจฒ เจตเจฟเฉฑเจ เจเจฒเฉเจเจเฉเจฐเฉเจจเจพเจ เจฆเฉ เจตเจงเฉ เจนเฉเจ เจเจคเฉเจธเจผเฉเจฒเจคเจพ เจ เจคเฉ เจเจฐเฉฐเจเจพเจ เจตเจฟเฉฑเจ เจตเจพเจงเจพ เจฏเจเฉเจจเฉ เจฌเจฃเจพเจเจเจพเฅค เจชเฉเจฐเจเจฟเจฐเจฟเจ เจคเจเจจเจพเจฒเฉเจเฉ เจเจ เจจเจฟเจฏเฉฐเจคเจฐเจฃ เจตเฉเจฒเจเฉเจ เจชเฉฑเจงเจฐ เจชเฉเจฐเจฆเจพเจจ เจเจฐเจฆเฉ เจนเฉ, เจเจฟเจจเฉเจนเจพเจ เจตเจฟเฉฑเจเฉเจ เจธเจญ เจคเฉเจ เจตเฉฑเจง 25 nm เจชเฉเจฐเจเจฟเจฐเจฟเจ เจคเจเจจเจพเจฒเฉเจเฉ เจตเจฟเฉฑเจ เจเจธเฉ เจฆเฉ เจฎเฉเจเจพเจฌเจฒเฉ 7% เจชเฉเจฐเจฆเจฐเจธเจผเจจ เจตเจพเจงเจพ เจชเฉเจฐเจฆเจพเจจ เจเจฐเฉเจเจพเฅค I/O เจเฉฐเจเจฐเจซเฉเจธเจพเจ เจฒเจ เจเจฐเจพเจเจเจผเจฟเจธเจเจฐ เจชเจพเจตเจฐ เจธเจชเจฒเจพเจ 1,5 V เจคเฉเจ 1,2 V เจคเฉฑเจ เจนเฉเจตเฉเจเฉเฅค
เจฎเฉเจเจฒเจฒเจพเจเจเจผเฉเจธเจผเจจ เจ เจคเฉ เจธเฉฐเจชเจฐเจเจพเจ เจฒเจ เจเฉเจ เจฆเฉ เจเจคเจชเจพเจฆเจจ เจตเจฟเฉฑเจ, เจเฉฑเจ เจชเฉเจฐเจคเฉเจฐเฉเจง เจตเจพเจฒเฉเจเจ เจธเจฎเฉฑเจเจฐเฉเจเจ เจฆเฉ เจตเจฐเจคเฉเจ เจเฉเจคเฉ เจเจพเจตเฉเจเฉเฅค เจ เจคเจฟ-เจเฉฑเจ-เจเจฃเจคเจพ เจตเจพเจฒเฉ เจเฉเจชเจธเฉเจเจฐเจพเจ เจฆเจพ เจจเจฟเจฐเจฎเจพเจฃ เจฎเฉเจเจฒ-เจกเจพเจเจฒเฉเจเจเจฟเจ-เจฎเฉเจเจฒ เจธเจฐเจเจ เจฆเฉ เจตเจฐเจคเฉเจ เจเจฐเจเฉ เจเฉเจคเจพ เจเจพเจตเฉเจเจพ, เจเจฟเจธ เจจเจพเจฒ เจเจคเจชเจพเจฆเจเจคเจพ เจตเจฟเฉฑเจ 4% เจตเจพเจงเจพ เจนเฉเจตเฉเจเจพเฅค เจเจฎ เจคเฉเจฐ 'เจคเฉ, TSMC เจจเจตเฉเจ เจฒเฉ-เจเฉ เจเฉฐเจธเฉเจฒเฉเจเจฐเจพเจ เจฆเฉ เจตเจฐเจคเฉเจ เจเจฐเจจ เจฒเจ เจธเจตเจฟเจ เจเจฐเฉเจเจพเฅค เจเฉฑเจ เจจเจตเฉเจ "เจธเฉเฉฑเจเฉ" เจชเฉเจฐเจเจฟเจฐเจฟเจ, เจฎเฉเจเจฒ เจฐเจฟเจเจเจเจฟเจต เจเจเจจ เจเจเจฟเฉฐเจ (RIE), เจธเจฟเจฒเจฟเจเจจ เจตเฉเจซเจฐ เจชเฉเจฐเฉเจธเฉเจธเจฟเฉฐเจ เจธเจฐเจเจ เจตเจฟเฉฑเจ เจฆเจฟเจเจพเจ เจฆเฉเจตเฉเจเฉ, เจเฉ เจ เฉฐเจธเจผเจ เจคเฉเจฐ 'เจคเฉ เจคเจพเจเจฌเฉ เจฆเฉ เจตเจฐเจคเฉเจ เจเจฐเจเฉ เจฐเจตเจพเจเจคเฉ เจฆเจฎเจฟเจธเจผเจ เจชเฉเจฐเจเจฟเจฐเจฟเจ เจจเฉเฉฐ เจฌเจฆเจฒ เจฆเฉเจตเฉเจเฉ (30 nm เจคเฉเจ เจเฉเจเฉ เจงเจพเจค เจฆเฉ เจธเฉฐเจชเจฐเจเจพเจ เจฒเจ)เฅค เจจเจพเจฒ เจนเฉ เจชเจนเจฟเจฒเฉ เจตเจพเจฐ, เจเฉเจฐเจพเจซเฉเจจ เจฆเฉ เจเฉฑเจ เจชเจฐเจค เจฆเฉ เจตเจฐเจคเฉเจ เจคเจพเจเจฌเฉ เจฆเฉ เจเฉฐเจกเจเจเจฐ เจ เจคเฉ เจธเฉเจฎเฉเจเฉฐเจกเจเจเจฐ (เจเจฒเฉเจเจเฉเจฐเฉเจฎเจพเจเจเจฐเฉเจธเจผเจจ เจจเฉเฉฐ เจฐเฉเจเจฃ เจฒเจ) เจฆเฉ เจตเจฟเจเจเจพเจฐ เจเฉฑเจ เจฐเฉเจเจพเจตเจ เจฌเจฃเจพเจเจฃ เจฒเจ เจเฉเจคเฉ เจเจพเจตเฉเจเฉเฅค
IEDM 'เจคเฉ เจฆเจธเฉฐเจฌเจฐ เจฆเฉ เจฐเจฟเจชเฉเจฐเจ เจฒเจ เจฆเจธเจคเจพเจตเฉเจเจผเจพเจ เจคเฉเจ, เจ เจธเฉเจ เจเจน เจธเจฎเจ เจธเจเจฆเฉ เจนเจพเจ เจเจฟ 5nm เจเจฟเจชเจธ เจฆเฉ เจเจ เจฎเจพเจชเจฆเฉฐเจก เจนเฉเจฐ เจตเฉ เจฌเจฟเจนเจคเจฐ เจนเฉเจฃเจเฉเฅค เจเจธ เจคเจฐเฉเจนเจพเจ, เจคเจฐเจ เจคเฉฑเจคเจพเจ เจฆเฉ เจเจฃเจคเจพ เจตเฉฑเจง เจนเฉเจตเฉเจเฉ เจ เจคเฉ 1,84 เจเฉเจฃเจพ เจคเฉฑเจ เจชเจนเฉเฉฐเจ เจเจพเจตเฉเจเฉเฅค SRAM เจธเฉเฉฑเจฒ เจตเฉ เจเฉเจเจพ เจนเฉเจตเฉเจเจพ, 0,021 ยตm2 เจฆเฉ เจเฉเจคเจฐ เจฆเฉ เจจเจพเจฒเฅค เจชเฉเจฐเจฏเฉเจเจพเจคเจฎเจ เจธเจฟเจฒเฉเจเฉเจจ เจฆเฉ เจชเฉเจฐเจฆเจฐเจธเจผเจจ เจฆเฉ เจจเจพเจฒ เจธเจญ เจเฉเจ เจเฉเจฐเจฎ เจตเจฟเฉฑเจ เจนเฉ - เจเฉฑเจ 15% เจตเจพเจงเจพ เจชเฉเจฐเจพเจชเจค เจเฉเจคเจพ เจเจฟเจ เจธเฉ, เจ เจคเฉ เจจเจพเจฒ เจนเฉ เจเฉฑเจ เจซเฉเจฐเฉเจเฉเจเจเจธเฉเจเจผ เจฆเฉ เจฐเฉเจเจฃ เจฆเฉ เจฎเจพเจฎเจฒเฉ เจตเจฟเฉฑเจ เจเจชเจค เจตเจฟเฉฑเจ เจเฉฑเจ เจธเฉฐเจญเจพเจตเฉ 30% เจเจฎเฉ.
