āĻāĻŽāĻ°āĻž āĻāĻžāĻ¨āĻŋ, āĻāĻ āĻŦāĻāĻ°ā§āĻ° āĻŽāĻžāĻ°ā§āĻ āĻŽāĻžāĻ¸ā§, TSMC 5nm āĻĒāĻŖā§āĻ¯ā§āĻ° āĻĒāĻžāĻāĻ˛āĻ āĻāĻ¤ā§āĻĒāĻžāĻĻāĻ¨ āĻļā§āĻ°ā§ āĻāĻ°ā§āĨ¤ āĻāĻāĻŋ āĻ¤āĻžāĻāĻāĻ¯āĻŧāĻžāĻ¨ā§āĻ° āĻ¨āĻ¤ā§āĻ¨ āĻĢā§āĻ¯āĻžāĻŦ 18 āĻĒā§āĻ˛āĻžāĻ¨ā§āĻā§ āĻāĻā§āĻā§,
āĻŦāĻŋāĻļāĻĻ āĻŦā§āĻ¯āĻžāĻā§āĻ¯āĻž āĻāĻ°āĻžāĻ° āĻāĻā§, āĻāĻ¸ā§āĻ¨ āĻāĻŽāĻ°āĻž TSMC āĻĨā§āĻā§ āĻĒā§āĻ°ā§āĻŦāĻŦāĻ°ā§āĻ¤ā§ āĻŦāĻŋāĻŦā§āĻ¤āĻŋāĻā§āĻ˛āĻŋ āĻĨā§āĻā§ āĻā§ āĻāĻžāĻ¨āĻŋ āĻ¤āĻž āĻŽāĻ¨ā§ āĻāĻ°āĻŋāĨ¤ 7nm āĻĒā§āĻ°āĻā§āĻ°āĻŋāĻ¯āĻŧāĻžāĻ° āĻ¤ā§āĻ˛āĻ¨āĻžāĻ¯āĻŧ, āĻāĻāĻŋ āĻĻāĻžāĻŦāĻŋ āĻāĻ°āĻž āĻšāĻ¯āĻŧ āĻ¯ā§ 5nm āĻāĻŋāĻĒāĻā§āĻ˛āĻŋāĻ° āĻ¨ā§āĻ āĻāĻ°ā§āĻŽāĻā§āĻˇāĻŽāĻ¤āĻž 15% āĻŦā§āĻĻā§āĻ§āĻŋ āĻĒāĻžāĻŦā§ āĻŦāĻž āĻŦā§āĻ¯āĻŦāĻšāĻžāĻ° 30% āĻšā§āĻ°āĻžāĻ¸ āĻĒāĻžāĻŦā§ āĻ¯āĻĻāĻŋ āĻāĻžāĻ°ā§āĻ¯āĻā§āĻˇāĻŽāĻ¤āĻž āĻāĻāĻ āĻĨāĻžāĻā§āĨ¤ N5P āĻĒā§āĻ°āĻā§āĻ°āĻŋāĻ¯āĻŧāĻž āĻāĻ°āĻ 7% āĻāĻ¤ā§āĻĒāĻžāĻĻāĻ¨āĻļā§āĻ˛āĻ¤āĻž āĻŦāĻž āĻāĻ°āĻā§ 15% āĻ¸āĻā§āĻāĻ¯āĻŧ āĻ¯ā§āĻ āĻāĻ°āĻŦā§āĨ¤ āĻ¯ā§āĻā§āĻ¤āĻŋ āĻāĻĒāĻžāĻĻāĻžāĻ¨ā§āĻ° āĻāĻ¨āĻ¤ā§āĻŦ 1,8 āĻā§āĻŖ āĻŦā§āĻĻā§āĻ§āĻŋ āĻĒāĻžāĻŦā§āĨ¤ SRAM āĻ¸ā§āĻ˛ āĻ¸ā§āĻā§āĻ˛ 0,75 āĻāĻ° āĻĢā§āĻ¯āĻžāĻā§āĻāĻ° āĻĻā§āĻŦāĻžāĻ°āĻž āĻĒāĻ°āĻŋāĻŦāĻ°ā§āĻ¤āĻŋāĻ¤ āĻšāĻŦā§āĨ¤
5nm āĻāĻŋāĻĒ āĻā§āĻĒāĻžāĻĻāĻ¨ā§, EUV āĻ¸ā§āĻā§āĻ¯āĻžāĻ¨āĻžāĻ° āĻŦā§āĻ¯āĻŦāĻšāĻžāĻ°ā§āĻ° āĻ¸ā§āĻā§āĻ˛ āĻĒāĻ°āĻŋāĻĒāĻā§āĻ āĻā§āĻĒāĻžāĻĻāĻ¨ā§āĻ° āĻĒāĻ°ā§āĻ¯āĻžāĻ¯āĻŧā§ āĻĒā§āĻāĻāĻžāĻŦā§āĨ¤ āĻā§āĻ°āĻžāĻ¨āĻāĻŋāĻ¸ā§āĻāĻ° āĻā§āĻ¯āĻžāĻ¨ā§āĻ˛ā§āĻ° āĻāĻžāĻ āĻžāĻŽā§ āĻĒāĻ°āĻŋāĻŦāĻ°ā§āĻ¤āĻ¨ āĻāĻ°āĻž āĻšāĻŦā§, āĻ¸āĻŽā§āĻāĻŦāĻ¤ āĻ¸āĻŋāĻ˛āĻŋāĻāĻ¨ā§āĻ° āĻ¸āĻžāĻĨā§ āĻŦāĻž āĻĒāĻ°āĻŋāĻŦāĻ°ā§āĻ¤ā§ āĻāĻžāĻ°ā§āĻŽā§āĻ¨āĻŋāĻ¯āĻŧāĻžāĻŽ āĻŦā§āĻ¯āĻŦāĻšāĻžāĻ° āĻāĻ°ā§āĨ¤ āĻāĻāĻŋ āĻā§āĻ¯āĻžāĻ¨ā§āĻ˛ā§ āĻāĻ˛ā§āĻāĻā§āĻ°āĻ¨ā§āĻ° āĻŦāĻ°ā§āĻ§āĻŋāĻ¤ āĻāĻ¤āĻŋāĻļā§āĻ˛āĻ¤āĻž āĻāĻŦāĻ āĻ¸ā§āĻ°ā§āĻ¤ āĻŦā§āĻĻā§āĻ§āĻŋ āĻ¨āĻŋāĻļā§āĻāĻŋāĻ¤ āĻāĻ°āĻŦā§āĨ¤ āĻĒā§āĻ°āĻ¸ā§āĻ¸ āĻā§āĻāĻ¨ā§āĻ˛āĻāĻŋ āĻŦā§āĻļ āĻāĻ¯āĻŧā§āĻāĻāĻŋ āĻāĻ¨ā§āĻā§āĻ°ā§āĻ˛ āĻā§āĻ˛ā§āĻā§āĻ āĻ˛ā§āĻā§āĻ˛ āĻĒā§āĻ°āĻĻāĻžāĻ¨ āĻāĻ°ā§, āĻ¯āĻžāĻ° āĻŽāĻ§ā§āĻ¯ā§ āĻ¸āĻ°ā§āĻŦā§āĻā§āĻāĻāĻŋ 25 āĻāĻ¨āĻāĻŽ āĻĒā§āĻ°āĻ¸ā§āĻ¸ āĻā§āĻāĻ¨ā§āĻ˛āĻāĻŋāĻ° āĻ¤ā§āĻ˛āĻ¨āĻžāĻ¯āĻŧ 7% āĻāĻ°ā§āĻŽāĻā§āĻˇāĻŽāĻ¤āĻž āĻŦā§āĻĻā§āĻ§āĻŋ āĻĒā§āĻ°āĻĻāĻžāĻ¨ āĻāĻ°āĻŦā§āĨ¤ I/O āĻāĻ¨ā§āĻāĻžāĻ°āĻĢā§āĻ¸ā§āĻ° āĻāĻ¨ā§āĻ¯ āĻā§āĻ°āĻžāĻ¨āĻāĻŋāĻ¸ā§āĻāĻ° āĻĒāĻžāĻāĻ¯āĻŧāĻžāĻ° āĻ¸āĻžāĻĒā§āĻ˛āĻžāĻ 1,5 V āĻĨā§āĻā§ 1,2 V āĻĒāĻ°ā§āĻ¯āĻ¨ā§āĻ¤ āĻšāĻŦā§ā§ˇ
āĻ§āĻžāĻ¤āĻŦāĻāĻ°āĻŖā§āĻ° āĻāĻ¨ā§āĻ¯ āĻāĻŦāĻ āĻ¯ā§āĻāĻžāĻ¯ā§āĻā§āĻ° āĻāĻ¨ā§āĻ¯ āĻāĻ°ā§āĻ¤ā§āĻ° āĻŽāĻžāĻ§ā§āĻ¯āĻŽā§ āĻā§āĻĒāĻžāĻĻāĻ¨ā§, āĻāĻŽāĻ¨āĻāĻŋ āĻāĻŽ āĻĒā§āĻ°āĻ¤āĻŋāĻ°ā§āĻ§ā§āĻ° āĻāĻĒāĻāĻ°āĻŖ āĻŦā§āĻ¯āĻŦāĻšāĻžāĻ° āĻāĻ°āĻž āĻšāĻŦā§āĨ¤ āĻ āĻ¤āĻŋ-āĻāĻā§āĻ-āĻāĻ¨āĻ¤ā§āĻŦā§āĻ° āĻā§āĻ¯āĻžāĻĒāĻžāĻ¸āĻŋāĻāĻžāĻ°āĻā§āĻ˛āĻŋ āĻāĻāĻāĻŋ āĻ§āĻžāĻ¤ā§-āĻ āĻ¸ā§āĻ¤āĻ°āĻ-āĻ§āĻžāĻ¤ā§ āĻ¸āĻžāĻ°ā§āĻāĻŋāĻ āĻŦā§āĻ¯āĻŦāĻšāĻžāĻ° āĻāĻ°ā§ āĻ¤ā§āĻ°āĻŋ āĻāĻ°āĻž āĻšāĻŦā§, āĻ¯āĻž āĻāĻ¤ā§āĻĒāĻžāĻĻāĻ¨āĻļā§āĻ˛āĻ¤āĻž 4% āĻŦā§āĻĻā§āĻ§āĻŋ āĻāĻ°āĻŦā§āĨ¤ āĻ¸āĻžāĻ§āĻžāĻ°āĻŖāĻāĻžāĻŦā§, TSMC āĻ¨āĻ¤ā§āĻ¨ āĻ˛ā§-āĻā§ āĻāĻ¨āĻ¸ā§āĻ˛ā§āĻāĻ° āĻŦā§āĻ¯āĻŦāĻšāĻžāĻ°ā§ āĻ¸ā§āĻ¯ā§āĻāĻ āĻāĻ°āĻŦā§āĨ¤ āĻāĻāĻāĻŋ āĻ¨āĻ¤ā§āĻ¨ "āĻļā§āĻˇā§āĻ" āĻĒā§āĻ°āĻā§āĻ°āĻŋāĻ¯āĻŧāĻž, āĻŽā§āĻāĻžāĻ˛ āĻ°āĻŋāĻ ā§āĻ¯āĻžāĻāĻāĻŋāĻ āĻāĻ¯āĻŧāĻ¨ āĻāĻāĻŋāĻ (RIE), āĻ¸āĻŋāĻ˛āĻŋāĻāĻ¨ āĻāĻ¯āĻŧā§āĻĢāĻžāĻ° āĻĒā§āĻ°āĻ¸ā§āĻ¸āĻŋāĻ āĻ¸āĻžāĻ°ā§āĻāĻŋāĻā§ āĻāĻĒāĻ¸ā§āĻĨāĻŋāĻ¤ āĻšāĻŦā§, āĻ¯āĻž āĻāĻāĻļāĻŋāĻāĻāĻžāĻŦā§ āĻ¤āĻžāĻŽāĻž āĻŦā§āĻ¯āĻŦāĻšāĻžāĻ° āĻāĻ°ā§ āĻĒā§āĻ°āĻĨāĻžāĻāĻ¤ āĻĻāĻžāĻŽā§āĻ¸ā§āĻ āĻĒā§āĻ°āĻā§āĻ°āĻŋāĻ¯āĻŧāĻžāĻā§ āĻĒā§āĻ°āĻ¤āĻŋāĻ¸ā§āĻĨāĻžāĻĒāĻ¨ āĻāĻ°āĻŦā§ (30 āĻāĻ¨āĻāĻŽ-āĻāĻ° āĻā§āĻ¯āĻŧā§ āĻā§āĻ āĻ§āĻžāĻ¤āĻŦ āĻĒāĻ°āĻŋāĻāĻŋāĻ¤āĻŋāĻ° āĻāĻ¨ā§āĻ¯)āĨ¤ āĻāĻāĻžāĻĄāĻŧāĻžāĻ āĻĒā§āĻ°āĻĨāĻŽāĻŦāĻžāĻ°ā§āĻ° āĻŽāĻ¤ā§, āĻā§āĻ°āĻžāĻĢāĻŋāĻ¨ā§āĻ° āĻāĻāĻāĻŋ āĻ¸ā§āĻ¤āĻ° āĻ¤āĻžāĻŽāĻžāĻ° āĻĒāĻ°āĻŋāĻŦāĻžāĻšā§ āĻāĻŦāĻ āĻ¸ā§āĻŽāĻŋāĻāĻ¨ā§āĻĄāĻžāĻā§āĻāĻ°ā§āĻ° āĻŽāĻ§ā§āĻ¯ā§ āĻāĻāĻāĻŋ āĻŦāĻžāĻ§āĻž āĻ¤ā§āĻ°āĻŋ āĻāĻ°āĻ¤ā§ āĻŦā§āĻ¯āĻŦāĻšāĻžāĻ° āĻāĻ°āĻž āĻšāĻŦā§ (āĻāĻ˛ā§āĻā§āĻā§āĻ°ā§āĻŽāĻžāĻāĻā§āĻ°ā§āĻļāĻ¨ āĻ°ā§āĻ§ āĻāĻ°āĻ¤ā§)āĨ¤
IEDM-āĻ āĻĄāĻŋāĻ¸ā§āĻŽā§āĻŦāĻ°ā§āĻ° āĻ°āĻŋāĻĒā§āĻ°ā§āĻā§āĻ° āĻ¨āĻĨāĻŋ āĻĨā§āĻā§, āĻāĻŽāĻ°āĻž āĻŦā§āĻāĻ¤ā§ āĻĒāĻžāĻ°āĻŋ āĻ¯ā§ 5nm āĻāĻŋāĻĒāĻā§āĻ˛āĻŋāĻ° āĻŦā§āĻļ āĻāĻ¯āĻŧā§āĻāĻāĻŋ āĻĒāĻ°āĻžāĻŽāĻŋāĻ¤āĻŋ āĻāĻ°āĻ āĻāĻžāĻ˛ āĻšāĻŦā§āĨ¤ āĻāĻāĻāĻžāĻŦā§, āĻ¯ā§āĻā§āĻ¤āĻŋ āĻāĻĒāĻžāĻĻāĻžāĻ¨āĻā§āĻ˛āĻŋāĻ° āĻāĻ¨āĻ¤ā§āĻŦ āĻŦā§āĻļāĻŋ āĻšāĻŦā§ āĻāĻŦāĻ 1,84 