เจจเจตเฉเจ เจชเฉเจฐเจเจฟเจฐเจฟเจ เจคเจเจจเจพเจฒเฉเจเฉ เจธเฉฑเจค เจจเจฟเจฏเฉฐเจคเจฐเจฃ เจตเฉเจฒเจเฉเจ เจฎเฉเฉฑเจฒเจพเจ เจตเจฟเฉฑเจเฉเจ เจเฉเจฃเจจเจพ เจธเฉฐเจญเจต เจฌเจฃเจพเจตเฉเจเฉ, เจเฉ เจตเจฟเจเจพเจธ เจชเฉเจฐเจเจฟเจฐเจฟเจ เจ เจคเฉ เจเจคเจชเจพเจฆเจพเจ เจตเจฟเฉฑเจ เจตเจฟเจญเจฟเฉฐเจจเจคเจพ เจจเฉเฉฐ เจเฉเฉ เจฆเฉเจตเฉเจเฉ, เจ เจคเฉ EUV เจธเจเฉเจจเจฐเจพเจ เจฆเฉ เจตเจฐเจคเฉเจ เจฏเจเฉเจจเฉ เจคเฉเจฐ 'เจคเฉ เจเจคเจชเจพเจฆเจจ เจจเฉเฉฐ เจธเจฐเจฒ เจฌเจฃเจพเจตเฉเจเฉ เจ เจคเฉ เจเจธเจจเฉเฉฐ เจธเจธเจคเจพ เจฌเจฃเจพ เจฆเฉเจตเฉเจเฉเฅค TSMC เจฆเฉ เจ เจจเฉเจธเจพเจฐ, EUV เจธเจเฉเจจเจฐเจพเจ 'เจคเฉ เจธเจตเจฟเจ เจเจฐเจจเจพ 0,73nm เจชเฉเจฐเจเจฟเจฐเจฟเจ เจฆเฉ เจฎเฉเจเจพเจฌเจฒเฉ เจฒเฉเจจเฉเจ เจฐ เจฐเฉเจเจผเฉเจฒเจฟเจเจธเจผเจจ เจตเจฟเฉฑเจ 7x เจธเฉเจงเจพเจฐ เจชเฉเจฐเจฆเจพเจจ เจเจฐเจฆเจพ เจนเฉเฅค เจเจฆเจพเจนเจฐเจจ เจฒเจ, เจชเฉฐเจ เจชเจฐเฉฐเจชเจฐเจพเจเจค เจฎเจพเจธเจเจพเจ เจฆเฉ เจฌเจเจพเจ, เจชเจนเจฟเจฒเฉเจเจ เจชเจฐเจคเจพเจ เจฆเฉเจเจ เจธเจญ เจคเฉเจ เจจเจพเจเจผเฉเจ เจฎเฉเจเจพเจฒเจพเจเจเจผเฉเจธเจผเจจ เจฒเฉเจ เจฐเจพเจ เจจเฉเฉฐ เจฌเจฃเจพเจเจฃ เจฒเจ, เจธเจฟเจฐเจซ เจเฉฑเจ เจเจฏเฉเจตเฉ เจฎเจพเจธเจ เจฆเฉ เจฒเฉเฉ เจนเฉเจตเฉเจเฉ เจ เจคเฉ, เจเจธเจฆเฉ เจ เจจเฉเจธเจพเจฐ, เจชเฉฐเจ เจฆเฉ เจฌเจเจพเจ เจธเจฟเจฐเจซ เจเฉฑเจ เจเจคเจชเจพเจฆเจจ เจเฉฑเจเจฐ. เจคเจฐเฉเจเฉ เจจเจพเจฒ, เจงเจฟเจเจจ เจฆเจฟเจ เจเจฟ เจเจฏเฉเจตเฉ เจชเฉเจฐเฉเจเฉเจเจธเจผเจจ เจฆเฉ เจตเจฐเจคเฉเจ เจเจฐเจฆเฉ เจธเจฎเฉเจ เจเจฟเฉฑเจช 'เจคเฉ เจคเฉฑเจค เจเจฟเฉฐเจจเฉ เจธเจพเจซเจผ-เจธเฉเจฅเจฐเฉ เจนเฉเฉฐเจฆเฉ เจนเจจ. เจธเฉเฉฐเจฆเจฐเจคเจพ, เจ เจคเฉ เจเจน เจธเจญ เจนเฉ.
เจธเจฐเฉเจค: 3dnews.ru