āĻā§āĻŖā§ āĻĒā§āĻāĻāĻžāĻŦā§āĨ¤ SRAM āĻ¸ā§āĻ˛āĻāĻŋāĻ āĻā§āĻ āĻšāĻŦā§, āĻ¯āĻžāĻ° āĻā§āĻˇā§āĻ¤ā§āĻ°āĻĢāĻ˛ 0,021 Âĩm2 āĻšāĻŦā§āĨ¤ āĻĒāĻ°ā§āĻā§āĻˇāĻžāĻŽā§āĻ˛āĻ āĻ¸āĻŋāĻ˛āĻŋāĻāĻ¨ā§āĻ° āĻĒāĻžāĻ°āĻĢāĻ°āĻŽā§āĻ¯āĻžāĻ¨ā§āĻ¸ā§āĻ° āĻ¸āĻžāĻĨā§ āĻ¸āĻŦāĻāĻŋāĻā§ āĻ āĻŋāĻ āĻāĻā§ - āĻāĻāĻāĻŋ 15% āĻŦā§āĻĻā§āĻ§āĻŋ āĻĒāĻžāĻāĻ¯āĻŧāĻž āĻā§āĻā§, āĻ¸ā§āĻāĻ¸āĻžāĻĨā§ āĻāĻā§āĻ āĻĢā§āĻ°āĻŋāĻā§āĻ¯āĻŧā§āĻ¨ā§āĻ¸āĻŋ āĻšāĻŋāĻŽāĻžāĻ¯āĻŧāĻŋāĻ¤ āĻšāĻāĻ¯āĻŧāĻžāĻ° āĻā§āĻˇā§āĻ¤ā§āĻ°ā§ āĻŦā§āĻ¯āĻŦāĻšāĻžāĻ°ā§ āĻ¸āĻŽā§āĻāĻžāĻŦā§āĻ¯ 30% āĻšā§āĻ°āĻžāĻ¸āĨ¤
āĻ¨āĻ¤ā§āĻ¨ āĻĒā§āĻ°āĻā§āĻ°āĻŋāĻ¯āĻŧāĻž āĻĒā§āĻ°āĻ¯ā§āĻā§āĻ¤āĻŋ āĻ¸āĻžāĻ¤āĻāĻŋ āĻ¨āĻŋāĻ¯āĻŧāĻ¨ā§āĻ¤ā§āĻ°āĻŖ āĻā§āĻ˛ā§āĻā§āĻ āĻŽāĻžāĻ¨ āĻĨā§āĻā§ āĻāĻ¯āĻŧāĻ¨ āĻāĻ°āĻž āĻ¸āĻŽā§āĻāĻŦ āĻāĻ°ā§ āĻ¤ā§āĻ˛āĻŦā§, āĻ¯āĻž āĻāĻ¨ā§āĻ¨āĻ¯āĻŧāĻ¨ āĻĒā§āĻ°āĻā§āĻ°āĻŋāĻ¯āĻŧāĻž āĻāĻŦāĻ āĻĒāĻŖā§āĻ¯āĻā§āĻ˛āĻŋāĻ¤ā§ āĻŦā§āĻāĻŋāĻ¤ā§āĻ°ā§āĻ¯ āĻ¯ā§āĻ āĻāĻ°āĻŦā§ āĻāĻŦāĻ EUV āĻ¸ā§āĻā§āĻ¯āĻžāĻ¨āĻžāĻ°āĻā§āĻ˛āĻŋāĻ° āĻŦā§āĻ¯āĻŦāĻšāĻžāĻ° āĻ āĻŦāĻļā§āĻ¯āĻ āĻāĻ¤ā§āĻĒāĻžāĻĻāĻ¨āĻā§ āĻ¸āĻšāĻāĻ¤āĻ° āĻāĻ°āĻŦā§ āĻāĻŦāĻ āĻāĻāĻŋ āĻ¸āĻ¸ā§āĻ¤āĻž āĻāĻ°ā§ āĻ¤ā§āĻ˛āĻŦā§ā§ˇ TSMC āĻāĻ° āĻŽāĻ¤ā§, EUV āĻ¸ā§āĻā§āĻ¯āĻžāĻ¨āĻžāĻ°ā§ āĻ¸ā§āĻ¯ā§āĻāĻ āĻāĻ°āĻž 0,73nm āĻĒā§āĻ°āĻā§āĻ°āĻŋāĻ¯āĻŧāĻžāĻ° āĻ¤ā§āĻ˛āĻ¨āĻžāĻ¯āĻŧ āĻ˛āĻŋāĻ¨āĻŋāĻ¯āĻŧāĻžāĻ° āĻ°ā§āĻā§āĻ˛āĻŋāĻāĻļāĻ¨ā§ 7x āĻāĻ¨ā§āĻ¨āĻ¤āĻŋ āĻĒā§āĻ°āĻĻāĻžāĻ¨ āĻāĻ°ā§āĨ¤ āĻāĻĻāĻžāĻšāĻ°āĻŖāĻ¸ā§āĻŦāĻ°ā§āĻĒ, āĻĒā§āĻ°āĻĨāĻŽ āĻ¸ā§āĻ¤āĻ°āĻā§āĻ˛āĻŋāĻ° āĻ¸āĻŦāĻā§āĻ¯āĻŧā§ āĻā§āĻ°ā§āĻ¤ā§āĻŦāĻĒā§āĻ°ā§āĻŖ āĻ§āĻžāĻ¤āĻŦāĻāĻ°āĻŖ āĻ¸ā§āĻ¤āĻ°āĻā§āĻ˛āĻŋ āĻ¤ā§āĻ°āĻŋ āĻāĻ°āĻ¤ā§, āĻĒāĻžāĻāĻāĻāĻŋ āĻĒā§āĻ°āĻāĻ˛āĻŋāĻ¤ āĻŽā§āĻā§āĻļā§āĻ° āĻĒāĻ°āĻŋāĻŦāĻ°ā§āĻ¤ā§, āĻļā§āĻ§ā§āĻŽāĻžāĻ¤ā§āĻ° āĻāĻāĻāĻŋ EUV āĻŽā§āĻā§āĻļā§āĻ° āĻĒā§āĻ°āĻ¯āĻŧā§āĻāĻ¨ āĻšāĻŦā§ āĻāĻŦāĻ āĻ¸ā§āĻ āĻ āĻ¨ā§āĻ¯āĻžāĻ¯āĻŧā§, āĻĒāĻžāĻāĻāĻāĻŋāĻ° āĻĒāĻ°āĻŋāĻŦāĻ°ā§āĻ¤ā§ āĻļā§āĻ§ā§āĻŽāĻžāĻ¤ā§āĻ° āĻāĻāĻāĻŋ āĻāĻ¤ā§āĻĒāĻžāĻĻāĻ¨ āĻāĻā§āĻ°āĨ¤ āĻ¯āĻžāĻāĻšā§āĻ, EUV āĻĒā§āĻ°āĻā§āĻāĻļāĻ¨ āĻŦā§āĻ¯āĻŦāĻšāĻžāĻ° āĻāĻ°āĻžāĻ° āĻ¸āĻŽāĻ¯āĻŧ āĻāĻŋāĻĒā§āĻ° āĻāĻĒāĻžāĻĻāĻžāĻ¨āĻā§āĻ˛āĻŋ āĻāĻ¤āĻāĻž āĻāĻ°āĻāĻ°ā§ āĻšāĻ¯āĻŧ āĻ¸ā§āĻĻāĻŋāĻā§ āĻŽāĻ¨ā§āĻ¯ā§āĻ āĻĻāĻŋāĻ¨āĨ¤ āĻ¸ā§āĻ¨ā§āĻĻāĻ°ā§āĻ¯, āĻāĻŦāĻ āĻ¯ā§ āĻ¸āĻŦ.
āĻāĻ¤ā§āĻ¸: 3dnews.ru